JP7742809B2

JP7742809B2 - 光ビーム径測定装置、方法、プログラム、記録媒体

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Description

本発明は、光ビーム径の測定に関する。

モードフィールド径の測定法としては、色々な技術が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２および特許文献３を参照）。例えば、光ファイバおよび光導波路などの光デバイスを回転させながら、光デバイスから出力される光ビームを光パワーメータで受け、光強度分布（光源の回転角度と光パワーとの対応関係）を取得し、モードフィールド径を計算する技術が知られている。

特開２０１９－１５５８４号公報特開２０１４－９９５６号公報特開２０１８－９７０１２号公報

しかしながら、光デバイスを回転させる従来技術には問題がある。例えば、光デバイスとパワーメータとの間の距離を長くする必要があるため（例えば、２０ｃｍ程度）、パワーメータにより受光される光ビームのパワーが弱くなってしまい、ノイズの影響を受けやすく、正確にモードフィールド径を測定することができなくなる場合が生じる。

そこで、本発明は、光デバイスを回転させないで、光デバイスから出力される光ビームの直径を測定することを課題とする。

本発明にかかる光ビーム径測定装置は、光ビームを受光する受光部と、前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる移動部と、前記受光部により受光されたもののパワーを測定するパワー測定部と、前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径導出部とを備えるように構成される。

上記のように構成された光ビーム径測定装置は、受光部が、光ビームを受光する。移動部が、前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる。パワー測定部が、前記受光部により受光されたもののパワーを測定する。光ビーム径導出部が、前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、前記第一の所定の比が1/e²である（ただし、eは自然対数の底）ようにしてもよい。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、前記第一範囲の長さをdx、前記光ビームの波長をλ、前記光ビームの出射端面と前記面との距離をZとしたときに、前記光ビーム径導出部が、前記直径を4λZ/(πdx)として導出するようにしてもよい。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、前記移動部が、さらに、前記直線と直交し互いに平行な複数の直交直線に沿って前記受光部を移動させ、前記光ビーム径導出部が、さらに、前記複数の直交直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直交直線における前記最大値に対して前記測定結果が第二の所定の比以上である第二範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出するようにしてもよい。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、前記第二の所定の比が1/e²である（ただし、eは自然対数の底）ようにしてもよい。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、前記第一範囲の長さをdx、前記第二範囲の長さをdy、前記光ビームの波長をλ、前記光ビームの出射端面と前記面との距離をZとしたときに、前記光ビーム径導出部が、前記直線の方向についての前記直径を4λZ/(πdx)、前記直交直線の方向についての前記直径を4λZ/(πdy)として導出するようにしてもよい。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、互いに平行な前記面が複数あるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、前記受光部が先球ファイバであるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、前記光ビームが光導波路から出射されたものであるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる光ビーム径測定装置は、前記光ビームが、光導波路から反射されたものをさらに含み、前記パワー測定部による測定結果に基づき前記光導波路の反射率を導出する反射率導出部を備えるようにしてもよい。

本発明は、光ビームを受光する受光部と、前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる移動部と、前記受光部により受光されたもののパワーを測定するパワー測定部とを有する光ビーム径測定装置における光ビーム径測定処理を行う方法であって、前記光ビーム径測定処理が、前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径導出工程を備えた光ビーム径測定方法である。

本発明は、光ビームを受光する受光部と、前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる移動部と、前記受光部により受光されたもののパワーを測定するパワー測定部とを有する光ビーム径測定装置における光ビーム径測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記光ビーム径測定処理が、前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径導出工程を備えたプログラムである。

本発明は、光ビームを受光する受光部と、前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる移動部と、前記受光部により受光されたもののパワーを測定するパワー測定部とを有する光ビーム径測定装置における光ビーム径測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記光ビーム径測定処理が、前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径導出工程を備えた記録媒体である。

本発明の第一の実施形態にかかる光ビーム径測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。光ビームＢの進行方向（Ｚ方向）を法線とする面Ｓ１における光ビームＢの断面を示した図である。受光部１２（の先端）が移動する複数の直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５を示す図である。直線Ｘ３におけるパワーメータ１６による測定結果を示すグラフである。受光部１２（の先端）が移動する複数の直交直線Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５を示す図である。直交直線Ｙ３におけるパワーメータ１６による測定結果を示すグラフである。第一の実施形態の変形例にかかる光ビーム径測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。本発明の第二の実施形態にかかる光ビーム径測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。

第一の実施形態
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる光ビーム径測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。第一の実施形態にかかる光ビーム径測定装置１は、受光部１２、移動部１４、パワーメータ１６、光ビーム径導出部１８を備える。

受光部１２は、光ビームＢを受光する。受光部１２は、例えば、先球ファイバである。また、光ビームＢは、光デバイス２から出射されたものであり、Ｚ方向（図１において右方向）に進行する。光ビームＢは、進行するにつれて拡がっていく。光デバイス２は、例えば、光導波路である。なお、図１において、Ｚ方向と直交し、かつ紙面に直交する方向をＸ方向とし、Ｘ方向およびＺ方向に直交する方向をＹ方向（図１において上方向）とする。

図２は、光ビームＢの進行方向（Ｚ方向）を法線とする面Ｓ１における光ビームＢの断面を示した図である。光ビームＢの面Ｓ１における断面は円形である。その円の中心０をとおるＸ方向の直線をＸ軸といい、中心０をとおるＹ方向の直線をＹ軸といい、中心０をとおるＺ方向の直線をＺ軸という。面Ｓ１においては、光ビームＢは、中心０でビームパワーが最大となり、中心０から離れるにしたがってビームパワーが小さくなる。

パワーメータ（パワー測定部）１６は、受光部１２により受光された光ビームＢのパワーを測定する。

図３は、受光部１２（の先端）が移動する複数の直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５を示す図である。

移動部１４は、光ビームＢの進行方向（Ｚ方向）を法線とする面（Ｓ１）の上の互いに平行な複数の直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５に沿って受光部１２を移動させる。例えば、受光部１２が先球ファイバの場合には、受光部１２の先端を、直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５に沿って移動させる。なお、直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５は、等間隔であってもよい。例えば、直線Ｘ３がＸ軸に一致しているとする。

図４は、直線Ｘ３におけるパワーメータ１６による測定結果を示すグラフである。

光ビーム径導出部１８は、複数の直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５のうちパワーメータ１６による測定結果の最大値が最大となる直線（Ｘ軸に一致する直線Ｘ３）における最大値（図４においては、「１」とする）に対して測定結果が第一の所定の比（図４においては、「1/e²」とする（ただし、eは自然対数の底））以上である第一範囲に基づき、光ビームＢの直径（モードフィールド径）を導出する。なお、光ビーム径導出部１８は、どの直線を測定した結果を受けているかを、移動部１４から取得する。

直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５のパワーメータ１６による測定結果は、それぞれがＹ軸と交わる点において最大値をとる。それらの最大値が最大となる直線はＸ軸に一致する直線Ｘ３であり、直線Ｘ３とＹ軸とが交わる点（すなわち、中心０）においてそれらの最大値が最大となる。

図４においては、直線Ｘ３におけるＸ座標を横軸に、ビームパワーを縦軸にとり、ビームパワーを図示している。ただし、中心０におけるビームパワーを「１」としている。ここで、ビームパワーが1/e²以上である範囲である第一範囲の長さをdxとする。

ここで、光ビームＢの波長をλ、光ビームＢの出射端面２Ｅ（図１参照）と面Ｓ１との距離をＺ（図１参照）とする。なお、Ｚは例えば、１０～２００μｍ程度である。

一般的に、面Ｓ１における光ビームＢの直径d(Z)は、以下の式（１）のように表すことができる。

ただし、MFDは、光ビームＢのモードフィールド径（直径）である。このモードフィールド径（直径）においては、光ビームＢの強度が、最大値の1/e²となる。

ただし、Ｚが以下の条件（式（２））を満たす必要がある。

ここで、式（１）のd(Z)に第一範囲の長さdxを代入し、かつ、（4λZ/(πMFD²)）²が１よりも極めて大きいものとする。すると、MFDは4λZ/(πdx)となる。よって、光ビーム径導出部１８は、光ビームＢの直径（モードフィールド径）を4λZ/(πdx)として導出する。ただし、この直径（モードフィールド径）は、Ｘ方向についての直径であるものとする。

図５は、受光部１２（の先端）が移動する複数の直交直線Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５を示す図である。

移動部１４は、さらに、直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５と直交し、互いに平行な複数の直交直線Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５に沿って受光部１２を移動させる。例えば、受光部１２が先球ファイバの場合には、受光部１２の先端を、直交直線Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５に沿って移動させる。なお、直交直線Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５は、等間隔であってもよい。例えば、直交直線Ｙ３がＹ軸に一致しているものとする。

図６は、直交直線Ｙ３におけるパワーメータ１６による測定結果を示すグラフである。

光ビーム径導出部１８は、さらに、複数の直交直線Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５のうちパワー測定部１６による測定結果の最大値が最大となる直交直線（Ｙ軸に一致する直交直線Ｙ３）における最大値（図６においては、「１」とする）に対して測定結果が第二の所定の比（図６においては、「1/e²」とする）以上である第二範囲に基づき、光ビームＢの直径（モードフィールド径）を導出する。なお、光ビーム径導出部１８は、どの直交直線を測定した結果を受けているかを、移動部１４から取得する。

直交直線Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５のパワーメータ１６による測定結果は、それぞれがＸ軸と交わる点において最大値をとる。それらの最大値が最大となる直線はＹ軸に一致する直交直線Ｙ３であり、直交直線Ｙ３とＸ軸とが交わる点（すなわち、中心０）においてそれらの最大値が最大となる。

図６においては、直交直線Ｙ３におけるＹ座標を横軸に、ビームパワーを縦軸にとり、ビームパワーを図示している。ただし、中心０におけるビームパワーを「１」としている。ここで、ビームパワーが1/e²以上である範囲である第二範囲の長さをdyとする。

ここで、式（１）のd(Z)に第二範囲の長さdyを代入し、かつ、（4λZ/(πMFD²)）²が１よりも極めて大きいものとする。すると、MFDは4λZ/(πdy)となる。よって、光ビーム径導出部１８は、光ビームＢの直径（モードフィールド径）を4λZ/(πdy)として導出する。ただし、この直径（モードフィールド径）は、Ｙ方向についての直径であるものとする。

次に、第一の実施形態の動作を説明する。

まず、光デバイス２から光ビームＢが出力させる。ただし、面Ｓ１と、光ビームＢの出射端面２Ｅとの距離Ｚは、式（２）の条件を満たすものとする。

ここで、面Ｓ１において、受光部１２（先球ファイバの先端）を、移動部１４によって、直線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５（図３参照）に沿って移動させる。その際に受光部１２により受光された光ビームＢのパワーをパワーメータ１６により測定する。その測定結果の最大値が最大となる直線（Ｘ軸に一致する直線Ｘ３）における最大値（図４においては、「１」とする）に対して測定結果が第一の所定の比（図４においては、「1/e²」とする）以上である第一範囲の長さdxに基づき、光ビームＢの直径（モードフィールド径）を、Ｘ方向については、4λZ/(πdx)として導出する。

さらに、面Ｓ１において、受光部１２（先球ファイバの先端）を、移動部１４によって、直交直線Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５（図５参照）に沿って移動させる。その際に受光部１２により受光された光ビームＢのパワーをパワーメータ１６により測定する。その測定結果の最大値が最大となる直交直線（Ｙ軸に一致する直交直線Ｙ３）における最大値（図６においては、「１」とする）に対して測定結果が第二の所定の比（図６においては、「1/e²」とする）以上である第二範囲の長さdyに基づき、光ビームＢの直径（モードフィールド径）を、Ｙ方向については、4λZ/(πdy)として導出する。

第一の実施形態によれば、光デバイス２を回転させないで、光デバイス２から出力される光ビームＢの直径（モードフィールド径）を測定できる。

しかも、第一の実施形態によれば、面Ｓ１と、光ビームＢの出射端面２Ｅとの距離Ｚは、例えば、１０～２００μｍ程度と短く、光ビームＢのビームパワーが微弱でも、正確な測定が可能となる。

さらに、第一の実施形態によれば、光デバイス２を固定したままにすることができるため、光デバイス２の入射側に光ファイバを接合する必要がなくなり、測定にかかる時間的コストおよび金銭的コストを低減させることができる。

変形例
なお、第一の実施形態においては、受光部１２による測定を行う面を一つ（面Ｓ１）であるものとして説明したが、複数（例えば、面Ｓ１および面Ｓ２）とする変形例も考えられる。

図７は、第一の実施形態の変形例にかかる光ビーム径測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。面Ｓ２が追加された点以外は、第一の実施形態と同様である。面Ｓ１および面Ｓ２は、互いに平行である。例えば、面Ｓ２は、面Ｓ１よりも出射端面２Ｅに近い。もちろん、面Ｓ２が、面Ｓ１よりも出射端面２Ｅから遠くてもよい。また、面は２つ（Ｓ１、Ｓ２）に限らず、互いに平行であれば３つ以上あってもかまわない。

面Ｓ１において行ったビームパワーの測定と、Ｘ方向およびＹ方向についての光ビームＢの直径（モードフィールド径）の導出とを、面Ｓ２においても同様に行う。面Ｓ１における測定結果に基づき導出された光ビームＢの直径（モードフィールド径）と、面Ｓ２における測定結果に基づき導出された光ビームＢの直径（モードフィールド径）とに基づき（例えば、両者の平均をとるなどして）、より正確に光ビームＢの直径（モードフィールド径）を導出することができる。

第二の実施形態
第二の実施形態にかかる光ビーム径測定装置１は、光導波路８の反射率を導出する反射率導出部２７が追加された点で第一の実施形態にかかる光ビーム径測定装置１と異なる。

図８は、本発明の第二の実施形態にかかる光ビーム径測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。第二の実施形態にかかる光ビーム径測定装置１は、受光部１２、移動部１４、パワーメータ１６、光ビーム径導出部１８、カプラ２３、受光部２２、移動部２４、パワーメータ２６、反射率導出部２７を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の符号を付して説明を省略する。

第一の実施形態における光デバイス２にかえて、第二の実施形態においては光導波路８が用いられる。光導波路８は端面８Ｅ１、８Ｅ２を有する。端面８Ｅ１は受光部１２側に、端面８Ｅ２は受光部２２側に配置されている。光源４はカプラ２３および受光部２２を介して、端面８Ｅ１に光を与える。この光は、光導波路８を通過して、端面８Ｅ２から出射される。

受光部１２、移動部１４、パワーメータ１６およびビーム径導出部１８は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、受光部１２を端面８Ｅ２に接触させて、パワーメータ１６によりパワーを測定し、光導波路８を挿入することによる損失を測定することをも行う。すなわち、光源４の発する光のパワー（既知）と、パワーメータ１６により測定されたパワーとを対比することで、光導波路８を挿入することによる損失を求めることができる。ただし、カプラ２３の分岐比は既知（例えば、１：１）であるものとし、端面８Ｅ１および端面８Ｅ２における損失もまた既知であるものとする。

受光部２２（例えば、先球ファイバ）は、端面８Ｅ１に接触させられて、端面８Ｅ１からの反射光を受ける。カプラ２３は、光源４、受光部２２およびパワーメータ２６に接続されている。パワーメータ２６は、受光部２２により受光された光ビーム（すなわち、光導波路８の端面８Ｅ１からの反射光）のパワーを測定する。移動部２４は、受光部２２をＸ方向およびＹ方向に移動させる。反射率導出部２７は、パワーメータ（パワー測定部）２６による測定結果に基づき光導波路８の反射率を導出する。すなわち、反射率導出部２７は、光源４の発する光のパワー（既知）と、パワーメータ２６により測定されたパワーとを対比することで、光導波路８の反射率を導出することができる。光導波路８の端面８Ｅ１による反射光と、受光部２２との結合損失は既知（例えば、１ｄＢ）であるものとする。なお、反射率導出部２７は、どの部分を測定した結果を受けているかを、移動部２４から取得する。これにより、端面８Ｅ１のどの部分の反射率が導出されているか、すなわち反射率分布が分かる。

なお、導出された反射率Ｒ[dB]を用いて、屈折率ｎを取得することも可能である。すなわち、フレネルの公式を変形することにより、n=(1+10^R/20)/(1-10^R/20)として取得できる。

次に、第二の実施形態の動作を説明する。

まず、光導波路８を挿入することによる損失を測定する。すなわち、光源４から光を発し、カプラ２３および受光部２２を介して、端面８Ｅ１に光を与える。この光は、光導波路８を通過して、端面８Ｅ２から出射される。受光部１２を端面８Ｅ２に接触させて、パワーメータ１６によりパワーを測定し、光導波路８を挿入することによる損失を測定する。

次に、端面８Ｅ１の反射率分布を測定する。すなわち、受光部２２（例えば、先球ファイバ）を、端面８Ｅ１に接触させて、端面８Ｅ１からの反射光を受ける。反射光は、カプラ２３を介して、パワーメータ２６により測定される。光源４の発する光のパワー（既知）と、パワーメータ２６により測定されたパワーとを対比することにより、反射率導出部２７が光導波路８の端面８Ｅ１の反射率分布を導出することができる。なお、どの部分の反射率を測定しているかは、移動部２４から取得できる。

最後に、端面８Ｅ２から出射される光ビームＢのモードフィールド径を測定する。これは、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。

第二の実施形態によれば、第一の実施形態を同様な効果に加え、光導波路８の端面８Ｅ１の反射率分布を導出できる。

また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（ＵＳＢメモリ、ＣＤ－ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータに、上記の各部分、例えば光ビーム径導出部１８および反射率導出部２７を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。

１光ビーム径測定装置
２Ｅ出射端面
１２受光部（先球ファイバ）
１４移動部
１６パワーメータ（パワー測定部）
１８光ビーム径導出部
２７反射率導出部
Ｂ光ビーム
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４およびＸ５直線
Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４およびＹ５直交直線
Ｓ１、Ｓ２面
dx 第一範囲の長さ
dy 第二範囲の長さ

Claims

光ビームを受光する受光部と、
前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる移動部と、
前記受光部により受光されたもののパワーを測定するパワー測定部と、
前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径導出部と、
を備え、
前記第一の所定の比が1/e ² であり（ただし、eは自然対数の底）、
前記第一範囲の長さをdx、前記光ビームの波長をλ、前記光ビームの出射端面と前記面との距離をZとしたときに、
前記光ビーム径導出部が、前記直径を4λZ/(πdx)として導出する光ビーム径測定装置。
請求項１に記載の光ビーム径測定装置であって、
前記移動部が、さらに、前記直線と直交し互いに平行な複数の直交直線に沿って前記受光部を移動させ、
前記光ビーム径導出部が、さらに、前記複数の直交直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直交直線における前記最大値に対して前記測定結果が第二の所定の比以上である第二範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径測定装置。
請求項２に記載の光ビーム径測定装置であって、
前記第二の所定の比が1/e²である（ただし、eは自然対数の底）光ビーム径測定装置。
請求項３に記載の光ビーム径測定装置であって、
前記第二範囲の長さをdyとしたときに、
前記光ビーム径導出部が、
前記直線の方向についての前記直径を4λZ/(πdx)、
前記直交直線の方向についての前記直径を4λZ/(πdy)、
として導出する光ビーム径測定装置。
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光ビーム径測定装置であって、
互いに平行な前記面が複数ある光ビーム径測定装置。
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光ビーム径測定装置であって、
前記受光部が先球ファイバである光ビーム径測定装置。
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光ビーム径測定装置であって、
前記光ビームが光導波路から出射されたものである光ビーム径測定装置。
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光ビーム径測定装置であって、
前記光ビームが、光導波路から反射されたものをさらに含み、
前記パワー測定部による測定結果に基づき前記光導波路の反射率を導出する反射率導出部を備えた光ビーム径測定装置。
光ビームを受光する受光部と、前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる移動部と、前記受光部により受光されたもののパワーを測定するパワー測定部とを有する光ビーム径測定装置における光ビーム径測定処理を行う方法であって、
前記光ビーム径測定処理が、
前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径導出工程を備え、
前記第一の所定の比が1/e ² であり（ただし、eは自然対数の底）、
前記第一範囲の長さをdx、前記光ビームの波長をλ、前記光ビームの出射端面と前記面との距離をZとしたときに、
前記光ビーム径導出部が、前記直径を4λZ/(πdx)として導出する光ビーム径測定方法。
光ビームを受光する受光部と、前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる移動部と、前記受光部により受光されたもののパワーを測定するパワー測定部とを有する光ビーム径測定装置における光ビーム径測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記光ビーム径測定処理が、
前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径導出工程を備え、
前記第一の所定の比が1/e ² であり（ただし、eは自然対数の底）、
前記第一範囲の長さをdx、前記光ビームの波長をλ、前記光ビームの出射端面と前記面との距離をZとしたときに、
前記光ビーム径導出部が、前記直径を4λZ/(πdx)として導出するプログラム。
光ビームを受光する受光部と、前記光ビームの進行方向を法線とする面の上の互いに平行な複数の直線に沿って前記受光部を移動させる移動部と、前記受光部により受光されたもののパワーを測定するパワー測定部とを有する光ビーム径測定装置における光ビーム径測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記光ビーム径測定処理が、
前記複数の直線のうち前記パワー測定部による測定結果の最大値が最大となる直線における前記最大値に対して前記測定結果が第一の所定の比以上である第一範囲に基づき、前記光ビームの直径を導出する光ビーム径導出工程を備え、
前記第一の所定の比が1/e ² であり（ただし、eは自然対数の底）、
前記第一範囲の長さをdx、前記光ビームの波長をλ、前記光ビームの出射端面と前記面との距離をZとしたときに、
前記光ビーム径導出部が、前記直径を4λZ/(πdx)として導出する記録媒体。