JP7768976B2 - リニアモータ搬送システムおよびその運用方法 - Google Patents

Description

本発明は、リニアモータ搬送システムおよびその運用方法に関する。

従来、物品を搬送する搬送システムとして、リニアモータを駆動源としてキャリアを走行させ、キャリアによって物品の搬送を行うリニアモータ搬送システムが知られている。リニアモータ搬送システムは、搬送する物品を保持するキャリアと、キャリアに取り付けられるリニアモータの可動子と、経路に沿って並ぶ複数の電磁石（コイルユニット）を含むリニアモータの固定子と、複数の電磁石への電流の供給を制御してキャリアを経路に沿って移動させる制御装置と、を備え、可動子が経路に沿って走行することにより、キャリアに保持された物品を搬送する。

従来のコンベアは、一定速度で同一方向に搬送物である物品を流すのに対し、リニアモータ搬送システムは、物品を保持する複数のキャリアの移動を個別に制御できる。また、キャリアを必要な場所に正確に止めたり、速度を変更したり、１つのキャリアだけを反対向きに移動させるといった柔軟な制御もできる。また、リニアモータ搬送システムは、リニアモータ駆動であるためその他の駆動方式を採用した搬送システムに比べて粉塵等が生じないためクリーンである。

そのため、リニアモータ搬送システムの用途は多岐にわたり、たとえば、工程間搬送や、搬送経路上で精密加工を行う加工ラインに用いられる。

リニアモータ搬送システムでは、可動子の位置を制御するために、固定子に対する可動子の位置を把握し続ける必要がある。従来では、固定子側に設けられるリニアスケールを、可動子側に設けられるセンサで読み取ることにより、可動子の位置を検出するリニアモータ搬送システムが提案されている（例えば特許文献１）。

特開２０１４－２１９２９６号公報

特許文献１に記載されるような従来のリニアモータ搬送システムでは、可動子側にセンサが設けられるため、センサによる検出結果を出力する配線を可動子側から引き出す必要があり、可動子の可動範囲の制約となる。

本発明はこうした状況においてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、商品価値を高めたリニアモータ搬送システムを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明のある態様のリニアモータ搬送システムは、リニアスケールおよびリファレンスマークが固定されたキャリアと、キャリアを所定の経路に沿って移動させるリニアモータと、経路に沿って並べられた複数のセンサと、制御装置と、を備える。制御部は、リニアモータを制御して初期処理としてキャリアを移動させた場合において、複数のセンサのうち、リニアスケールを検出していないセンサによるリファレンスマークに関する出力には基づかず、リニアスケールを検出しているセンサによるリファレンスマークに関する出力に基づいてキャリアの位置を特定する。

本発明の別の態様は、リニアモータ搬送システムの運用方法である。この方法は、リニアスケールおよびリファレンスマークが固定されたキャリアと、キャリアを所定の経路に沿って移動させるリニアモータと、を備えるリニアモータ搬送システムの運用方法であって、初期処理としてキャリアを移動させることと、複数のセンサのうちのリニアスケールを検出していないセンサによるリファレンスマークに関する出力には基づかず、リニアスケールを検出しているセンサによるリファレンスマークに関する出力に基づいてキャリアの位置を特定することと、を含む。

なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明によれば、商品価値を高めたリニアモータ搬送システムを提供できる。

実施の形態に係るリニアモータ搬送システムの平面図である。 図１のキャリアとその周辺を示す側面図である。 図１のキャリアを初期処理として移動させたときのセンサによる出力を示すタイミングチャートである。

以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。

図１は、実施の形態に係るリニアモータ搬送システム１００の概略構成を示す平面図である。図２は、リニアモータ搬送システム１００のキャリア１０とその周辺を示す側面図である。

リニアモータ搬送システム１００は、搬送する物品を保持するためのキャリア１０と、キャリア１０を駆動するリニアモータ１２と、キャリア１０に固定されるリファレンスマーク１４およびリニアスケール１６と、キャリア１０が移動可能な経路Ｐに沿って配置される複数のセンサ１８と、リニアモータ搬送システム１００を統括的に制御する制御装置２０と、を備える。複数のセンサはそれぞれ、制御装置２０と有線で接続される。なお、理解を容易にするためにキャリア１０の個数を１としているが、その限りではなく、通常は複数のキャリア１０が設けられる。

リニアモータ１２は、固定子２２と、キャリア１０に取り付けられる可動子２４と、を備える。

固定子２２は、本実施の形態では、平面視でＤ方向に長い長方形状に形成されている。固定子２２は、Ｄ方向に並ぶ複数の電磁石（コイルユニット）２６を含む。図１には、一部の電磁石２６のみが例として表示されている。電源３４から複数の電磁石２６には、個別に電流を供給できる。複数の電磁石２６の並びは経路Ｐを規定する。特に限定しないが、本実施の形態では、経路Ｐは直線状である。

可動子２４は、電磁石２６と上下で対向するようにキャリア１０の下面に取り付けられる。可動子２４は磁石を含んで構成される。電磁石２６により生じる磁界と可動子２４の磁石の磁界との相互作用により、可動子２４は経路Ｐに沿って移動する。

固定子２２には、可動子２４あるいはキャリア１０の移動を案内するリニアガイドが設けられてもよい。あるいは、リニアガイドを設けずに、可動子２４を固定子２２上に磁気浮上させてもよい。

リファレンスマーク１４は、この例ではキャリア１０の下面に設けられる。なお、リファレンスマーク１４は、リニアスケール１６上に設けられてもよい。リファレンスマーク１４は、特に限定しないが、センサ１８が磁気式であれば磁石であり、光学式であれば例えばマーク付きのガラスやスチールテープである。

キャリア１０上でのＤ方向におけるリファレンスマーク１４の位置（以下、単に、リファレンスマーク１４の位置という）は、好ましくは、Ｄ方向におけるキャリア１０の基準位置（以下、単にキャリア１０の基準位置という）と一致する。基準位置は、Ｄ方向におけるキャリア１０の基準となる位置であり、典型的にはＤ方向におけるキャリア１０の中央位置である。リファレンスマーク１４の位置がキャリア１０の基準位置と一致する場合、リファレンスマーク１４の位置はキャリア１０の位置となる。

リファレンスマーク１４はキャリア１０上の任意の位置に設けられてもよいが、基準位置に対するリファレンスマーク１４の相対位置が既知である必要がある。リファレンスマーク１４の位置がキャリア１０の基準位置と一致しない場合、リファレンスマーク１４の絶対位置に、基準位置とリファレンスマーク１４とのＤ方向における距離を考慮することで、キャリア１０の位置が特定される。

以降では、説明の簡素化のため、リファレンスマーク１４の位置はキャリアの基準位置と一致するものとする。

リニアスケール１６は、この例ではリファレンスマーク１４と同様にキャリア１０の下面に固定される。リニアスケール１６は、特に限定しないが、センサ１８が磁気式であれば磁石スケールであり、光学式であればたとえば目盛り付きのガラススケールやスチールテープである。リニアスケール１６は、その限りではないが、当該リニアスケール１６のＤ方向における中央が、キャリア１０の基準位置と一致するようにキャリア１０に設けられる。

リニアスケール１６は、有効領域１６ａと、有効領域１６ａのＤ方向における両端に隣接する２つの無効領域１６ｂと、を有する。有効領域１６ａは、センサ１８がスケールを読み取れる領域であり、無効領域１６ｂは、センサ１８がスケールを読み取れない領域である。

センサ１８は、リファレンスマーク１４を検出可能に構成されたマーク検出部２８と、リニアスケール１６を検出可能に構成されたスケール検出部２９と、を含む。本実施の形態では、センサ１８は、平面視において、リファレンスマーク１４の移動経路上にマーク検出部２８が位置し、リニアスケール１６の移動経路上にスケール検出部２９が位置するように配置される。

マーク検出部２８は、リファレンスマーク１４を検出すると、すなわちリファレンスマーク１４がマーク検出部２８の真上を通過すると、所定の強度以上のパルス信号を制御装置２０に出力する。当該パルス信号のパルス幅は、マーク検出部２８の分解能と同程度であることが好ましいが、それよりも長くてもよい。制御装置２０は、詳しくは後述するが、マーク検出部２８が出力する信号に基づいて、リファレンスマーク１４がマーク検出部２８の真上に位置しているか否かを特定する。

スケール検出部２９は、スケール検出部２９の上方を移動するリニアスケール１６に設けられたスケールを読み取り、リニアスケール１６ひいてはキャリア１０がＲ［μｍ］（Ｒはスケール検出部２９の分解能）移動するごとに１パルスのパルス信号を制御装置２０に出力する。つまり、スケール検出部２９は、リニアスケール１６ひいてはキャリア１０の移動距離に応じた数のパルス信号を出力する。制御装置２０は、スケール検出部２９が出力するパルス信号をカウントすることにより、キャリア１０のＤ方向の位置または位置の変化量を特定（検出）する。なお以下では、位置を特定する場合について説明する。

複数のセンサ１８は、特に限定されないがこの例では等間隔に配置される。具体的には間隔Ｓで配置される。複数のセンサ１８は特に、センサ１８の間隔Ｓとリニアスケール１６の有効領域１６ａの長さ（以下、「有効領域長」という）Ｌｅが、「間隔Ｓ＜有効領域長Ｌｅ」の関係を満たすように配置される。この場合、キャリア１０が経路Ｐ上のどこに位置していても、リニアスケール１６の有効領域１６ａがいずれかのセンサ１８の検出領域（すなわちセンサ１８の真上）に位置するため、キャリア１０の位置を特定できる。複数のセンサ１８のそれぞれの位置は既知であるものとする。

制御装置２０は、位置特定部３０と、リニアモータ１２を制御してキャリア１０を移動させるリニアモータ制御部３２と、を含む。

リニアモータ制御部３２は、後述のように位置特定部３０によって特定されるキャリア１０の位置情報をフィードバックしながら、電源３４から各電磁石２６への電流の供給を制御し、キャリア１０を所望の位置に移動させる。

位置特定部３０は、センサ１８の出力に基づいてキャリア１０の位置を特定する。

リニアモータ搬送システムは、定期または不定期に停止、起動される。例えば、工場によっては、安全のために、就業時間の終了とともに停止し、就業時間の開始とともに起動する。また例えば、複数の加工ラインのそれぞれにリニアモータ搬送システムが用いられている場合において、製品の発注数の増減にともなって稼働させる加工ラインの数が増減し、したがってリニアモータ搬送システムを停止、起動することがある。

リニアモータ搬送システムが停止すると、具体的にはその制御装置の電源を切ると、制御装置が保持するキャリアの位置情報は消失する。制御装置が位置情報を保持しておくことも考えられるが、リニアモータ搬送システムの停止中にキャリアが移動されない保証はない。したがって、リニアモータ搬送システムを起動した際に、位置を特定する必要がある。

そこで、リニアモータ搬送システム１００では、起動させた直後の初期処理として、リニアモータ制御部３２がキャリア１０を移動させ、いずれかのセンサ１８にリファレンスマーク１４を検出させることによってキャリア１０の位置を特定する。

位置特定部３０は、複数のセンサ１８＿１～１８＿Ｎ（Ｎは２以上の整数であり、図１～３の例ではＮは３以上）のうちのいずれかのセンサ１８のマーク検出部２８から閾値強度以上（以下、ハイレベルともいう）の信号が出力されると、具体的には例えばセンサ１８＿ｉの第１検出部２８からハイレベルの信号が出力されると、当該センサ１８＿ｉの真上にリファレンスマーク１４ひいてはキャリア１０が位置していると特定する。位置特定部３０は、リファレンスマーク１４を検出したセンサ１８＿ｉを、キャリア１０の絶対位置を特定するための基準となるセンサ（以下、「基準センサ」という）として決定する。

位置特定部３０は、基準センサの真上にリファレンスマーク１４が位置しているときを「０」として、キャリア１０の移動に伴って基準センサのスケール検出部２９から出力されるパルス信号をカウントする。

位置特定部３０は、基準センサのスケール検出部２９から出力されるパルス信号のカウント値に基づいて、キャリア１０の基準センサからの距離、すなわち基準センサに対するキャリア１０の相対位置を特定する。位置特定部３０は、基準センサの位置に、特定した相対位置を加算することにより、キャリア１０の位置を特定する。

キャリア１０が或る程度移動すると、基準センサのスケール検出部２９の検出範囲（すなわち真上）からリニアスケール１６の有効領域１６ａが外れる。そうなると、当該基準センサの出力に基づいてキャリア１０の位置を特定できない。したがって、基準センサの検出範囲からリニアスケール１６の有効領域１６ａが外れる前に、基準センサに隣接するセンサ１８であって、その検出範囲（すなわち真上）にリニアスケール１６の有効領域１６ａがあるセンサ１８を、新たな基準センサとする必要がある。つまり、基準センサを切り替える必要がある。

具体的には位置特定部３０は、たとえば、センサ１８＿ｉが基準センサである場合においてＤ方向における紙面右側にキャリア１０が移動してセンサ１８＿ｉに対するキャリア１０の相対位置（パルス信号のカウント値）が所定の値となると、隣接するセンサ１８＿ｉ＋１を新たな基準センサとする。したがって、位置特定部３０は、それまではセンサ１８＿ｉに対するキャリア１０の相対位置を特定することによってキャリア１０の絶対位置を特定していたが、基準センサの切り替え後はセンサ１８＿ｉ＋１に対するキャリア１０の相対位置を特定することによってキャリア１０の絶対位置を特定する。つまり、センサ１８＿ｉ＋１の位置に、センサ１８＿ｉ＋１に対するキャリア１０の相対位置を加算することによりキャリア１０の位置を特定する。

位置特定部３０は、以上のように、キャリア１０の移動に伴って基準センサを切り替えながら、キャリア１０の位置を繰り返し特定し続ける。

ところで、一般にセンサ１８は、スケール検出部２９が常にリニアスケール１６を検出している状態で使用されることを前提としている。本発明者らが鋭意検討した結果、スケール検出部２９がリニアスケール１６を検出していない場合、マーク検出部２８の出力は不定となり、現実にはリファレンスマーク１４を検出していないにもかかわらずハイレベルの信号を出力することを認識した。したがって、初期処理においてリファレンスマーク１４の検出結果に基づいて基準センサを決定する際に、マーク検出部２８からの出力を取捨選択せずに用いると、基準センサを誤って決定し、キャリア１０の位置を誤って特定してしまうおそれがある。これについて図３を参照して詳細に説明する。

図３は、キャリア１０を初期処理として移動させたときのセンサ１８による出力を示すタイムチャートである。

時刻ｔ_０に、各センサ１８への電力の供給が開始される。時刻ｔ_１に、電磁石２６への電流の供給が開始される。電磁石２６への電流の供給により、この例ではキャリア１０は右側に移動している。時刻ｔ_２に、リニアスケール１６の有効領域１６ａ（の右端）がセンサ１８＿１のスケール検出部２９の真上に到達している。時刻ｔ_３に、リファレンスマーク１４がセンサ１８＿１のマーク検出部２８の真上に到達している。時刻ｔ_４に、リニアスケール１６の有効領域１６ａ（の右端）がセンサ１８＿２のスケール検出部２９の真上に到達している。つまり、リニアスケール１６の有効領域１６ａは、センサ１８＿１とセンサ１８＿２の両方のスケール検出部２９の真上にリニアスケール１６が位置している。時刻ｔ_５に、リニアスケール１６がセンサ１８＿１よりも右側に到達している。すなわち、リニアスケール１６がセンサ１８＿１の真上から外れている。時刻ｔ_６に、リファレンスマーク１４がセンサ１８＿２のマーク検出部２８の真上に到達している。

時刻ｔ_０～時刻ｔ_４にリニアスケール１６の有効領域１６ａはセンサ１８＿２のスケール検出部２９の真上になく、したがって当該スケール検出部２８はリニアスケール１６を検出していない。したがって、時刻ｔ_０～時刻ｔ_４におけるセンサ１８＿２のマーク検出部２８の出力は不定であり、リファレンスマーク１４がセンサ１８＿２のマーク検出部２８の真上に位置していないにもかかわらず、この例ではハイレベルの信号を出力したりローレベルの信号を出力したりしている。基準センサの決定に時刻ｔ_０～時刻ｔ_４におけるセンサ１８＿２のマーク検出部２８の出力を用いると、キャリア１０の位置を誤って特定するおそれがある。

また、図３の各時刻においてリニアスケール１６の有効領域１６ａはセンサ１８＿３のスケール検出部２９の真上にはなく、したがって当該スケール検出部２８はリニアスケール１６を検出していない。したがって、図３の各時刻におけるセンサ１８＿３のマーク検出部２８の出力は不定であり、リファレンスマーク１４がセンサ１８＿３のマーク検出部２８の真上に位置していないにもかかわらず、この例ではハイレベルの信号を出力したりローレベルの信号を出力したりしている。基準センサの決定に図３の各時刻におけるセンサ１８＿３の出力を用いると、キャリア１０の位置を誤って特定するおそれがある。

また、時刻ｔ_２になるまではリニアスケール１６の有効領域１６ａはセンサ１８＿１のスケール検出部２９の真上になく、したがって当該スケール検出部２９はリニアスケール１６を検出していない。したがって、時刻ｔ_２になるまでのセンサ１８＿１のマーク検出部２８の出力は不定であり、リファレンスマーク１４がセンサ１８＿２の真上に位置していないにもかかわらず、この例では時刻ｔ_２になるまでハイレベルの信号を出力し続けている。時刻ｔ_２になるとリニアスケール１６の有効領域１６ａはセンサ１８＿１のスケール検出部２９の真上に位置するため、当該スケール検出部２９は正しくローレベルの信号を出力している。つまり、時刻ｔ_２には、リファレンスマーク１４がセンサ１８＿１のマーク検出部２８の真上に位置していないにもかかわらず、当該マーク検出部２８の出力が変化している。基準センサの決定に時刻ｔ_２におけるセンサ１８＿１の出力を用いると、キャリア１０の位置を誤って特定するおそれがある。

時刻ｔ_３において、リニアスケール１６の有効領域１６ａはセンサ１８＿１のスケール検出部２８の真上にあり、したがって当該スケール検出部２８はリニアスケール１６を検出している。したがって、時刻ｔ_３におけるセンサ１８＿１のマーク検出部２８の出力は現実にリファレンスマーク１４を検出したことによる出力である。ここで、上述したように本実施の形態では、複数（全て）のセンサ１８は等間隔であって、間隔Ｓ（間隔Ｓ＜有効領域長Ｌｅ）で配置されるが、そうでない構成も考えられる。すなわち、複数のセンサ１８は、そのうちの一部のセンサ１８は隣り合うセンサ１８との間隔が有効領域長Ｌｅ以上となるように配置されることも考えられる。この場合、時刻ｔ_３のようにリニアスケール１６の有効領域１６ａが１つのセンサ１８のみの真上にある場合の出力を採用すると、リニアスケール１６の有効領域１６ａがスケール検出部２９の真上から外れた（すなわち出力が不定になった）ことによるマーク検出部２８の出力を採用してしまうおそれがある。

そこで、本実施の形態の位置特定部３０は、複数のセンサ１８のうち、スケール検出部２９がリニアスケール１６を検出していないセンサ１８のマーク検出部２８による出力には基づかず、スケール検出部２９がリニアスケール１６を検出しているセンサ１８のマーク検出部２８による出力に基づいてキャリア１０の位置を特定する。位置特定部３０は、特に、複数のセンサのうちの隣り合う２つのセンサ１８のスケール検出部２９がリニアスケール１６を同時に検出した後の、当該２つのセンサ１８のうちのキャリア１０の移動方向前側に位置するセンサ１８のマーク検出部２８による出力に基づいてキャリア１０の位置を特定する。これにより、リファレンスマーク１４の誤検出、ひいてはキャリア１０の位置を誤って特定することを避けられる。

例えば図示の例では、位置特定部３０は、複数のセンサ１８のうちの隣合う２つのセンサ１８＿１，１８＿２のスケール検出部２９がリニアスケール１６を同時に検出した後の、当該２つのセンサ１８＿１，１８＿２のうちのキャリア１０の移動方向前側（右側）に位置するセンサ１８＿２のマーク検出部２８による出力（すなわち時刻ｔ６における出力）に基づいてキャリア１０の位置を特定する。

リニアスケール１６を同時に検出している隣り合う２つのセンサ１８は、リニアスケール１６の移動距離に応じてそれらのスケール検出部２９が出力するパルス信号に基づくカウント数が変化するタイミングが、所定回数一致した２つのセンサであってもよい。

所定回数は、好ましくは複数回数である。この場合、隣り合う２つのセンサ１８は、リニアスケール１６を確実に同時に検出しているといえる。所定回数は、例えば６回であってもよく、この場合、例えば、センサ１８＿１によるリニアスケール１６の検出に基づくカウント数が１２→１３、１３→１４、１４→１５、１５→１６、１６→１７、１７→１８と切り替わる６回のタイミングと、センサ１８＿２によるリニアスケール１６の検出に基づくカウント数が０→１、１→２、２→３、３→４、４→５、５→６と切り替わる６回のタイミングが一致するため、センサ１８＿１とセンサ１８＿２がリニアスケール１６を同時に検出していると判断する。

続いて、実施の形態が奏する効果を説明する。本実施の形態によれば、固定子２２側に設けたセンサ１８により、キャリア１０の位置を検出できるため、キャリア１０の位置検出のためにキャリア１０側にセンサを設ける必要がなく、したがって、キャリア１０にバッテリを搭載したりキャリア１０から配線を引き出したりする必要がなくなる。

また、本実施の形態によれば、複数のセンサ１８のうち、スケール検出部２９がリニアスケール１６を検出していないセンサ１８のマーク検出部２８の出力には基づかず、スケール検出部２９がリニアスケール１６を検出しているセンサ１８のマーク検出部２８の出力に基づいてキャリア１０の位置を特定する。これにより、リファレンスマーク１４を誤検出することを避けられ、リファレンスマーク１４ひいてはキャリア１０の位置を特定できる。

また、本実施の形態によれば、複数のセンサのうちの隣り合う２つのセンサ１８のスケール検出部２９がリニアスケール１６を同時に検出した後の、当該２つのセンサ１８のうちのキャリア１０の移動方向前側に位置するセンサ１８のマーク検出部２８による出力に基づいてキャリア１０の位置を特定する。これにより、リファレンスマーク１４を誤検出することをさらに確実に避けられ、リファレンスマーク１４ひいてはキャリア１０の位置を特定できる。

以上、本発明を実施の形態をもとに説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下、変形例を説明する。

上述した実施の形態と変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施の形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。

本発明は、リニアモータ搬送システムおよびその運用方法に関する。

１０ キャリア、 １２ リニアモータ、 １４ リファレンスマーク、 １６ リニアスケール、 １８ センサ、 ２０ 制御装置、 １００ リニアモータ搬送システム。

Claims (5)

1. リニアスケールおよびリファレンスマークが固定されたキャリアと、
   前記キャリアを所定の経路に沿って移動させるリニアモータと、
   前記経路に沿って並べられた複数のセンサと、
   制御装置と、
   を備え、
   前記制御装置は、前記リニアモータを制御して初期処理として前記キャリアを移動させた場合において、前記複数のセンサのうち、前記リニアスケールを検出していないセンサによる前記リファレンスマークに関する出力には基づかず、前記リニアスケールを検出しているセンサによる前記リファレンスマークに関する出力に基づいて前記キャリアの位置を特定するリニアモータ搬送システム。
2. 前記キャリアの位置の特定に用いられる前記リファレンスマークに関する出力は、前記複数のセンサのうちの隣り合う２つのセンサが前記リニアスケールを同時に検出した後の、当該２つのセンサのうちの前記キャリアの移動方向前側に位置するセンサによる前記リファレンスマークに関する出力である請求項１に記載のリニアモータ搬送システム。
3. 前記リニアスケールを同時に検出している隣り合う２つのセンサは、前記リニアスケールの移動距離に応じて出力するパルス信号に基づくカウント数が変化するタイミングが、所定回数一致した２つのセンサである請求項２に記載のリニアモータ搬送システム。
4. 前記所定回数は、複数回数である請求項３に記載のリニアモータ搬送システム。
5. リニアスケールおよびリファレンスマークが固定されたキャリアと、前記キャリアを所定の経路に沿って移動させるリニアモータと、前記経路に沿って並べられた複数のセンサと、を備えるリニアモータ搬送システムの運用方法であって、
   初期処理として前記キャリアを移動させることと、
   前記複数のセンサのうちの前記リニアスケールを検出していないセンサによる前記リファレンスマークに関する出力には基づかず、前記リニアスケールを検出しているセンサによる前記リファレンスマークに関する出力に基づいて前記キャリアの位置を特定することと、
   を含むリニアモータ搬送システムの運用方法。