JP7785651B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

実施形態は、検査装置に関する。

発電機や電動機などの回転電機は、固定子と回転子との間に円筒状の隙間が介在している。

回転電機は、保守作業によって、電気的および機械的な健全性に関する検査が行われる。回転電機の検査は、例えば、回転子を固定子から抜き出して実行される。この他に、回転電機の検査は、例えば、固定子と回転子との間の隙間に検査装置を挿入し、移動させることで実行される。

特許６４２５８４４号 米国特許第７６２４８２７号明細書 特開２０１９－１１７１３７号公報 特開２０１９－１１７１３８号公報

しかしながら、従来の検査装置では、検査を効率的に行うことが困難な場合がある。具体的には、固定子と回転子との間の隙間に検査装置を挿入することが容易でないこと等に起因して、検査を効率的に実行することが困難になる場合がある。

したがって、本発明が解決しようとする課題は、検査を効率的に行うことを容易に実現可能な検査装置を提供することである。

実施形態の検査装置は、回転子と固定子との間に隙間が介在している回転電機について検査を実行する際に、前記隙間に挿入される検査装置であり、複数の検査用ユニットと連結シャフトとを備える。複数の検査用ユニットは、隙間において検査を実行するために設けられている。連結シャフトは、複数の検査用ユニットの間を連結するために設けられている。複数の検査用ユニットのそれぞれの間は、着脱自在に構成されており、複数の検査用ユニットのそれぞれには、連結状態であるときに連結シャフトが挿入される連結穴が形成されている。

図１は、実施形態の検査装置において、検査対象物である回転電機１０の一例を模式的に示す図である。 図２は、実施形態において、回転電機１０（図１参照）を検査するための検査システム８００を模式的に示すブロック図である。 図３Ａは、実施形態において、検査装置５００を示す斜視図である。 図３Ｂは、実施形態において、検査装置５００を示す斜視図である。 図３Ｃは、実施形態の検査装置５００について一部を分解した状態を示す斜視図である。 図４Ａは、実施形態の検査装置５００において、複数の検査用ユニット５１１～５１７が連結する部分を説明するための図である。 図４Ｂは、実施形態の検査装置５００において、複数の検査用ユニット５１１～５１７が連結する部分を説明するための図である。 図５は、実施形態の検査装置５００において、複数の検査用ユニット５１１～５１７が連結する連結状態について他の例を示す斜視図である。 図６は、実施形態の検査装置５００において、検査用ユニット５１３を示す斜視図である。 図７は、実施形態において、回転電機１０について検査を行うときの検査装置５００の状態を示す図である。

［Ａ］回転電機１０
実施形態の検査装置について説明する前に、検査対象物である回転電機１０の一例に関して説明する。

図１は、実施形態の検査装置において、検査対象物である回転電機１０の一例を模式的に示す図である。

図１に示すように、回転電機１０は、回転子２０および固定子４０が回転電機ケーシング６０に収容されており、回転子２０が固定子４０の内部で回転するインナーロータ形である。回転電機１０は、たとえば、発電機であって、回転子２０の回転によって発電を行うように構成されている。回転電機１０は、発電機の他に、電動機として用いることができる。

また、本実施形態において、回転電機１０は、回転電機ケーシング６０の内部において冷却ガスＣＧ（水素、空気などの冷却媒体）が流れることによって、回転子２０および固定子４０が冷却されるように構成されている。

回転電機１０を構成する各部について説明する。

［Ａ－１］回転子２０
回転電機１０において、回転子２０は、回転軸ＡＸに沿った軸方向が水平方向ｘに沿うように設置されている。ここでは、回転子２０は、円筒形状の回転子鉄心２００が回転シャフト２０１に対して同軸に設けられていると共に、冷却ガスＣＧが流れる冷却流路が形成されている。

回転子２０の回転子鉄心２００には、回転子スロット（図示省略）が回転子２０の周方向に複数形成されており、回転子スロットには、回転子コイル、回転子ウェッジ等の部材が設置されている。回転子スロットに設置された各部材には、冷却ガスＣＧが流れる通風孔が回転子２０の径方向に沿うように形成されている。冷却ガスＣＧが流れる通風孔は、回転子２０の周方向に複数が間を隔てて形成されていると共に、回転子２０の軸方向に複数が間を隔てて形成されている。

［Ａ－２］固定子４０
固定子４０は、固定子鉄心４１に固定子コイル４２が設置されている。固定子鉄心４１は、円筒形状であって、回転シャフト２０１に対して同軸に設けられている。固定子鉄心４１は、円筒形状の隙間ＡＧ（エアギャップ）を介して、回転子鉄心２００の周りを囲うように設置されている。

固定子鉄心４１の内周側には、回転軸ＡＸの軸方向に貫通する固定子スロットが形成されており、固定子コイル４２は、その固定子スロットに挿入され、例えば、固定子ウェッジ（図示省略）によって固定されている。図示を省略しているが、固定子４０においても、冷却ガスＣＧが流れる冷却流路が形成されている。

［Ａ－３］回転電機ケーシング６０
回転電機ケーシング６０は、２重構造であって、内部ケーシング６１の外側に外部ケーシング６２が設けられている。内部ケーシング６１は、回転シャフト２０１が貫通する貫通孔Ｋ６１を有しており、回転子２０と固定子４０とを内部に収容している。外部ケーシング６２は、回転シャフト２０１が貫通する貫通孔Ｋ６２を有しており、内部ケーシング６１を内部に収容している。

回転電機ケーシング６０において、内部ケーシング６１の上方には開口部Ｋ６１１が設けられており、その開口部Ｋ６１１にはガス冷却器８０が取り付けられている。また、内部ケーシング６１の貫通孔Ｋ６１の内部には、ファン９０が収容されている。

ファン９０は、軸流ファンであって、回転子２０を挟むように回転シャフト２０１の一方の側部および他方の側部のそれぞれに固定されている。

［Ａ－４］回転電機１０における冷却ガスＣＧの流れ
回転電機１０においては、回転シャフト２０１と共にファン９０が回転することによって、冷却ガスＣＧが内部ケーシング６１の外部から内部へ流入する。ここでは、回転シャフト２０１の一方の側部および他方の側部のそれぞれから中央部へ向かうように、冷却ガスＣＧが流れる。

内部ケーシング６１の内部において、冷却ガスＣＧは、回転子２０の内部に形成された冷却流路に流入した後に、回転子２０の外周面と固定子４０の内周面との間に位置する隙間ＡＧに流出する。回転子２０では、冷却ガスＣＧは、軸方向に沿って流れた後に、径方向に沿うように形成された通風孔において内周側から外周側へ流れる。

図示を省略しているが、冷却ガスＣＧは、その後、隙間ＡＧを経由して、固定子４０の内部に形成された冷却流路を流れる。固定子４０の外部へ排出された冷却ガスＣＧは、ガス冷却器８０を介して、内部ケーシング６１の内部から外部へ流れる。このとき、冷却ガスＣＧは、ガス冷却器８０において冷却される。ガス冷却器８０で冷却された冷却ガスＣＧは、外部ケーシング６２のうち内部ケーシング６１の外部に位置する空間を流れた後に、上述したように、ファン９０の回転によって内部ケーシング６１の外部から内部へ流入する。

このように、回転電機１０では、回転電機ケーシング６０の内部において冷却ガスＣＧが循環して流れることで各部が冷却されるように構成されている。

［Ｂ］検査システム８００
上記の回転電機１０（図１参照）を検査する際に用いる検査システム８００に関して説明する。

図２は、実施形態において、回転電機１０（図１参照）を検査するための検査システム８００を模式的に示すブロック図である。

図２に示すように、実施形態の検査システム８００は、検査装置５００と制御装置６００とを備え、検査装置５００と制御装置６００との間がケーブル７００を介して通信可能に構成されている。

［Ｂ－１］検査装置５００
検査装置５００は、詳細については後述するが、自走式の検査ロボットであって、回転電機１０（図１参照）の検査を実行する際に、回転子２０と固定子４０との間に介在している隙間ＡＧに挿入され、固定子４０に吸着した状態で走行可能に構成されている。

［Ｂ－２］制御装置６００
制御装置６００は、検査装置５００の動作を遠隔で制御するために設けられている。制御装置６００は、演算器（コンピュータ）と記憶装置とを含み、記憶装置が記憶するプログラムを用いて、演算器が検査装置５００の動作の制御を実行するように構成されている。

ここでは、制御装置６００は、例えば、操作者が操作装置（マウス、キーボード等）を用いて入力した操作指令に応じて、検査装置５００が回転電機１０の検査を実行するように、制御を行う。また、制御装置６００は、検査装置５００が実行する検査に関する情報や、検査装置５００が検査を実行することで得た情報等を、例えば、ディスプレイに表示するように、制御を行う。

［Ｃ］検査装置５００の構成
上記の検査システム８００（図２参照）を構成する検査装置５００の構成に関して説明する。

図３Ａおよび図３Ｂは、実施形態において、検査装置５００を示す斜視図である。

図３Ａは、回転子２０と固定子４０との間の隙間ＡＧに検査装置５００が挿入されたときに、固定子４０の側に位置する面側を示している。図３Ｂは、回転子２０と固定子４０との間の隙間ＡＧに検査装置５００が挿入されたときに、回転子２０の側に位置する面側を示している。

図３Ａおよび図３Ｂに示すように、検査装置５００は、複数の検査用ユニット５１１～５１７と連結シャフト５２０とを備える。

［Ｃ－１］複数の検査用ユニット５１１～５１７
複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれは、回転電機１０（図１参照）を構成する回転子２０と固定子４０との間の隙間ＡＧにおいて検査を実行するために設けられている。複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれは、回転子２０と固定子４０との間の隙間ＡＧに挿入されたときに、回転子２０の回転軸ＡＸに沿った軸方向に連結した状態になるように構成されている。

複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれは、回転電機１０（図１参照）の検査を行うための機能を有している。

具体的には、検査用ユニット５１１は、先端側撮像ユニットであって、撮像機器６１１と照明機器６１２とを検査用機器として備え、検査装置５００の先端側を照明機器６１２が照明し、撮像機器６１１が撮像するように構成されている（図３Ａ参照）。

検査用ユニット５１２は、ガイドユニットであって、一対のガイド板６２１を検査用機器として備え、検査装置５００の移動方向をガイドするように構成されている。ここでは、一対のガイド板６２１は、例えば、固定子４０（図１参照）において軸方向に沿うように形成された溝（図示省略）に挿入され、検査装置５００が軸方向に沿って移動するように導く。また、固定子４０に形成された溝の幅に合わせて、一対のガイド板６２１の間の距離が変動するように構成されている（図３Ａ参照）。

検査用ユニット５１３は、回転子撮像ユニットであって、撮像機器６３１を検査用機器として備え、撮像機器６３１を用いて回転子２０（図１参照）の撮像を行うように構成されている（図３Ｂ参照）。

検査用ユニット５１４は、走行用ユニットであって、クローラ６４１（無限軌道）と永久磁石６４２とを含む移動機構を検査用機器として備える。検査用ユニット５１４は、永久磁石６４２の磁力によって検査装置５００が固定子４０（図１参照）に吸着した状態で、検査装置５００がクローラ６４１によって移動するように構成されている。ここでは、検査用ユニット５１４は、一つの永久磁石６４２を一対のクローラ６４１が挟む移動機構を２つ備えており、２つの移動機構の動作によって、検査装置５００を任意の位置に移動させることができる。また、検査用ユニット５１４は、ハンマー６４３とマイクロフォン６４４とを検査用機器として備え、ハンマー６４３で固定子４０を叩いたときの音響をマイクロフォン６４４で検知するように構成されている。この他に、検査用ユニット５１４は、撮像機器６４５を検査用機器として備え、撮像機器６４５を用いて固定子４０の撮像を行うように構成されている（図３Ａ参照）。

検査用ユニット５１５は、制御用ユニットであって、検査装置５００を構成する各部の動作を制御するための制御盤（図示省略）を検査用機器として含むように構成されている。

検査用ユニット５１６は、検査用ユニット５１２と同様に、ガイドユニットであって、一対のガイド板６６１を検査用機器として備え、検査装置５００の移動方向をガイドするように構成されている（図３Ａ参照）。

検査用ユニット５１７は、検査装置５００と制御装置６００（図２参照）との間を接続するためのケーブル７００が連結されるインターフェースである。また、検査用ユニット５１７は、撮像機器６７１を検査用機器として備え、検査装置５００の後端側を撮像機器６７１が撮像するように構成されている（図３Ａ参照）。

図３Ｃは、実施形態の検査装置５００について一部を分解した状態を示す斜視図である。

図３Ｃに示すように、検査用ユニット５１１～５１４のそれぞれには、連結穴Ｈ５１０が形成されている。図示を省略しているが、他の検査用ユニット５１５～５１７のそれぞれにおいても、連結穴Ｈ５１０が形成されている。複数の検査用ユニット５１１～５１７において、連結穴Ｈ５１０は、複数の検査用ユニット５１１～５１７が連結状態であるときに連通するように構成されている。

本実施形態では、連結穴Ｈ５１０は、複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれにおいて、２つ形成されている。２つの連結穴Ｈ５１０は、複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれにおいて、両端に設けられている。

なお、図示を省略しているが、複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれは、互いが電気的に接続可能なコネクタ（プラグ、ジャック等）を有し、制御装置６００との間において通信可能に構成されている。

［Ｃ－２］連結シャフト５２０
連結シャフト５２０は、図３Ｃに示すように、棒状体であって、複数の検査用ユニット５１１～５１７の間を連結するために設けられている。

ここでは、連結シャフト５２０は、複数の検査用ユニット５１１～５１７に対して、着脱自在である。連結シャフト５２０は、複数の検査用ユニット５１１～５１７を連結状態にするときには、複数の検査用ユニット５１１～５１７において連通する連結穴Ｈ５１０に挿入される。これに対して、複数の検査用ユニット５１１～５１７の連結状態を解除する際には、連結シャフト５２０が連結穴Ｈ５１０から取り出される。

［Ｃ－３］複数の検査用ユニット５１１～５１７の連結部分の詳細
複数の検査用ユニット５１１～５１７が連結する部分の詳細に関して説明する。

図４Ａおよび図４Ｂは、実施形態の検査装置５００において、複数の検査用ユニット５１１～５１７が連結する部分を説明するための図である。

図４Ａは、検査装置５００のうち、検査用ユニット５１１～５１４の連結部分を拡大して示す斜視図である。図４Ｂは、検査装置５００のうち、検査用ユニット５１１～５１４の連結部分を拡大して示す平面図である。ここでは、検査用ユニット５１１～５１４の連結部分を示しているが、他の検査用ユニット５１５～５１７の連結部分も同様である。

図４Ａおよび図４Ｂに示すように、検査用ユニット５１１～５１４は、それぞれが嵌合することで連結するように構成されている。具体的には、検査用ユニット５１１に形成されたオス嵌合部５１１Ｍと、検査用ユニット５１２に形成されたメス嵌合部５１２Ｆとが嵌合する。また、検査用ユニット５１２に形成されたオス嵌合部５１２Ｍと、検査用ユニット５１３に形成されたメス嵌合部５１３Ｆとが嵌合する。同様に、検査用ユニット５１３に形成されたオス嵌合部５１３Ｍと、検査用ユニット５１４に形成されたメス嵌合部５１４Ｆとが嵌合する。

図示を省略しているが、オス嵌合部５１１Ｍ，５１２Ｍ，５１３Ｍのそれぞれと、メス嵌合部５１２Ｆ，５１３Ｆ，５１４Ｆのそれぞれとの間は、いずれもが嵌合するように構成されている。このため、複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれの間は、着脱自在であって、上記の連結状態の他に、さまざまな連結状態になることができる。

図５は、実施形態の検査装置５００において、複数の検査用ユニット５１１～５１７が連結する連結状態について他の例を示す斜視図である。

図５に示すように、実施形態の検査装置５００では、図３Ａの場合と異なり、例えば、検査用ユニット５１２と検査用ユニット５１４とが検査用ユニット５１３を介在せずに連結可能である。このように、本実施形態では、複数の検査用ユニット５１１～５１７は、嵌合部分の構成が共通であるので、検査装置５００の長さを任意に変更可能である。

なお、この場合には、検査装置５００の長さに合った長さの連結シャフト５２０が用いられる。

［Ｃ－４］検査用ユニット５１３の詳細構成
複数の検査用ユニット５１１～５１７のうち、検査用ユニット５１３の構成に関して説明する。

図６は、実施形態の検査装置５００において、検査用ユニット５１３を示す斜視図である。

図６に示すように、検査用ユニット５１３は、検査用機器である撮像機器６３１（図３Ｂ参照）の他に、撮像機器６３１を収容するフレーム６３０を含む。

検査用ユニット５１３において、フレーム６３０は、円筒形状の隙間ＡＧ（図１参照）に沿った円弧形状である。

また、本実施形態では、フレーム６３０は、少なくとも表面が樹脂を用いて形成されている。例えば、フレーム６３０は、全体がナイロン１２を用いて形成されている。この他に、フレーム６３０は、例えば、金属材料で形成された基材の表面に、樹脂を被覆することで構成されていてもよい。

検査用ユニット５１３以外の検査用ユニット５１１，５１２，５１４～５１７に関しても、同様に、円弧形状のフレームを含み、フレームが樹脂を用いて形成されている。

［Ｄ］検査方法
上記の検査装置５００（図３Ａ参照）を用いて回転電機１０（図１参照）の検査を行うときの状態について説明する。

図７は、実施形態において、回転電機１０について検査を行うときの検査装置５００の状態を示す図である。図７では、回転電機１０（図１参照）において軸方向（ｘ方向）が直交する鉛直面（ｙｚ面）を示している。

図７に示すように、回転電機１０の検査を行うときには、回転子２０と固定子４０との間に介在している隙間ＡＧに検査装置５００を挿入する。ここでは、検査装置５００を構成する複数の検査用ユニット５１１～５１７（図３Ａ参照）の連結方向が回転電機１０の軸方向（図７では、ｘ方向）に沿うように、検査装置５００が回転電機１０の隙間ＡＧに挿入される。

隙間ＡＧに挿入された検査装置５００は、永久磁石６４２の磁力によって固定子４０に吸着した状態でクローラ６４１を用いて走行する。ここでは、永久磁石６４２と固定子４０との間が密着せずに離れた状態になるのに対して、クローラ６４１と固定子４０との間は密着した状態で、検査装置５００が走行する。

図７では図示を省略しているが、検査装置５００は、ガイド板６２１およびガイド板６６１（図３Ａ参照）が、固定子４０において軸方向に沿うように形成された溝に挿入される。このため、検査装置５００は、ガイド板６２１およびガイド板６６１（図３Ａ参照）によって軸方向に沿って走行する。検査装置５００の移動は、検査装置５００に設けられた撮像機器６１１、撮像機器６３１、撮像機器６４５、および、撮像機器６７１によって撮像された各画像を操作者が観察し、操作者が検査装置５００を操作することで実行される（図３Ａ，図３Ｂ参照）。

そして、検査装置５００が備える各機能（図３Ａ参照）を用いて、回転電機１０の検査が実行される。

本実施形態では、撮像機器６４５が固定子４０の内周面を撮像することで得たデジタル動画像をリアルタイムに観察することで、固定子４０の状態が検査される。この他に、固定子４０において固定子鉄心４１に固定子コイル４２を固定するための固定子ウェッジ（図示省略）の緩みを点検するために、その固定子ウェッジをハンマー６４３で叩き、その叩いたときの音響をマイクロフォン６４４で検知する検査が行われる。

また、本実施形態では、撮像機器６３１が回転子２０の外周面を撮像することで得たデジタル動画像をリアルタイムに観察することで、回転子２０の状態（通風孔の状態等）が検査される。

［Ｅ］まとめ
以上のように、本実施形態の検査装置５００は、複数の検査用ユニット５１１～５１７と連結シャフト５２０とを備える。複数の検査用ユニット５１１～５１７は、回転子２０と固定子４０との間の隙間ＡＧにおいて回転電機１０の検査を実行するために設けられている。連結シャフト５２０は、複数の検査用ユニット５１１～５１７の間を連結するために設けられている。ここでは、複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれの間が着脱自在に構成されている。そして、複数の検査用ユニット５１１～５１７のそれぞれには、連結状態であるときに連結シャフト５２０が挿入される連結穴Ｈ５１０が形成されている。

このため、本実施形態では、図３Ａおよび図５に示したように、検査内容に応じて検査装置５００の長さを任意に変更可能であり、回転子２０と固定子４０との間の隙間ＡＧに検査装置５００を挿入する作業を効率的に実行可能である。また、本実施形態では、検査装置５００を構成する複数の検査用ユニット５１１～５１７の一部に故障が生じた場合、その故障した検査用ユニットを交換することができる。

本実施形態の検査装置５００において、検査用ユニット５１３は、検査用機器である撮像機器６３１の他に、撮像機器６３１を収容するフレーム６３０を含む。フレーム６３０は、少なくとも表面が樹脂を用いて形成されている。本実施形態では、他の検査用ユニット５１１，５１２，５１４～５１７のフレームも、検査用ユニット５１３のフレーム６３０と同様に、少なくとも表面が樹脂を用いて形成されている。このため、本実施形態では、検査装置５００を軽量化することが可能であり、検査対象物に接触した場合であっても検査対象物に傷などの破損が発生することを防止可能である。また、ネジなどの組立部品の数を削減可能であり、ネジなどの組立部品の脱落によるリスクを低減可能である。

本実施形態の検査装置５００において、検査用ユニット５１３のフレーム６３０は、回転子２０と固定子４０との間の隙間ＡＧの形状に沿った円弧形状である。本実施形態では、他の検査用ユニット５１１，５１２，５１４～５１７のフレームも、検査用ユニット５１３のフレーム６３０と同様に、隙間ＡＧの形状に沿った円弧形状である。このため、本実施形態では、円筒形状の隙間ＡＧに検査装置５００を容易に挿入可能であると共に、その隙間ＡＧにおいて検査装置５００がスムーズに移動可能である。

［Ｆ］変形例
当然ながら、上記実施形態の検査装置５００は、上述した検査の他に、種々の検査を実行可能に構成されていてもよい。例えば、検査装置５００は、固定子４０について電磁気式鉄心欠陥検出（ＥＬ－ＣＩＤ；ＥＬｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ Ｃｏｒｅ Ｉｍｐｅｒｆｅｃｔｉｏｎ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）試験を行うための検査用ユニットを更に備えるように構成されていてもよい。

＜その他＞
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１０：回転電機、２０：回転子、４０：固定子、４１：固定子鉄心、４２：固定子コイル、６０：回転電機ケーシング、６１：内部ケーシング、６２：外部ケーシング、８０：ガス冷却器、９０：ファン、２００：回転子鉄心、２０１：回転シャフト、５００：検査装置、５１１：検査用ユニット、５１１Ｍ：オス嵌合部、５１２：検査用ユニット、５１２Ｆ：メス嵌合部、５１２Ｍ：オス嵌合部、５１３：検査用ユニット、５１３Ｆ：メス嵌合部、５１３Ｍ：オス嵌合部、５１４：検査用ユニット、５１４Ｆ：メス嵌合部、５１５：検査用ユニット、５１６：検査用ユニット、５１７：検査用ユニット、５２０：連結シャフト、６００：制御装置、６１１：撮像機器、６１２：照明機器、６２１：ガイド板、６３０：フレーム、６３１：撮像機器、６４１：クローラ、６４２：永久磁石、６４３：ハンマー、６４４：マイクロフォン、６４５：撮像機器、６６１：ガイド板、６７１：撮像機器、７００：ケーブル、８００：検査システム、ＡＧ：隙間、ＡＸ：回転軸、ＣＧ：冷却ガス、Ｈ５１０：連結穴、Ｋ６１：貫通孔、Ｋ６１１：開口部、Ｋ６２：貫通孔

Claims (3)

1. 回転子と固定子との間に隙間が介在している回転電機について検査を実行する際に、前記隙間に挿入される検査装置であって、
   前記隙間において前記検査を実行するための複数の検査用ユニットと、
   前記複数の検査用ユニットの間を連結するための連結シャフトと
   を備え、
   前記複数の検査用ユニットのそれぞれの間が着脱自在に構成されており、
   前記複数の検査用ユニットのそれぞれには、連結状態であるときに前記連結シャフトが挿入される連結穴が形成されている、
   検査装置。
2. 前記複数の検査用ユニットのそれぞれは、
   フレームと、
   前記フレームに設けられた検査用機器と
   を含み、
   前記フレームは、少なくとも表面が樹脂を用いて形成されている、
   請求項１に記載の検査装置。
3. 前記フレームは、前記隙間の形状に沿った円弧形状である、
   請求項２に記載の検査装置。