JPH01101001A - セラミック交換式ピルボックス型セラミックウィンド - Google Patents
セラミック交換式ピルボックス型セラミックウィンドInfo
- Publication number
- JPH01101001A JPH01101001A JP62258824A JP25882487A JPH01101001A JP H01101001 A JPH01101001 A JP H01101001A JP 62258824 A JP62258824 A JP 62258824A JP 25882487 A JP25882487 A JP 25882487A JP H01101001 A JPH01101001 A JP H01101001A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- metal
- circular waveguide
- rectangular waveguides
- flanges
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Plasma Technology (AREA)
- Waveguide Connection Structure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は導波管のためのビルボックス型セラミックウィ
ンドに関する。
ンドに関する。
(従来の技術)
プラズマを加熱するためにマイクロ波を用いる場合にお
いて、該マイクロ波をプラズマ炉に導く手段として高周
波導波管が用いられる。該・高周波導波管において、広
い周波数帯域が必要とされる場合における真空封止用と
しては、ビルボックス型セラミックウィンドが一般的に
用いられる。
いて、該マイクロ波をプラズマ炉に導く手段として高周
波導波管が用いられる。該・高周波導波管において、広
い周波数帯域が必要とされる場合における真空封止用と
しては、ビルボックス型セラミックウィンドが一般的に
用いられる。
第1図は従来のビルボックス型セラミックウィンドを系
す′、このセラミックウィンドにおいては、セラミック
4がろう付けされた円形導波管2の両端に矩形導波管1
.3を更にろう付けして一体楕遺になされている。
す′、このセラミックウィンドにおいては、セラミック
4がろう付けされた円形導波管2の両端に矩形導波管1
.3を更にろう付けして一体楕遺になされている。
(発明が解決しようとする問題点)
上記の如く、従来のセラミックウィンドは一体槙遺であ
るため複雑であり、セラミックが破損した場合には、セ
ラミックウィンドの補修が困難であった。従って、新し
いセラミックウィンドの開発が望まれている。
るため複雑であり、セラミックが破損した場合には、セ
ラミックウィンドの補修が困難であった。従って、新し
いセラミックウィンドの開発が望まれている。
そこで、本発明は上記問題点を解決すべくなされたもの
であり、セラミックが破損した際における補修が容易な
ピルボツク型セラミックウィンドを提供することを目的
としている。
であり、セラミックが破損した際における補修が容易な
ピルボツク型セラミックウィンドを提供することを目的
としている。
(問題点を解決するための手段)
上記問題点を解決するために、本発明によるビルボック
ス型セラミックウィンドは、2つのメタル0リングと、
端面に前記メタル0リングが各々、収挿される溝が設け
られたフランジを各々端部に有する2つの矩形導波管と
、前記2つの矩形導波管の前記フランジ端面と当接され
且メタルOリングを押圧するようになされたフランジを
両端に有し、内側中央部にセラミックが気密にろう付け
されている円形導波管と、前記2つの矩形導波管と前記
円形導波管とをm結するボルトから構成されている。
ス型セラミックウィンドは、2つのメタル0リングと、
端面に前記メタル0リングが各々、収挿される溝が設け
られたフランジを各々端部に有する2つの矩形導波管と
、前記2つの矩形導波管の前記フランジ端面と当接され
且メタルOリングを押圧するようになされたフランジを
両端に有し、内側中央部にセラミックが気密にろう付け
されている円形導波管と、前記2つの矩形導波管と前記
円形導波管とをm結するボルトから構成されている。
(作 用)
このように構成することによって、セラミックウィンド
を構成する各構成要素が簡素化され、セラミックが破損
した場合に、ボルトをはずして矩形導波管と円形導波管
とを分離した後、円形導波管を交換するだけで容易に修
復することができる。
を構成する各構成要素が簡素化され、セラミックが破損
した場合に、ボルトをはずして矩形導波管と円形導波管
とを分離した後、円形導波管を交換するだけで容易に修
復することができる。
更に、円形導波管の構造が簡単なのでセラミ・ンクの再
ろう付けも容易である9 (実施例) 次に、添付図面を参照しつつ本発明の詳細な説明する。
ろう付けも容易である9 (実施例) 次に、添付図面を参照しつつ本発明の詳細な説明する。
第2図は本発明によるセラミックウィンドの実施例を示
す、第2図において、1は真空側矩形導波管であり、3
は大気側矩形導波管である。該2つの矩形導波管1.3
は各々、端部にフランジを有する。更に、該フランジの
端面にはメタルOリング5が萩挿される溝が設けられて
いる。矩形導波’i#1及び3は同一形状になして互換
性を有するようにすることも出来る。2は円形導波管で
あり、矩形導波管1.3のフランジ端面と当接され且メ
タルOリングを押圧すべく、両端にフランジが設けられ
ている0円形導波管2の内側中央部にはセラミック4が
気密にろう付けされている。また、円形導波管2と矩形
導波管1,3とのフランジにはボルト6が挿入できる孔
(図示せず)が各々設けられており、矩形導波管1.3
に各々メタル0リングを収挿せしめた後、ボルト6を上
記孔に挿入して締結することによって、円形導波管2と
矩形導波管1,3とが気密に連結される。
す、第2図において、1は真空側矩形導波管であり、3
は大気側矩形導波管である。該2つの矩形導波管1.3
は各々、端部にフランジを有する。更に、該フランジの
端面にはメタルOリング5が萩挿される溝が設けられて
いる。矩形導波’i#1及び3は同一形状になして互換
性を有するようにすることも出来る。2は円形導波管で
あり、矩形導波管1.3のフランジ端面と当接され且メ
タルOリングを押圧すべく、両端にフランジが設けられ
ている0円形導波管2の内側中央部にはセラミック4が
気密にろう付けされている。また、円形導波管2と矩形
導波管1,3とのフランジにはボルト6が挿入できる孔
(図示せず)が各々設けられており、矩形導波管1.3
に各々メタル0リングを収挿せしめた後、ボルト6を上
記孔に挿入して締結することによって、円形導波管2と
矩形導波管1,3とが気密に連結される。
(発明の効果)
以上の如く、本発明によるビルボックス型セラミックウ
ィンドは、2つのメタルOリングと、端面に前記メタル
Oリングが各々、収挿される渭が設けられたフランジを
各々端部に有する2つの矩形導波管と、前記2つの矩形
導波管の前記フランジ端面と当接され且メタル0リング
を押圧するようになされたフランジを両端に有し、内側
中央部にセラミックが気密にろう付けされている円形導
波管と、前記2つの矩形導波管と前記円形導波管とを締
結するボルトから構成されている故、セラミックが破損
した場合に、ボルトをはずして矩形導波管と円形導波管
とを分離した後、円形導波管を交換するだけで容易に修
復することができる。
ィンドは、2つのメタルOリングと、端面に前記メタル
Oリングが各々、収挿される渭が設けられたフランジを
各々端部に有する2つの矩形導波管と、前記2つの矩形
導波管の前記フランジ端面と当接され且メタル0リング
を押圧するようになされたフランジを両端に有し、内側
中央部にセラミックが気密にろう付けされている円形導
波管と、前記2つの矩形導波管と前記円形導波管とを締
結するボルトから構成されている故、セラミックが破損
した場合に、ボルトをはずして矩形導波管と円形導波管
とを分離した後、円形導波管を交換するだけで容易に修
復することができる。
更に、円形導波管の構造が簡単なのでセラミ・ンクの再
ろう付けも容易である。
ろう付けも容易である。
第1図は従来のビルボックス型セラミ・ノクウイ第3図
は第2図のビルボックス型セラミックウィンドの分解状
態を示す断面図である。 1:真空側矩形導波管 2:円形導波管3:大気側矩
形導波管 4:セラミック5:メタルOリング
6:ボルト
は第2図のビルボックス型セラミックウィンドの分解状
態を示す断面図である。 1:真空側矩形導波管 2:円形導波管3:大気側矩
形導波管 4:セラミック5:メタルOリング
6:ボルト
Claims (1)
- 2つのメタルOリングと、端面に前記メタルOリング
が各々、嵌挿される溝が設けられたフランジを各々端部
に有する2つの矩形導波管と、前記2つの矩形導波管の
前記フランジ端面と当接され且メタルOリングを押圧す
るようになされたフランジを両端に有し、内側中央部に
セラミックが気密にろう付けされている円形導波管と、
前記2つの矩形導波管と前記円形導波管とを締結するボ
ルトからなるセラミック交換式ビルボックス型セラミッ
クウィンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62258824A JPH01101001A (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | セラミック交換式ピルボックス型セラミックウィンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62258824A JPH01101001A (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | セラミック交換式ピルボックス型セラミックウィンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01101001A true JPH01101001A (ja) | 1989-04-19 |
Family
ID=17325548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62258824A Pending JPH01101001A (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | セラミック交換式ピルボックス型セラミックウィンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01101001A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110190363A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-08-30 | 北京无线电测量研究所 | 圆形波导密封窗 |
| JP2022089496A (ja) * | 2020-12-04 | 2022-06-16 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | ピルボックス窓及びピルボックス窓の製造方法 |
| WO2023095284A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | ピルボックス窓及びピルボックス窓の製造方法 |
-
1987
- 1987-10-14 JP JP62258824A patent/JPH01101001A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110190363A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-08-30 | 北京无线电测量研究所 | 圆形波导密封窗 |
| JP2022089496A (ja) * | 2020-12-04 | 2022-06-16 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | ピルボックス窓及びピルボックス窓の製造方法 |
| WO2023095284A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | ピルボックス窓及びピルボックス窓の製造方法 |
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