JPH01104035U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01104035U JPH01104035U JP19934987U JP19934987U JPH01104035U JP H01104035 U JPH01104035 U JP H01104035U JP 19934987 U JP19934987 U JP 19934987U JP 19934987 U JP19934987 U JP 19934987U JP H01104035 U JPH01104035 U JP H01104035U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- holder
- covers
- holder plate
- upper lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例による無電解メツ
キ用ウエハホルダーを示す縦断面図、第２図は従
来の無電解メツキ設備を示す断面図である。 図において、３はウエハ、５は上蓋、６は保持
台、７はパツキング、８は蝶つがい、９は取手を
示す。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部
分を示す。
キ用ウエハホルダーを示す縦断面図、第２図は従
来の無電解メツキ設備を示す断面図である。 図において、３はウエハ、５は上蓋、６は保持
台、７はパツキング、８は蝶つがい、９は取手を
示す。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部
分を示す。
Claims (1)
- ウエハまたはウエハが貼付された保持板の裏面
をおおう保持台と保持板表面またはウエハ表面の
周辺部をおおう上蓋とを備えたことを特徴とする
ウエハホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19934987U JPH01104035U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19934987U JPH01104035U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01104035U true JPH01104035U (ja) | 1989-07-13 |
Family
ID=31489801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19934987U Pending JPH01104035U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01104035U (ja) |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP19934987U patent/JPH01104035U/ja active Pending