JPH01105890U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01105890U JPH01105890U JP37788U JP37788U JPH01105890U JP H01105890 U JPH01105890 U JP H01105890U JP 37788 U JP37788 U JP 37788U JP 37788 U JP37788 U JP 37788U JP H01105890 U JPH01105890 U JP H01105890U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- moving
- base
- universal joint
- lifting means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案ユニバーサルステージの一実施
例の正面図、第2図は第1図の―矢視側面図
、第3図は第2図の―矢視平面図である。 1……基盤、2……X方向固定ステージ、3…
…X方向ステージ走行ノブ、4……走行ボルト、
5……X方向走行ステージ、6……Y方向固定ス
テージ、7……Y方向ステージ走行ノブ、8……
走行ボルト、9……Y方向走行ステージ、10…
…球形ユニバーサルジヨイント固定金物、11…
…締付け棒、12……球形ユニバーサルジヨイン
トステージ、13……球形ユニバーサルジヨイン
ト、14……昇降走行ノブ、15……昇降ボルト
、16……観察ステージ、17……観察ステージ
座台、18……観察ステージ回転固定ノブ、19
……水平調整ねじ、20……磁石板。
例の正面図、第2図は第1図の―矢視側面図
、第3図は第2図の―矢視平面図である。 1……基盤、2……X方向固定ステージ、3…
…X方向ステージ走行ノブ、4……走行ボルト、
5……X方向走行ステージ、6……Y方向固定ス
テージ、7……Y方向ステージ走行ノブ、8……
走行ボルト、9……Y方向走行ステージ、10…
…球形ユニバーサルジヨイント固定金物、11…
…締付け棒、12……球形ユニバーサルジヨイン
トステージ、13……球形ユニバーサルジヨイン
ト、14……昇降走行ノブ、15……昇降ボルト
、16……観察ステージ、17……観察ステージ
座台、18……観察ステージ回転固定ノブ、19
……水平調整ねじ、20……磁石板。
Claims (1)
- 水平を保つ手段を具えた基盤と、上記基盤上に
乗載されX・Y方向に移動する移動ステージと、
上記移動ステージに具設された球形ユニバーサル
ジヨイントを介して取付けられた昇降手段及び傾
斜手段と、上記昇降手段に回転可能に載置され物
体を乗せるステージとを具えたことを特徴とする
ユニバーサルステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37788U JPH01105890U (ja) | 1988-01-06 | 1988-01-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37788U JPH01105890U (ja) | 1988-01-06 | 1988-01-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105890U true JPH01105890U (ja) | 1989-07-17 |
Family
ID=31199350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37788U Pending JPH01105890U (ja) | 1988-01-06 | 1988-01-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01105890U (ja) |
-
1988
- 1988-01-06 JP JP37788U patent/JPH01105890U/ja active Pending