JPH01105940U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01105940U JPH01105940U JP17688U JP17688U JPH01105940U JP H01105940 U JPH01105940 U JP H01105940U JP 17688 U JP17688 U JP 17688U JP 17688 U JP17688 U JP 17688U JP H01105940 U JPH01105940 U JP H01105940U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cradle
- fixing screw
- positioning jig
- protruding rod
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の横断面図を示す。第２図は本
考案の詳細な受け台の正面図を示す。第３図は従
来の露光用位置合わせ治具の正面図を示す。 符号の説明、１……ガラス原版、２……基板、
３……突起棒、４……受け台、５……固定ネジ、
６……位置合わせマーク、７……フイルム、８…
…光、９……フイルム合わせ。
考案の詳細な受け台の正面図を示す。第３図は従
来の露光用位置合わせ治具の正面図を示す。 符号の説明、１……ガラス原版、２……基板、
３……突起棒、４……受け台、５……固定ネジ、
６……位置合わせマーク、７……フイルム、８…
…光、９……フイルム合わせ。
Claims (1)
- 基板台片端に固定ネジを有する受け台を設けて
なる露光機用位置合わせ治具において該受け台に
少なくとも１つの突起棒を備えて成ることを特徴
とする露光機用位置合わせ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17688U JPH01105940U (ja) | 1988-01-05 | 1988-01-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17688U JPH01105940U (ja) | 1988-01-05 | 1988-01-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105940U true JPH01105940U (ja) | 1989-07-17 |
Family
ID=31198974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17688U Pending JPH01105940U (ja) | 1988-01-05 | 1988-01-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01105940U (ja) |
-
1988
- 1988-01-05 JP JP17688U patent/JPH01105940U/ja active Pending
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