JPH01107341A - 電子線記録再生装置 - Google Patents

電子線記録再生装置

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JPH01107341A
JPH01107341A JP26400787A JP26400787A JPH01107341A JP H01107341 A JPH01107341 A JP H01107341A JP 26400787 A JP26400787 A JP 26400787A JP 26400787 A JP26400787 A JP 26400787A JP H01107341 A JPH01107341 A JP H01107341A
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JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
recording
beam source
recording medium
track
Prior art date
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Pending
Application number
JP26400787A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomio Yaguchi
富雄 矢口
Hitoshi Ikeda
池田 整
Toshiyuki Aida
会田 敏之
Makoto Suzuki
良 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH01107341A publication Critical patent/JPH01107341A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子線を利用した情報の記録再生装置に係わ
り、特に高密度記録に好適な電子線記録再生装置に関す
る。
〔従来の技術〕
電子線記録再生装置の一つとして、記録媒体を回転する
ディスクとした記録再生方式は、記録媒体の交換ができ
、また原理的に大容量の記録が可能であるので近年注目
を集めている。この方式は、磁気ディスクや光ディスク
と同様な方式である。
しかし、電子線を用いる場合にはその高い収束性を有効
に活用するために記録再生の際の位置決めの方法、つま
りトラッキングの方式がより重要になる。トラッキング
方式としては、この記録トラックからの散乱電子を利用
する方式が特開昭60−29953に提案されている。
この方式は、電子ビームが記録用ディスクに照射される
位置の近傍にトラックを挟んで少なくとも2個の二次電
子線などの検出手段を設け、この手段の出力を比較し、
トラッキングする方式である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術は、二次電子などの検出のために専用の検
出器を設置しなければならないという点については配慮
されておらず、可動の電子線源をディスクの半径方向に
移動させるようにした記録再生方式に用いるときは、可
動部分である記録再生ヘッドが重くなり、アクセス速度
が遅くなるという問題点があった。
本発明の目的は、正確にトラッキングを行うことができ
、かつアクセス速度が遅くならない電子線記録再生装置
を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は、電子ビームを記録する凸状又は溝状のトラ
ックが刻まれた記録媒体と、該記録媒体に電子線を照射
する電子線源とを有する電子線記録再生装置において、
上記トラックに実質的に記録面内で直角方向に上記電子
線源を微動させる微動機構と、上記電子線源と上記記録
媒体との距離を検出する検出手段とを有し、上記微動機
構による上記電子線源の微動と、該微動により生じる上
記電子線源と上記記録媒体との距離変化から、上記電子
線源の位置と上記トラックの中心とのずれを検出し、上
記電子線源をトラックの中心上に引き戻すための手段を
有することを特徴とする電子線記録再生装置によって達
成される。
上記の微動機構はどのようなものであってもよい。例え
ば、電子線源の横に圧電素子を付け、この圧電素子駆動
電圧を変化させることにより、電子線源を微動させる方
法でよい。微動の方向は、記録媒体がディスクであり、
トラックが同心円状又は渦巻き状の形状であるときは、
その半径方向である。微動は、トラックの幅以下である
ことが電子銃の位置と溝の中心上の位置とのずれが容易
に判定できるので好ましい。トラックは溝であっても凸
部であってもよいが、記録によりトラックの形状が変化
する場合1例えばトラックに穴が形成される場合は、ト
ラックが溝である方が好ましい。電子線記録では種々の
記録方法があり、記録部材の形状を変化させる場合のほ
か、その材質を部分的に変化させる場合もあり、このよ
うな場合にはトラックは溝であっても凸部であってもよ
い。
電子線源と記録媒体との距離は、どのような方法で測定
してもよい。例えば、電子銃から弱い電界放射電流を流
し、この電流から上記距離を知ることができる。
〔作用〕
電子線を用いた記録再生装置において、専用の検出器を
用いることなく、記録媒体上の所望の位置に電子線源を
高速かつ正確に位置づけることができる。これにより、
微細な記録ピットでも確実な記録再生ができるようにな
る。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。
第1図においてディスク1は幅0.3p深さ0.1−の
V型のトラック溝2を加工しである直径6インチのへの
円板である。このディスク上には、厚さ0.1−のニト
ロセルロース膜3と20n mのAu膜4からなる記録
膜が形成されている。このディスクに対向している陰極
ティップ5は、O,1mmのW線を電界研摩して作成し
たものであり、圧電素子6によりディスク面と垂直方向
に、圧電素子7によりディスクの半径方向にそれぞれ最
大5pの範囲で動かすことが可能である。圧電素子7は
トラッキング動作のための微動用であり、トラック選択
のための粗動機構としてはこれらの記録再生ヘッド全体
を駆動する機構を別に持っている。
陰極ティップとディスクの距離を0.5溝程度に近づけ
ると、印加電圧が低電圧であっても陰極ティップ先端に
は高電界が発生し距離に応じた電界放射電流が得られる
。電界放射電流は、抵抗8を流れて抵抗の両端に電位差
を生じる。この電位差を検出し、増幅器9により増幅し
た後、サーボ回路10で設定電圧と比較する。この結果
に従って圧電素子6を駆動して、電界放射電流が一定と
なるように陰極ティップとディスクの距離を調節する。
さらに、発振器11の出力に直流成分を加えた信号によ
り制御回路12を用いて圧電素子7を駆動し、陰極ティ
ップをV溝内でディスクの半径方向に幅0.1/7II
lで記録ピットの周期よりも長い周期で振動させた。こ
の時の電界放射電流を一定にするために必要な圧電素子
6の駆動電圧の変化は発振器11の出力に同期している
ので、これを検出回路13により取り出している。溝中
心上に陰極ティップが来た場合に圧電素子6の駆動電圧
は極大となる。
また、発振器11の出力電圧からずれの大きさが分かり
、この微分波形と圧電素子6の駆動波形の対応からずれ
の方向が分かる。これらより、この溝中心の位置と陰極
ティップの振動の中心とのずれを検出回路13により検
出してトラッキング信号として制御回路に入力している
。これにより、陰極ティップとV#のずれを常に±50
n m以内にすることができた。
これらの動作における圧電素子6および7の駆動電圧の
変化を第2図に示す。第2図(a)(b)は、陰極ティ
ップがトラック溝の中心上にある(トラッキングがかか
っている)場合、第2図(c)(d)は両者がずれてい
る(トラッキングがはずれている)場合である。このト
ラッキング動作をするために記録再生にかかわらず常に
陰極に電圧を印加して1nAの電界放射電流を流してい
るが、この電流では記録膜が損傷を受けることはなかっ
た。
読み出し時に、ニトロセルロース膜が消失した記録ピッ
トがあると、膜の厚さだけ陰極ティップとディスクの距
離が増えたことになり電界放射電流が減少する。この電
流変化は陰極ティップとディスクの間の距離変化やトラ
ッキング信号の変化に比較して高い周波数成分を持つた
め、バイパスフィルタにより分離することができ、電界
放射電流の変化としてピットの有無を検出することがで
きた。書き込みとしては、陰極印加電圧としてさらに幅
1μ秒のパルス電圧を重畳して印加し、およそ100n
Aの電流を流したところ、ニトロセルロースが消失して
記録媒体に直径0.2岬のピットを形成することができ
た。
〔発明の効果〕
本発明により、アクセス速度を犠牲にすることなく、記
録媒体上の所望の位置における直径0.2−のピットを
正確に記録再生することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の電子線記録再生装置の概略
図、第2図はトラッキング動作に関する圧電素子駆動電
圧変化を示す図である。 1・・・ディスク     2・・・トラック溝3・・
・ニトロセルロース膜 4・・・Au膜       5・・・陰極ティップ6
・・・距離調整用圧電素子 7・・・トラッキング用圧電素子 8・・・抵抗       9・・・増幅器10・・・
サーボ回路    11・・・発振器12・・・トラッ
キング制御回路 13・・・検出回路 代理人弁理士  中 村 純之助 第2図 に)(C) 吟!!!1              時開(b) 
    (d)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、電子ビームを記録する凸状又は溝状のトラックが刻
    まれた記録媒体と、該記録媒体に電子線を照射する電子
    線源とを有する電子線記録再生装置において、上記トラ
    ックに実質的に記録面内で直角方向に上記電子線源を微
    動させる微動機構と、上記電子線源と上記記録媒体との
    距離を検出する検出手段とを有し、上記微動機構による
    上記電子線源の微動と、該微動により生じる上記電子線
    源と上記記録媒体との距離変化から、上記電子線源の位
    置と上記トラックの中心とのずれを検出し、上記電子線
    源をトラックの中心上に引き戻すための手段を有するこ
    とを特徴とする電子線記録再生装置。 2、上記記録媒体は、ディスクであり、上記トラックは
    同心円状又は渦巻き状に形成されていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の電子線記録再生装置。 3、上記微動機構は、上記電子線源の横に付けられた圧
    電素子である特許請求の範囲第1項記載の電子線記録再
    生装置。 4、上記検出手段は読出し電流用のエミッション電流を
    用いて距離変化を検出する手段である特許請求の範囲第
    1項記載の電子線記録再生装置。
JP26400787A 1987-10-21 1987-10-21 電子線記録再生装置 Pending JPH01107341A (ja)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5199021A (en) * 1990-04-18 1993-03-30 Canon Kabushiki Kaisha Method of access to recording medium, and apparatus and method for processing information
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US6195313B1 (en) 1997-08-29 2001-02-27 Canon Kabushiki Kaisha Tracking mechanism and method using probes for information recording/reproducing apparatus

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