JPH01107864U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01107864U JPH01107864U JP1988003139U JP313988U JPH01107864U JP H01107864 U JPH01107864 U JP H01107864U JP 1988003139 U JP1988003139 U JP 1988003139U JP 313988 U JP313988 U JP 313988U JP H01107864 U JPH01107864 U JP H01107864U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- optical axis
- applying
- voltage
- return spring
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 claims 1
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図はＥＰＭＡの概略構成を示す断面図、第
２図はアパーチヤに対して設けられた光軸合わせ
機構の平面図である。 ４…アパーチヤ、１４ａ，１４ｂ…圧電素子、
１６ａ，１６ｂ…復帰用ばね。
２図はアパーチヤに対して設けられた光軸合わせ
機構の平面図である。 ４…アパーチヤ、１４ａ，１４ｂ…圧電素子、
１６ａ，１６ｂ…復帰用ばね。
Claims (1)
- 励起線絞り用のアパーチヤが光軸に対して直交
する平面内においてスライド自在に設けられ、こ
のアパーチヤには、電圧印加により前記平面方向
に沿つた歪みが生じる圧電素子と、この圧電素子
の歪みに応じて付勢される復帰用ばねの各々の一
端が当接され、前記圧電素子と復帰用ばねの他端
は共に固定されてなることを特徴とする表面分析
装置の光軸合わせ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988003139U JPH01107864U (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988003139U JPH01107864U (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01107864U true JPH01107864U (ja) | 1989-07-20 |
Family
ID=31204510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988003139U Pending JPH01107864U (ja) | 1988-01-14 | 1988-01-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01107864U (ja) |
-
1988
- 1988-01-14 JP JP1988003139U patent/JPH01107864U/ja active Pending