JPH01109059A - 生産制御装置 - Google Patents
生産制御装置Info
- Publication number
- JPH01109059A JPH01109059A JP62266334A JP26633487A JPH01109059A JP H01109059 A JPH01109059 A JP H01109059A JP 62266334 A JP62266334 A JP 62266334A JP 26633487 A JP26633487 A JP 26633487A JP H01109059 A JPH01109059 A JP H01109059A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- production
- equipment
- piece
- priority
- production process
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、生産制御技術、多品種混合型の４１．産を制
御する技術に関し、例えば、半導体装置の製造に１１用
して有効な技術に開する。
御する技術に関し、例えば、半導体装置の製造に１１用
して有効な技術に開する。
半ｊＪＪ体装置の製造は多数の種類の製品を対象とし、
しかも、各品種が経る工程の組合せおよび順序が同一で
なく、生産管理が複雑になるため、コンピュータ等を利
用して、各製品別の納期や進度状況等を把握し、定期的
に各製品別に各工程での処理開始時期（または完成時期
）や、送り先を指示する生産制御システムが採Ｉｎされ
ている。
しかも、各品種が経る工程の組合せおよび順序が同一で
なく、生産管理が複雑になるため、コンピュータ等を利
用して、各製品別の納期や進度状況等を把握し、定期的
に各製品別に各工程での処理開始時期（または完成時期
）や、送り先を指示する生産制御システムが採Ｉｎされ
ている。
多品種製品生産制御スｎ技術を述べである例とし”ζ、
特開昭５Ｇ−１１４（ｉ５０号公報に記載されているよ
うに、工程の順序およびその組合せが同一の製品同士で
グループ分けを行い、そのグループ毎に生産を制御する
技術がある。
特開昭５Ｇ−１１４（ｉ５０号公報に記載されているよ
うに、工程の順序およびその組合せが同一の製品同士で
グループ分けを行い、そのグループ毎に生産を制御する
技術がある。
しかし、このような多品種製品生産制御技術においては
、多品種化がより一層進むと、製品の品種および特性の
維持向上を図る必要上、「この製品はこの工程の場合は
この設備」という如く、各設備に対応して管理されるよ
うになって来ており、グループ分けの場合は個々の設備
の過負荷状態を考えていないため、生産性を最大にする
ことが困煮になるという問題点があることが、本発明者
によって明らかにされた。
、多品種化がより一層進むと、製品の品種および特性の
維持向上を図る必要上、「この製品はこの工程の場合は
この設備」という如く、各設備に対応して管理されるよ
うになって来ており、グループ分けの場合は個々の設備
の過負荷状態を考えていないため、生産性を最大にする
ことが困煮になるという問題点があることが、本発明者
によって明らかにされた。
本発明の目的は、生産工程全体の生産性を向上させるこ
とができる生産制御装置を提供することにある。
とができる生産制御装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
〔問題点を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。
を説明すれば、次の通りである。
ずなわら、複数種類の製品について、個々の製品が各生
産工程を通過する時期とその生産量とを予測する予測手
段と、各生産工程内の各設備の処理能力を記憶する能力
記憶手段と、予測手段からの予測結果と能力記憶手段手
段からの処理能力とを照合することによって各生産工程
内における各設備の過負荷状況を判定し、各設備の過負
荷を各生産工程における各設備相互について比較するこ
とによって生産の優先順位を決定する優先順位決定手段
と、優先順位決定手段の決定に基づき各製品についての
着工順序を変更し以後の生産進行を指示する着−［順序
変更手段とを設けたものである。
産工程を通過する時期とその生産量とを予測する予測手
段と、各生産工程内の各設備の処理能力を記憶する能力
記憶手段と、予測手段からの予測結果と能力記憶手段手
段からの処理能力とを照合することによって各生産工程
内における各設備の過負荷状況を判定し、各設備の過負
荷を各生産工程における各設備相互について比較するこ
とによって生産の優先順位を決定する優先順位決定手段
と、優先順位決定手段の決定に基づき各製品についての
着工順序を変更し以後の生産進行を指示する着−［順序
変更手段とを設けたものである。
前記した手段によれば、各生産工程および個々の設備の
過負荷の状態がどのように推移するかが予測されるとと
もに、各生産工程および設備相互についての能力の過ｉ
′Ｌ荷の度合が比較されることにより、現在の生産状況
全体の中からネックとなる生産工程および設備が摘出さ
れるため、その部分の生産性を最大化することにより、
生産工程全体の生産性が向上されることになる。
過負荷の状態がどのように推移するかが予測されるとと
もに、各生産工程および設備相互についての能力の過ｉ
′Ｌ荷の度合が比較されることにより、現在の生産状況
全体の中からネックとなる生産工程および設備が摘出さ
れるため、その部分の生産性を最大化することにより、
生産工程全体の生産性が向上されることになる。
（実施例）−
第１図は本発明の一実施例である生産制御システムを示
す模式図、第２図はその作用を説明するための工程図、
第３図、第４図および第５図は同じく各線図である。
す模式図、第２図はその作用を説明するための工程図、
第３図、第４図および第５図は同じく各線図である。
本実施例において、生産制御装置はコンピュータ等を用
いて構成されており、半導体装置の製造工場において、
多品種のウェハを製造するのを制御するものとして構成
されζいる。
いて構成されており、半導体装置の製造工場において、
多品種のウェハを製造するのを制御するものとして構成
されζいる。
ところで、ウェハはリソグラフィー工程、拡散工程、蒸
若工程等のような複数種類のプロセスを何回も繰り返し
て、しかも、各段階で処理条件を変更調整されて製造さ
れる。また、異品種ウェハ相互間では処理条件が相違す
ることは勿論、プロセスの順序、組合せも相違すること
がある。さらに、多品種化がより一層進むと、製品の品
種および特性の維持向上を図るため各品種毎に使用する
設備が指定されることがある。
若工程等のような複数種類のプロセスを何回も繰り返し
て、しかも、各段階で処理条件を変更調整されて製造さ
れる。また、異品種ウェハ相互間では処理条件が相違す
ることは勿論、プロセスの順序、組合せも相違すること
がある。さらに、多品種化がより一層進むと、製品の品
種および特性の維持向上を図るため各品種毎に使用する
設備が指定されることがある。
そこで、説明を簡単にするため、互いに品種の異なる３
種類の第１〜第３ウエハ群Ｆ１ｓＦ１お、１；び１？３
がファミリーとして第２図に示されているようなプ「Ｉ
セス、工程順序および組合せによっ°Ｃ生産される場合
を例として説明する。
種類の第１〜第３ウエハ群Ｆ１ｓＦ１お、１；び１？３
がファミリーとして第２図に示されているようなプ「Ｉ
セス、工程順序および組合せによっ°Ｃ生産される場合
を例として説明する。
なお、第２図中、Ｋｌ ％ Ｋｔ 、Ｋ３は各生産工程
（以下、Ｋ□工程、Ｋｇ工程、Ｋ３工程という。
（以下、Ｋ□工程、Ｋｇ工程、Ｋ３工程という。
）、Ｋ３工程のａ、ｂ、ｃは各生産設備（以下、ａ設備
、ｂ設備、Ｃ設備という、）である、第２図のａ、ｂ、
ｃは各ウェハ群Ｆｌ ％ Ｆｉｌ ％ Ｔ’３かに３工
稈のどの設備を使用するかをそれぞれ示し°ζいる。
、ｂ設備、Ｃ設備という、）である、第２図のａ、ｂ、
ｃは各ウェハ群Ｆｌ ％ Ｆｉｌ ％ Ｔ’３かに３工
稈のどの設備を使用するかをそれぞれ示し°ζいる。
生産制御装置は、現在の生産状況から各生産コ―程およ
び個々の設備について能力負１：ｉがどのように推移す
るかを予測する予測手段Ｍｌと、予測手段Ｍ１からの予
測データと後記する能力記憶手段Ｍ３からの能力値とに
基づ６各生産工程および個々の設備相互の照合を行い個
々の製品の優先度を決定する優先順位決定手段Ｍ！と、
各生産工程および個々の設備の能力を記憶する能力記憶
手段Ｍ３と、前記決定手段Ｍ！からのｔｔｔ示に基づき
各製品についての着工順序を変更して指示する若工順序
変更手段Ｍ４と、生産状態を把握し、製品の種類および
数量等の入力を行う各入力手段ＭＳ ８〜Ｍ５ｃとを備
えており、これらは後述する作用を実現するように構成
されている。
び個々の設備について能力負１：ｉがどのように推移す
るかを予測する予測手段Ｍｌと、予測手段Ｍ１からの予
測データと後記する能力記憶手段Ｍ３からの能力値とに
基づ６各生産工程および個々の設備相互の照合を行い個
々の製品の優先度を決定する優先順位決定手段Ｍ！と、
各生産工程および個々の設備の能力を記憶する能力記憶
手段Ｍ３と、前記決定手段Ｍ！からのｔｔｔ示に基づき
各製品についての着工順序を変更して指示する若工順序
変更手段Ｍ４と、生産状態を把握し、製品の種類および
数量等の入力を行う各入力手段ＭＳ ８〜Ｍ５ｃとを備
えており、これらは後述する作用を実現するように構成
されている。
次に作用を説明する。
予め、予測手段Ｍｌにおいて、受注や販売計画、並びに
過去の生産実績および現在の生産状況等に基づき各生産
工程および個々の設備について負荷能力がどのように推
移するかが予測され、各ウェハＦｘｓＦｔ、ＦｓがＫｌ
、に！およびに３工程を通過する時期とその生産量と
が予測される。
過去の生産実績および現在の生産状況等に基づき各生産
工程および個々の設備について負荷能力がどのように推
移するかが予測され、各ウェハＦｘｓＦｔ、ＦｓがＫｌ
、に！およびに３工程を通過する時期とその生産量と
が予測される。
他方、過去の生産実禎等により求められたＫｌ、Ｋｔお
よびに３工程内における各設備の処理蛯力が能力記憶手
段Ｍ３に適当な手段により記憶される。
よびに３工程内における各設備の処理蛯力が能力記憶手
段Ｍ３に適当な手段により記憶される。
仮に、Ｋ１工程の処理能力が、１日当たり２処理！ｎ位
、Ｋ！工程の処理能力が１日当たり１処理ｍ位、Ｋ３工
程におけるａ、ｂおよびＣ設備の処理能力が各１０当た
り夏処理単位とすると、Ｋ３工程におけるａ、ｂおよび
Ｃ設備の生産量は第４し１に示され°ζいるようになる
。第４図によれば、Ｋ３工程においては、当日からの５
日間に合計５１１分、ａＳｂおよびＣ設備が稼働されな
い期間が発生ずることになる。
、Ｋ！工程の処理能力が１日当たり１処理ｍ位、Ｋ３工
程におけるａ、ｂおよびＣ設備の処理能力が各１０当た
り夏処理単位とすると、Ｋ３工程におけるａ、ｂおよび
Ｃ設備の生産量は第４し１に示され°ζいるようになる
。第４図によれば、Ｋ３工程においては、当日からの５
日間に合計５１１分、ａＳｂおよびＣ設備が稼働されな
い期間が発生ずることになる。
そこで、本実施例においては、この稼働されない期間を
減少させるため、優先順位決定手段Ｍ！において、予測
手段Ｍ１からの予測データと、能力記憶手段Ｍ３からの
記憶データとが照合され、Ｋ ｓ 、Ｋ ＊およびに３
工程における各設備の過負Ｃｊ状況が判定されるととも
に、各設備の過負荷状況かに１、Ｋ＠およびに３工程に
おける各設備相互について比較され、これにより、Ｋｘ
、、Ｋｔおよびに３における各ウェハＦ１ 、Ｆ ｔお
よびＦｓに対する生産の優先順位が決定される。そして
、着工順序変更手段Ｍ４において、優先順位決定手段Ｍ
！による決定に基づき各製品についての：ｉ？工順序が
変更されるとともに、以後の生産進行に関するｔｈ示が
各入力手段Ｍ５ａｘＭ５ｃに発令される。
減少させるため、優先順位決定手段Ｍ！において、予測
手段Ｍ１からの予測データと、能力記憶手段Ｍ３からの
記憶データとが照合され、Ｋ ｓ 、Ｋ ＊およびに３
工程における各設備の過負Ｃｊ状況が判定されるととも
に、各設備の過負荷状況かに１、Ｋ＠およびに３工程に
おける各設備相互について比較され、これにより、Ｋｘ
、、Ｋｔおよびに３における各ウェハＦ１ 、Ｆ ｔお
よびＦｓに対する生産の優先順位が決定される。そして
、着工順序変更手段Ｍ４において、優先順位決定手段Ｍ
！による決定に基づき各製品についての：ｉ？工順序が
変更されるとともに、以後の生産進行に関するｔｈ示が
各入力手段Ｍ５ａｘＭ５ｃに発令される。
例えば、ａ設備の「当日＋１０目」に「２日日」の過負
爪牙を穴埋めするために、Ｋ！工程において、ｂ設備を
使用する仕掛り第１ウェハ群Ｆ！と、ａ設備を使用する
仕掛り第１ウェハ群Ｆｌとが優先順位を変更される。
爪牙を穴埋めするために、Ｋ！工程において、ｂ設備を
使用する仕掛り第１ウェハ群Ｆ！と、ａ設備を使用する
仕掛り第１ウェハ群Ｆｌとが優先順位を変更される。
順位がａ −１ｂとされると、Ｋ３工程におけるａ、ｂ
およびＣ設備における生産状況は、第５図に示されてい
るようになり、Ｋ３工程における当日から５日間の稼働
休止期間は、合計３日間に低減されることになる。
およびＣ設備における生産状況は、第５図に示されてい
るようになり、Ｋ３工程における当日から５日間の稼働
休止期間は、合計３日間に低減されることになる。
そして、第３ウェハ群Ｆ３に関する元の順番がＣ−Ｃ−
ａ−ｂであるとし、これが、（−４１１−ａ−〇に変更
されると、Ｋ３工程におけるａ、ｂおよびＣ設備の稼働
休止期間は、合計１０となり、ａ、ｂおよびＣ設備の稼
働効率は最大になる。
ａ−ｂであるとし、これが、（−４１１−ａ−〇に変更
されると、Ｋ３工程におけるａ、ｂおよびＣ設備の稼働
休止期間は、合計１０となり、ａ、ｂおよびＣ設備の稼
働効率は最大になる。
実際ニハ、各’７−１− ハＪｌ￥ Ｆ １ 、Ｆ ｔ
、Ｆ ３についての使用優先順位を変更することによ
り、Ｋ３工程においては生産性がプラスになるが、他の
Ｋｘおよびに２工程においてはマイナスになる場合があ
るため、特定の工程、または特定の設備についてだけ変
更するのではなく、各製品についての順位を変更しなが
ら、各工程、個々の設備に関して相互に比較することが
行われる。そして、これが繰り返されるごとにより、生
産ライン全体で生産性が最高となる部分がＩｉ：ｔｌａ
値とされ、この場合におりる優先順序をもって生産が実
施される。
、Ｆ ３についての使用優先順位を変更することによ
り、Ｋ３工程においては生産性がプラスになるが、他の
Ｋｘおよびに２工程においてはマイナスになる場合があ
るため、特定の工程、または特定の設備についてだけ変
更するのではなく、各製品についての順位を変更しなが
ら、各工程、個々の設備に関して相互に比較することが
行われる。そして、これが繰り返されるごとにより、生
産ライン全体で生産性が最高となる部分がＩｉ：ｔｌａ
値とされ、この場合におりる優先順序をもって生産が実
施される。
第３図は前述した生産調整作用を説明するための線し１
である。
である。
第３図において、■は予測手段Ｍｌにより予測した結果
であり、■、■および■は優先順位決定手段Ｍ１！、能
力記憶手段Ｍ３および着工順序変更手段Ｍ４によりそれ
ぞれｉＪＪ整される内容である。
であり、■、■および■は優先順位決定手段Ｍ１！、能
力記憶手段Ｍ３および着工順序変更手段Ｍ４によりそれ
ぞれｉＪＪ整される内容である。
基本的には、各生産工程あるいは個々の設（ｄｌｌの能
力のＭＡＸ値に近位させることが４Ｌ産性をｈ：を人に
することであるため、■のオーバ分の生産を遅ら・ｌ、
また、■を早め、余った分のを遅らせるよにする。生産
の進度調整を°μｍ定手段Ｍ２の優先１１１位に基づき
、変更手段Ｍ４が制御を行うことにより、ＭＡＸ値に近
位させることができる。
力のＭＡＸ値に近位させることが４Ｌ産性をｈ：を人に
することであるため、■のオーバ分の生産を遅ら・ｌ、
また、■を早め、余った分のを遅らせるよにする。生産
の進度調整を°μｍ定手段Ｍ２の優先１１１位に基づき
、変更手段Ｍ４が制御を行うことにより、ＭＡＸ値に近
位させることができる。
前記実施例によれば次の効果がｉ艷ｌられる。
Ｉｌｌ 個々の製品が各工程を通過する時期と生〕辛
量との予測データと、各工程における各設備の処理能力
についての記憶データとを照゛合することにより、各工
程における各設備の負荷をそれぞれ判定し、この判定結
果である各設備の過負荷状況を各工程における各設備相
互について比較することにより、生産の優先順位を決定
して、以後の生産進行を１け示することにより、各工程
おける各設備の稼働休止期間を抑制して、稼働効率を最
大値に維持向上させることができるため、生産性を高め
ることができるとともに、生産計画の変更、不良率の変
化、設備の故障等のような生産条件の変動に即応するこ
とができる。
量との予測データと、各工程における各設備の処理能力
についての記憶データとを照゛合することにより、各工
程における各設備の負荷をそれぞれ判定し、この判定結
果である各設備の過負荷状況を各工程における各設備相
互について比較することにより、生産の優先順位を決定
して、以後の生産進行を１け示することにより、各工程
おける各設備の稼働休止期間を抑制して、稼働効率を最
大値に維持向上させることができるため、生産性を高め
ることができるとともに、生産計画の変更、不良率の変
化、設備の故障等のような生産条件の変動に即応するこ
とができる。
＋２１ 生産性を高めることにより、製造原価を低減
化させることができるとともに、製品納期を全体として
確実に維持することができる。
化させることができるとともに、製品納期を全体として
確実に維持することができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可使
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可使
であることはいうまでもない。
例えば、予測データと記憶データとを照合することによ
り、各工程における各設備の負荷をそれぞれ１１１定す
る優先順位決定手段は、各工程における各設備の負荷相
ｈ−について全１体的に同一度合をもっ°ζ比較するよ
うに構成するに限らず、生産の実績や現在の生産状況等
による各生産工程および設備における諸条件に対応して
、各設備相互についての優先順位の決定基準に度合を付
与するように構成し”ζもよい。
り、各工程における各設備の負荷をそれぞれ１１１定す
る優先順位決定手段は、各工程における各設備の負荷相
ｈ−について全１体的に同一度合をもっ°ζ比較するよ
うに構成するに限らず、生産の実績や現在の生産状況等
による各生産工程および設備における諸条件に対応して
、各設備相互についての優先順位の決定基準に度合を付
与するように構成し”ζもよい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハの仕度を制御
するのに適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、他の製品の生産制御、特に、他品
種を継続的に生産する場合に適用して優れた効果が得ら
れる。
をその背景となった利用分野であるウェハの仕度を制御
するのに適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、他の製品の生産制御、特に、他品
種を継続的に生産する場合に適用して優れた効果が得ら
れる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
°ζｆ５られる効果を簡１１１に説明すれば、次の通り
である。
°ζｆ５られる効果を簡１１１に説明すれば、次の通り
である。
個々の製品が各工程を通過する時期と生産口との予測デ
ータと、各工程における各設備の処理能力についての記
（Ｑデータとを照合することにより、各工程における各
設備の過負荷状況をそれぞれ判定し、この判定結果であ
る各設備の負荷を各工程における各設備相互について比
較することにより、生産の優先順位を決定して、以後の
生産進行を指示することに、１；す、各工程おける各設
備の稼働休止期１？＋ＩをＪｌ’ｌｌ ；１ｉｌＪ し
て、稼働すｊ率を最大値に維持向上させることができる
ため、生産性を高めることができるとともに、生産計画
の変更、不良率の変化、設備の故障等のような生産条件
の変動に即応することができる。
ータと、各工程における各設備の処理能力についての記
（Ｑデータとを照合することにより、各工程における各
設備の過負荷状況をそれぞれ判定し、この判定結果であ
る各設備の負荷を各工程における各設備相互について比
較することにより、生産の優先順位を決定して、以後の
生産進行を指示することに、１；す、各工程おける各設
備の稼働休止期１？＋ＩをＪｌ’ｌｌ ；１ｉｌＪ し
て、稼働すｊ率を最大値に維持向上させることができる
ため、生産性を高めることができるとともに、生産計画
の変更、不良率の変化、設備の故障等のような生産条件
の変動に即応することができる。
第１図は本発明の一実施例である生産制御システムを示
す模式図、 第２図はその作用を説明するための工程図、第３図、第
４図および第５図は同じく各線図である。 Ｍ、・・・予測手段、Ｍ！・・・優先順位決定手段、Ｍ
３・・・能力記号、α手段、Ｍ４・・・着工順序変更手
段、Ｍ５・・・人力手段、Ｋ１％ Ｋ＊ 、Ｋ３−生産
工Ｊ！、！、ａ、ｂ、ｃ・・・設備、Ｆｌ 、Ｆｔ 、
Ｆａ・・・ウェハ群（製品ＪＩＹ）。 に１〜に３・・・）！、ｉ通源楊 Ｍ５ａＡＪＭ５ｃｍ 人１１７１ＨＬ Ｐ１〜Ｐ３・・・ウニ八（’！Ｌ３） 第１図 第２ｒＪ４
す模式図、 第２図はその作用を説明するための工程図、第３図、第
４図および第５図は同じく各線図である。 Ｍ、・・・予測手段、Ｍ！・・・優先順位決定手段、Ｍ
３・・・能力記号、α手段、Ｍ４・・・着工順序変更手
段、Ｍ５・・・人力手段、Ｋ１％ Ｋ＊ 、Ｋ３−生産
工Ｊ！、！、ａ、ｂ、ｃ・・・設備、Ｆｌ 、Ｆｔ 、
Ｆａ・・・ウェハ群（製品ＪＩＹ）。 に１〜に３・・・）！、ｉ通源楊 Ｍ５ａＡＪＭ５ｃｍ 人１１７１ＨＬ Ｐ１〜Ｐ３・・・ウニ八（’！Ｌ３） 第１図 第２ｒＪ４
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、複数種類の製品について、個々の製品が各生産工程
を通過する時期とその生産量とを予測する予測手段と、
各生産工程内の各設備の処理能力を記憶する能力記憶手
段と、予測手段からの予測結果と能力記憶手段からの処
理能力とを照合することによって各生産工程内における
各設備の過負荷状況を判定し、各設備の過負荷を各生産
工程における各設備相互について比較することによって
生産の優先順位を決定する優先順位決定手段と、優先順
位決定手段の決定に基づき各製品についての着工順序を
変更し、以後の生産進行を指示する着工順序変更手段と
を備えていることを特徴とする生産制御装置。 ２、優先順位決定手段が、各生産工程および（個々の設
備における諸条件に対応して、各設備相互についての優
先順位の決定基準に度合を付与するように構成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の生産制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26633487A JP2569081B2 (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 生産制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26633487A JP2569081B2 (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 生産制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01109059A true JPH01109059A (ja) | 1989-04-26 |
| JP2569081B2 JP2569081B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=17429489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26633487A Expired - Fee Related JP2569081B2 (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 生産制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2569081B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03239460A (ja) * | 1990-02-14 | 1991-10-25 | Mitsubishi Electric Corp | 生産完了予定算出方法及び装置 |
| US5521828A (en) * | 1993-01-25 | 1996-05-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Unit and method for setup-change instruction and the production system |
| US6061887A (en) * | 1992-07-21 | 2000-05-16 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of transporting workpieces in assembly line |
| US7369914B2 (en) | 2006-07-14 | 2008-05-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for projecting build progression for a product in a manufacturing environment |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58184604A (ja) * | 1982-04-22 | 1983-10-28 | Nec Corp | 生産制御方式 |
| JPS60207749A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-19 | Hitachi Ltd | 投入順序決定装置 |
| JPS6182202A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 設備稼働体制決定方法 |
-
1987
- 1987-10-23 JP JP26633487A patent/JP2569081B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58184604A (ja) * | 1982-04-22 | 1983-10-28 | Nec Corp | 生産制御方式 |
| JPS60207749A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-19 | Hitachi Ltd | 投入順序決定装置 |
| JPS6182202A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 設備稼働体制決定方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03239460A (ja) * | 1990-02-14 | 1991-10-25 | Mitsubishi Electric Corp | 生産完了予定算出方法及び装置 |
| US6061887A (en) * | 1992-07-21 | 2000-05-16 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of transporting workpieces in assembly line |
| US5521828A (en) * | 1993-01-25 | 1996-05-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Unit and method for setup-change instruction and the production system |
| US7369914B2 (en) | 2006-07-14 | 2008-05-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for projecting build progression for a product in a manufacturing environment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2569081B2 (ja) | 1997-01-08 |
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