JPH01111724A - Production of barium titanate - Google Patents

Production of barium titanate

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JPH01111724A
JPH01111724A JP26754187A JP26754187A JPH01111724A JP H01111724 A JPH01111724 A JP H01111724A JP 26754187 A JP26754187 A JP 26754187A JP 26754187 A JP26754187 A JP 26754187A JP H01111724 A JPH01111724 A JP H01111724A
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JP
Japan
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alkoxide
barium
ethylene glycol
glycol monomethyl
titanium
Prior art date
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Pending
Application number
JP26754187A
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Japanese (ja)
Inventor
Akihito Oga
昭仁 大賀
Akira Itani
井谷 彰
Tetsuya Miyazaki
哲也 宮崎
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Mitsui Petrochemical Industries Ltd
Original Assignee
Mitsui Petrochemical Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain the above substance of formula Ba2Ti9O20, by substituting Zr alkoxide in a specified amt. for Ti alkoxide and by calcining in air at a low temp. in producing barium titanate from Ba compd. selected among barium acetate, Ba(OH)2 and Ba alkoxide, and Ti alkoxide by hydrolyzing, drying and calcining. CONSTITUTION:One or more kinds of Ba compd. selected among barium acetate, Ba(OH)2 and Ba alkoxide, Ti alkoxide and 1-10mol.% Zr alkoxide, basing on the amt. of Ti alkoxide, are used by the total amt. of Ti and Zr and the amt. of Ba compd. equiv. to Ba2Ti9O20, respectively, mixed with ethylene glycol monomethyl ether or the mixed solvent of >=10vol.% ethylene glycol monomethyl ether and alcohol, hydrolyzed in the presence of water in the amt. of 0.001-4 times mol., base on the total mol. of Ti and Zr, to gelatinize, dried and thereafter, calcined at 800-1,000 deg.C in air to obtain the expected substance.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、チタン酸バウムの製造方法に関し、さらに詳
しくは、焼成湿度の低温化が可能であるようなチタン酸
バリウムの製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Technical Field of the Invention The present invention relates to a method for producing barium titanate, and more particularly to a method for producing barium titanate in which the firing humidity can be lowered.

発明の技術的背景ならびにその問題点 従来、チタン酸バリウムを製造する方法として、チタン
酸化物とバリウム酸化物とを混合し、次いでこの混合物
を加熱焼結することにより同相反応を起こさせる方法が
知られていた。こうした従来方法では、一般に、焼成温
度を1300’Cもの高温にする必要があった。
Technical background of the invention and its problems Conventionally, as a method for producing barium titanate, a method has been known in which titanium oxide and barium oxide are mixed and then the mixture is heated and sintered to cause an in-phase reaction. It was getting worse. These conventional methods generally require firing temperatures as high as 1300'C.

ところでJ、of、Amercian Ceramic
 5ociety第41巻、第10@、第390〜39
4頁には、ZrO2で安定化されたBaO−TiO2系
が開示されているが、このZrO2で安定化されたBa
 OT! 02系でも焼成温度は1150’Cにも達し
、焼成温度の低温化は充分には図られていない。
By the way, J of American Ceramic
5ociety Volume 41, Volume 10 @, Volumes 390-39
Page 4 discloses a BaO-TiO2 system stabilized with ZrO2;
OT! Even in the 02 series, the firing temperature reaches as high as 1150'C, and the firing temperature has not been sufficiently lowered.

また本発明者らは、特願昭62−163975号におい
て、チタンアルコキシドと低級カルボン酸バリウム塩と
を、エチレングリコールモノメチルエーテルを含む有は
溶媒中に均一に混合し、加水分解によってゲル化し、ざ
らに焼成することを特徴とするチタン酸バリウムの製造
方法を提案した。
In addition, the present inventors have disclosed in Japanese Patent Application No. 163975/1983 that titanium alkoxide and lower carboxylic acid barium salt are uniformly mixed in a solvent containing ethylene glycol monomethyl ether, and the mixture is gelled by hydrolysis to form a rough texture. We proposed a method for producing barium titanate, which is characterized by calcination.

この方法によれば、安価で取扱いが容易なバリウム化合
物を原料とすることができ、しかも収縮率も小ざくクラ
ックの生じるおそれの少ないチタン酸バリウムが得られ
るが、Ba 2 T+ g 020相を得ようとすると
焼成を酸素雰囲気中で行なってもかなりの高温を要し、
このため基板もしくは電極などの表面にチタン酸バリウ
ムを薄膜化する場合には、高温に耐えられる基板または
電極素材などを選択しなければならなかった。
According to this method, a barium compound that is inexpensive and easy to handle can be used as a raw material, and barium titanate with a small shrinkage rate and less possibility of cracking can be obtained. If you try to do this, it will require quite a high temperature even if the firing is done in an oxygen atmosphere.
Therefore, when forming a thin film of barium titanate on the surface of a substrate or electrode, it is necessary to select a substrate or electrode material that can withstand high temperatures.

本発明者らは、上記のような問題点を解決すべく鋭意研
究したところ、チタン酸バリウム結晶相中でチタンを少
量のジルコニウムで買換することによって、1000’
C程度の低温度での空気中での焼成によりBa 2 T
 ! g 020で示されるチタン酸バリウムの結晶相
が1qられることを見出して、本発明を完成させるに至
った。
The inventors of the present invention conducted intensive research to solve the above-mentioned problems, and found that by replacing titanium with a small amount of zirconium in the barium titanate crystal phase, 1000'
Ba 2 T by calcination in air at a low temperature of about C.
! The present invention was completed by discovering that the crystal phase of barium titanate represented by g 020 is 1q.

発明の目的 本発明は、上記のような従来技術に伴う問題点を解決し
ようとするものであって、従来技術で必要とされていた
温度より低い温度で、しかも空気中で焼成することによ
り、Ba Ti902oで示されるチタン酸バウムを製
造しうるような、チタン酸バリウムの製造方法を提供す
ることを目的としている。
OBJECT OF THE INVENTION The present invention attempts to solve the problems associated with the prior art as described above, by firing in air at a temperature lower than that required by the prior art. It is an object of the present invention to provide a method for producing barium titanate, which can produce barium titanate represented by BaTi902o.

及里五且ヌ 本発明に係るチタン酸バリウムの製造方法は、酢酸バリ
ウム、水酸化バリウムおよびバリウムアルコキシドから
なる群から選択される少なくとも1種以上のバリウム化
合物と、チタンアルコキシドと、チタンアルコキシドの
1〜10モル%量のジルコニウムアルコキシドとを、エ
チレングリコールモノメチルエーテル、またはエチレン
グリコールモノメチルエーテルを10容積%以上の但で
含むエチレングリコールモノメチルエーテルとアルコー
ルとの混合溶媒に均一に混合し、加水分解を行なってゲ
ル化し、次いで乾燥および焼成することを特徴としてい
る。
The method for producing barium titanate according to the present invention comprises at least one barium compound selected from the group consisting of barium acetate, barium hydroxide, and barium alkoxide, a titanium alkoxide, and one of the titanium alkoxides. ~10% by mole of zirconium alkoxide is uniformly mixed with ethylene glycol monomethyl ether or a mixed solvent of ethylene glycol monomethyl ether and alcohol containing 10% by volume or more of ethylene glycol monomethyl ether, and hydrolysis is performed. It is characterized in that it is gelatinized, then dried and fired.

本発明に係るチタン酸バリウムの製造方法は、酢酸バリ
ウム、水酸化バリウムおよびバリウムアルコキシドから
なる群から選択される少なくとも1種以上のバリウム化
合物と、チタンアルコキシドと、チタンアルコキシドの
1〜10モル%母のジルコニウムアルコキシドとを、エ
チレングリコールモノメチルエーテル、またはエチレン
グリコールモノメチルニーデルを10容積%以上の母で
含むエチレングリコールモノメチルエーテルとアルコー
ルとの混合溶媒に均一に混合し、加水分解を行なってゲ
ル化し、次いで乾燥および焼成しているので、従来技術
で必要とされていた温度より低い温度で、しかも空気中
で焼成することにより、B” 2 T’ 9020で示
される結晶相を有するチタン酸バリウムを得ることがで
きる。
The method for producing barium titanate according to the present invention comprises at least one barium compound selected from the group consisting of barium acetate, barium hydroxide, and barium alkoxide, a titanium alkoxide, and a 1 to 10 mol% base of the titanium alkoxide. of zirconium alkoxide is uniformly mixed with ethylene glycol monomethyl ether or a mixed solvent of ethylene glycol monomethyl ether and alcohol containing 10% or more by volume of ethylene glycol monomethyl needles, and the mixture is hydrolyzed to form a gel. Since it is then dried and calcined, barium titanate having a crystalline phase represented by B" 2 T' 9020 is obtained by firing at a temperature lower than that required by the prior art and in air. be able to.

このため基板、電極などの表面にチタン酸バリウムの薄
膜を形成する場合には、基板、電極素材などに要求され
る耐熱温度は低くてよく、その結果広範囲の基板、電極
素材などに薄膜状のチタン酸バリウムを形成することが
できるようになるという効果が得られる。
Therefore, when forming a thin film of barium titanate on the surface of a substrate, electrode, etc., the heat resistance temperature required for the substrate, electrode material, etc. may be low, and as a result, a thin film can be formed on a wide range of substrates, electrode materials, etc. The effect is that barium titanate can be formed.

発明の詳細な説明 以下、本発明に係るチタン酸バリウムの製造方法につい
て具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The method for producing barium titanate according to the present invention will be specifically described below.

反応原料 本発明では、バリウム源としては、酢酸バリウム、水酸
化バリウムまたはバリウムアルコキシドが、単独である
いは組合せて用いられる。
Reaction Raw Materials In the present invention, barium acetate, barium hydroxide, or barium alkoxide is used alone or in combination as a barium source.

バリウムアルコキシドとしては、具体的には、バリウム
メトキシド、バリウムエトキシド、バリウムn−プロポ
キシド、バリウムイソプロポキシドなどが用いられる。
Specifically, barium alkoxide includes barium methoxide, barium ethoxide, barium n-propoxide, barium isopropoxide, and the like.

このうちバリウムイソプロポキシドが好ましい。Among these, barium isopropoxide is preferred.

またチタン源としては、チタンアルコキシドが用いられ
る。このようなチタンアルコキシドとしては、具体的に
は、チタンメトキシド、チタンエトキシド、チタンn−
プロポキシド、チタンイソプロポキシド、チタンブトキ
シドなどが用いられ、このうちチタンイソプロポキシド
が好ましい。
Furthermore, titanium alkoxide is used as a titanium source. Specifically, such titanium alkoxides include titanium methoxide, titanium ethoxide, titanium n-
Propoxide, titanium isopropoxide, titanium butoxide, etc. are used, and among these, titanium isopropoxide is preferred.

ジルコニウム源としては、ジルコニウムアルコキシトが
用いられる。
Zirconium alkoxide is used as the zirconium source.

このようなジルコニウムアルコキシドとしては、具体的
には、ジルコニウムメトキシド、ジルコニウムエトキシ
ド、ジルコニウムn−プロポキシド、ジルコニウムイソ
プロポキシド、ジルコニウムブトキシドなどが用いられ
るが、このうちジルコニウムn−プロポキシドもしくは
ジルコニウムイソプロポキシドが好ましい。
Specific examples of such zirconium alkoxide include zirconium methoxide, zirconium ethoxide, zirconium n-propoxide, zirconium isopropoxide, and zirconium butoxide. Propoxide is preferred.

本発明では、上記のようなアルコキシド類を加水分解す
るために、水を反応系に共存させることが必要である。
In the present invention, in order to hydrolyze the above alkoxides, it is necessary to coexist water in the reaction system.

この水としては、後述するように、反応系に添加した水
でおってもよく、また場合によっては、空気中の湿気で
あってもよい。
As described below, this water may be water added to the reaction system, or may be moisture in the air depending on the case.

上記のようなパリ、ラム化合物、チタンアルコキシド、
ジルコニウムアルコキシドは、それぞれ下記のような量
で用いられる。すなわち、バリウム化合物は、目的とす
るチタン酸バリウムの組成に対応するような聞で用いら
れる。またチタンアルコキシドおよびジルコニウムアル
コキシドは、チタンとジルコニウムとの合計量がチタン
酸バリウムの組成に対応し、しかもチタンアルコキシド
の1へ・10−[ル%がジルコニウムアルコキシドで置
換されるような量で用いられる。
Paris, rum compounds, titanium alkoxides, as mentioned above,
Each of the zirconium alkoxides is used in the following amounts. That is, the barium compound is used in a proportion that corresponds to the composition of the target barium titanate. Further, titanium alkoxide and zirconium alkoxide are used in such an amount that the total amount of titanium and zirconium corresponds to the composition of barium titanate, and that 1 to 10% of titanium alkoxide is replaced with zirconium alkoxide. .

ジルコニウムアルコキシドの最が、チタンアルコキシド
の量の10モル%を越えると、本来のチタンバリウムの
諸性質が失われるため好ましくなく、一方1−[ル%未
満であると3a 2 T ! 9020で示される結晶
相を有するチタン酸バリウムを(7るのに高温度で焼成
しなければならないため好ましくない。
If the amount of zirconium alkoxide exceeds 10 mol % of the amount of titanium alkoxide, it is undesirable because the original properties of barium titanium will be lost, while if it is less than 1%, 3a 2 T! Barium titanate having the crystal phase shown by 9020 must be fired at a high temperature to prepare it (7), which is not preferred.

溶   媒 本発明では、上記のような各成分の反応を、エチレング
リコールモノメチルエーテル溶媒、またはエチレングリ
コール−しツメデルニーデルを10容積%以上含むエチ
レングリコールモノメチルエーテルとアルコールとの混
合溶媒を用いで行なう。
Solvent In the present invention, the reaction of each component as described above is carried out using an ethylene glycol monomethyl ether solvent or a mixed solvent of ethylene glycol monomethyl ether and alcohol containing 10% by volume or more of ethylene glycol-thumedel needles.

この際用いられるアルコールとしては、メタノール、エ
タノール、n−プロパツール、イソプロパツール、n−
ブタノール、5ec−ブタノール、t−ブタノールなど
が用いられる。このうらメタノールあるいはエタノール
が好ましい。
Alcohols used at this time include methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-propanol,
Butanol, 5ec-butanol, t-butanol, etc. are used. Of these, methanol or ethanol is preferred.

反応方法 酢酸バリウム、水酸化バリウムあるいはバリウムアルコ
キシドのうち少なくとも1種以上のバリウム化合物と、
チタンアルコキシドと、スズアルコキシドとを、エチレ
ングリコールモノメチルエーテルまたはエチレングリコ
ールモノメチルエーテルを10容積%以上の聞で含むエ
チレングリコールモノメチルエーテルとアルコールとの
混合溶媒に均一に混合し、次いで得られた混合物の加水
分解を行なってゲル化させる。
Reaction method At least one barium compound selected from barium acetate, barium hydroxide, or barium alkoxide,
Titanium alkoxide and tin alkoxide are uniformly mixed in ethylene glycol monomethyl ether or a mixed solvent of ethylene glycol monomethyl ether and alcohol containing 10% by volume or more of ethylene glycol monomethyl ether, and then the resulting mixture is hydrated. Decompose and gel.

上記のような混合物の加水分解は、たとえば、この混合
物をJrO熱しながら還流させるなどして均一に混合し
、次いでこの系に水を添加することによって行なうこと
ができる。
Hydrolysis of the mixture as described above can be carried out, for example, by refluxing the mixture while heating with JrO to mix it uniformly, and then adding water to the system.

加水分解に必要な水は、前述のように反応系に添加した
水でおってもよく、あるいは空気中の湿気を吸収させた
水であってもよい。
The water required for hydrolysis may be water added to the reaction system as described above, or may be water that has absorbed moisture in the air.

このような水は、チタンとジルコニウムとの合S1モル
数の0.001〜4倍量好ましくは0.01〜.4倍重
の、特に好ましくは1〜2倍母であることが望ましい。
Such water is preferably used in an amount of 0.001 to 4 times the total number of moles of S1 of titanium and zirconium, preferably 0.01 to . It is desirable that the weight is 4 times the weight, particularly preferably 1 to 2 times the weight.

水の添加ωがチタンとジルコニウムとの合計量に対して
4倍モル量以下でおれば、ディッピングに適したゾルが
得られるが、4倍モル最を越えると、容易にゲルへと変
化するため好ましくない。
If the amount of water added is less than 4 times the molar amount of the total amount of titanium and zirconium, a sol suitable for dipping can be obtained, but if it exceeds 4 times the molar amount, it will easily change into a gel. Undesirable.

このようにして得られたゲルは、次いで乾燥および焼成
する。乾燥は、通常jqられたゲルを25〜70’Cに
保つことに行なわれる。
The gel thus obtained is then dried and calcined. Drying is usually carried out by maintaining the jqed gel at 25-70'C.

このようにして乾燥されたゲルを、空気中でa o o
 ’c以上好ましくは900’C以上で1〜2時間焼成
すると、たとえばBa 2 T ! g 020で示さ
れる結晶相を有するチタン酸バリウムの結品が得られる
The gel dried in this way was ao o in the air.
For example, Ba 2 T! A barium titanate crystal having a crystalline phase of g 020 is obtained.

この焼成は、酸素条件下で行なってもよいが、空気中で
充分性なうことができる。本発明では、上記のようなゲ
ルを空気中で焼成しても、その際の焼成温度を1100
℃以下好ましくは1000°C以下で行なうことができ
る。なお従来のチタン酸バリウムの製造方法では、酸素
中で焼成しても1150’C以上の焼成温度が必要であ
った。
This calcination may be carried out under oxygen conditions, but it can also be carried out in air. In the present invention, even if the gel as described above is fired in air, the firing temperature at that time is 1100℃.
It can be carried out at a temperature of 1000°C or lower, preferably 1000°C or lower. In addition, in the conventional manufacturing method of barium titanate, a firing temperature of 1150'C or higher is required even when firing in oxygen.

このようにして得られるたとえばチタン酸バリウムは、
ジルコニウムを少量含んでいるにもかかわらず、B a
 2 T j 、020などで示される結晶相を示し、
チタン酸バリウムの諸性質を有している。
For example, barium titanate obtained in this way is
Despite containing a small amount of zirconium, B a
2 T j , a crystalline phase represented by 020, etc.,
It has properties of barium titanate.

本発明に係るチタン酸バリウムの形態は、粉末状あるい
は薄膜状でありうる。
The barium titanate according to the present invention may be in the form of a powder or a thin film.

発明の効果 本発明に係るチタン酸バリウムの製造方法では、酢酸バ
リウム、水酸化バリウムおよびバリウムアルコキシドか
らなる群から選択される少なくとも1種以上のバリウム
化合物と、チタンアルコキシドと、チタンアルコキシド
の1〜10モル%母のジルコニウムアルコキシドとを、
エチレングリコールモノメチルエーテル、またはエチレ
ングリコールモノメチルエーテルを10容積%以上の闇
で含むエチレングリコールモノメチルエーテルとアルコ
ールとの混合溶媒に均一に混合し、加水分解を行なって
ゲル化し、次いで乾燥および焼成しているので、従来技
術で必要とされていた温度より低い温度で、しかも空気
中で焼成することにより、Ba2 T’ 9020で示
される結晶相を有するチタン酸バリウムを得ることがで
きる。
Effects of the Invention In the method for producing barium titanate according to the present invention, at least one barium compound selected from the group consisting of barium acetate, barium hydroxide, and barium alkoxide, titanium alkoxide, and 1 to 10 of titanium alkoxides. Mol% mother zirconium alkoxide and
Ethylene glycol monomethyl ether or a mixed solvent of ethylene glycol monomethyl ether and alcohol containing 10% by volume or more of ethylene glycol monomethyl ether is uniformly mixed, hydrolyzed to form a gel, and then dried and fired. Therefore, barium titanate having a crystal phase represented by Ba2T' 9020 can be obtained by firing in air at a temperature lower than that required by the prior art.

このため基板、電極などの表面にチタン酸バリウムの薄
膜を形成する場合、基板、電極素材などに要求される耐
熱温度は低くてよく、その結果広範囲の基板、電極素材
などに薄膜状のチタン酸バリウムを形成することができ
るようになるという点でも優れている。
Therefore, when forming a thin film of barium titanate on the surface of a substrate, electrode, etc., the heat resistance temperature required for the substrate, electrode material, etc. is low. It is also excellent in that barium can be formed.

以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれ
ら実施例に限定されない。
EXAMPLES The present invention will be explained below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1 酢酸バリウム5.68g、チタンイソプロポキシド27
.oog、ジルコニウムn−プロポキシド1.649を
秤量し、これらを溶媒150m1に加えて混合液を得た
。バリウム、チタン、ジルコニウムの各桁は、酢酸バリ
ウム18.2モル%、チタンイソプロポキシド77.7
モル%、ジルコニウムn−プロポキシド4.1モル%に
相当する。この溶媒としては、エチレングリコールとエ
タノールとの10:90の混合物を用いた。
Example 1 Barium acetate 5.68g, titanium isopropoxide 27g
.. oog, 1.649 ml of zirconium n-propoxide were weighed and added to 150 ml of solvent to obtain a mixed solution. Each digit of barium, titanium, and zirconium is barium acetate 18.2 mol%, titanium isopropoxide 77.7
mol %, corresponding to 4.1 mol % of zirconium n-propoxide. A 10:90 mixture of ethylene glycol and ethanol was used as the solvent.

このようにして得られた混合液をオイルバスで加熱し、
還流させて均一な溶液[I]を調製した。
The mixture obtained in this way is heated in an oil bath,
A homogeneous solution [I] was prepared by refluxing.

次いで、上記溶液[I]中に含有されるチタンとジルコ
ニウムの合計量に対し2倍量にあたる3.69の水を秤
量し、その3.69の水に、上記のエチレングリコール
とエタノールとの混合物を50dを予め加えて、これを
、溶液[I]に添加して、加水分解を行なって、ゲル化
物を得た。
Next, 3.69 parts of water, which is twice the amount of the total amount of titanium and zirconium contained in the solution [I], was weighed, and the above mixture of ethylene glycol and ethanol was added to the 3.69 parts of water. 50 d of was added in advance to solution [I] and hydrolyzed to obtain a gelled product.

得られた白色のゲル粉体を、乾燥1麦毎分1gの空気流
通下、1000’C12時間で焼成して結晶状の粉体を
得た。
The obtained white gel powder was calcined at 1000'C for 12 hours under air flow of 1 g per minute of drying wheat to obtain a crystalline powder.

得られた結晶粉体をX線回折により測定したところ、B
a2Ti902o相の結晶構造が認められた。
When the obtained crystal powder was measured by X-ray diffraction, B
A crystal structure of a2Ti902o phase was observed.

代理人  弁理士  鈴 木 俊一部Agent: Patent Attorney: Shunbetsu Suzuki

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)酢酸バリウム、水酸化バリウムおよびバリウムア
ルコキシドからなる群から選択される少なくとも1種以
上のバリウム化合物と、チタンアルコキシドと、チタン
アルコキシドの1〜10モル%量のジルコニウムアルコ
キシドとを、エチレングリコールモノメチルエーテル、
またはエチレングリコールモノメチルエーテルを10容
積%以上の量で含むエチレングリコールモノメチルエー
テルとアルコールとの混合溶媒に均一に混合し、加水分
解を行なってゲル化し、次いで乾燥および焼成すること
を特徴とするチタン酸バリウムの製造方法。
(1) At least one barium compound selected from the group consisting of barium acetate, barium hydroxide, and barium alkoxide, titanium alkoxide, and zirconium alkoxide in an amount of 1 to 10 mol% of the titanium alkoxide, and ethylene glycol monomethyl ether,
Or titanic acid, which is characterized in that it is uniformly mixed in a mixed solvent of ethylene glycol monomethyl ether and alcohol containing ethylene glycol monomethyl ether in an amount of 10% by volume or more, hydrolyzed to form a gel, and then dried and calcined. Method of manufacturing barium.
JP26754187A 1987-10-22 1987-10-22 Production of barium titanate Pending JPH01111724A (en)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0383816A (en) * 1989-08-29 1991-04-09 Koroido Res:Kk Production of solution for producing compound oxide thin film
JPH0419911A (en) * 1990-05-11 1992-01-23 Mitsubishi Materials Corp Manufacture of thin ferroelectric film forming precursor solution and manufacture of thin ferroelectric film
US6034015A (en) * 1997-05-14 2000-03-07 Georgia Tech Research Corporation Ceramic compositions for microwave wireless communication
JP2001233604A (en) * 2000-02-24 2001-08-28 Kansai Research Institute Application solution for forming thin oxide film, method for producing the same and method for producing thin oxide film
KR100798257B1 (en) * 2005-10-21 2008-01-24 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 Barium titanate thin film with titanium partially substituted by zirconium, tin or hafnium

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0383816A (en) * 1989-08-29 1991-04-09 Koroido Res:Kk Production of solution for producing compound oxide thin film
JPH0419911A (en) * 1990-05-11 1992-01-23 Mitsubishi Materials Corp Manufacture of thin ferroelectric film forming precursor solution and manufacture of thin ferroelectric film
US6034015A (en) * 1997-05-14 2000-03-07 Georgia Tech Research Corporation Ceramic compositions for microwave wireless communication
JP2001233604A (en) * 2000-02-24 2001-08-28 Kansai Research Institute Application solution for forming thin oxide film, method for producing the same and method for producing thin oxide film
KR100798257B1 (en) * 2005-10-21 2008-01-24 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 Barium titanate thin film with titanium partially substituted by zirconium, tin or hafnium

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