JPH01112420U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01112420U JPH01112420U JP669088U JP669088U JPH01112420U JP H01112420 U JPH01112420 U JP H01112420U JP 669088 U JP669088 U JP 669088U JP 669088 U JP669088 U JP 669088U JP H01112420 U JPH01112420 U JP H01112420U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- orifice
- fluid
- differential pressure
- cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例の構成を示す構成図
、第２図は本考案の第２の実施例の構成を示す縦
断面図、第３図は従来の公知の差圧流量計の構成
を示す縦断面図、第４図は従来の先願に係る半導
体差圧流量計の構成を示す射視図である。 １０，１１……流体管路、１４……オリフイス
板、１７……差圧変換器、１８……シリコン基板
、２０……流体通路、２３……オリフイス板、２
４，２５……ピエゾ抵抗素子、２６……シリコン
基板、３０……オリフイス板、３４，３５，３６
……基板、３７……流体通路、３９……空室、４
０……オリフイス、４１……導圧孔、４２……起
歪部、４３……ピエゾ抵抗ゲージ、４４……差圧
検出部、４５，４６，４７……基板、４８……流
体通路、５０……空室、５１……オリフイス、５
２……導圧孔、５３……貫通孔、５４……差圧検
出部、５７……ピエゾ抵抗ゲージ。
、第２図は本考案の第２の実施例の構成を示す縦
断面図、第３図は従来の公知の差圧流量計の構成
を示す縦断面図、第４図は従来の先願に係る半導
体差圧流量計の構成を示す射視図である。 １０，１１……流体管路、１４……オリフイス
板、１７……差圧変換器、１８……シリコン基板
、２０……流体通路、２３……オリフイス板、２
４，２５……ピエゾ抵抗素子、２６……シリコン
基板、３０……オリフイス板、３４，３５，３６
……基板、３７……流体通路、３９……空室、４
０……オリフイス、４１……導圧孔、４２……起
歪部、４３……ピエゾ抵抗ゲージ、４４……差圧
検出部、４５，４６，４７……基板、４８……流
体通路、５０……空室、５１……オリフイス、５
２……導圧孔、５３……貫通孔、５４……差圧検
出部、５７……ピエゾ抵抗ゲージ。
Claims (1)
- 第１基板の一方の面にこの第１基板とは所定の
間隔を保つて空室を形成する第２基板を密封接合
すると共に前記第１基板の他方の面にこの第１基
板とは所定の間隔を保つて流体通路を形成する第
３基板をそれぞれ密封接合し、前記第１基板の前
記流体通路側に形成された流れの抵抗となるオリ
フイスと、このオリフイスの上流側の前記第１基
板に形成された前記空室と前記流体通路とを連絡
する導圧孔と、前記空室の流体圧と前記オリフイ
スの下流側の流体圧との差圧を半導体のピエゾ抵
抗ゲージを用いて検出する前記オリフイスの下流
側に形成された差圧検出部とを具備し、この差圧
検出部で検出された差圧信号を用いて前記流体通
路を流れる流量を演算出力することを特徴とする
半導体差圧流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988006690U JPH0645209Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 半導体差圧流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988006690U JPH0645209Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 半導体差圧流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112420U true JPH01112420U (ja) | 1989-07-28 |
| JPH0645209Y2 JPH0645209Y2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=31211067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988006690U Expired - Lifetime JPH0645209Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 半導体差圧流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645209Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000035821A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Horiba Ltd | 気体流量制御装置 |
| JP2012145356A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Univ Of Tokyo | 流速センサ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59120425U (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-14 | 三洋電機株式会社 | 流量計 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP1988006690U patent/JPH0645209Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59120425U (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-14 | 三洋電機株式会社 | 流量計 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000035821A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Horiba Ltd | 気体流量制御装置 |
| JP2012145356A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Univ Of Tokyo | 流速センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0645209Y2 (ja) | 1994-11-16 |
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