JPH01113597A - ドライポンプ - Google Patents
ドライポンプInfo
- Publication number
- JPH01113597A JPH01113597A JP26816087A JP26816087A JPH01113597A JP H01113597 A JPH01113597 A JP H01113597A JP 26816087 A JP26816087 A JP 26816087A JP 26816087 A JP26816087 A JP 26816087A JP H01113597 A JPH01113597 A JP H01113597A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- gas
- exhaust hole
- motor chamber
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はドライポンプに係り、特に半導体製造装置等に
使用するため軸封にＮ２ガスを流し活性の吸気ガスを遮
断するのに好適なドライポンプに関するものである。
使用するため軸封にＮ２ガスを流し活性の吸気ガスを遮
断するのに好適なドライポンプに関するものである。
を行なう軸封にＮ２ガスを流していた。
なお、この種の装置として関連するものには。
例えば、特開昭６０−４５７９２号が挙げられる。
上記従来技術は、モータ室内のミスト状のオイルが軸封
ガスと同伴されて排出される点暑こついて配慮されてお
らず、Ｎ２ガスがモータ室を通って排気される過程で、
モータ室内のミスト状のオイルが同伴して排気されるた
め、オイルが減少するという問題があった。
ガスと同伴されて排出される点暑こついて配慮されてお
らず、Ｎ２ガスがモータ室を通って排気される過程で、
モータ室内のミスト状のオイルが同伴して排気されるた
め、オイルが減少するという問題があった。
本発明の目的は、軸受潤滑用のオイルの減少を少な鳴す
ることのできるドライポンプを提供することにある。
ることのできるドライポンプを提供することにある。
上記目的は、モータ室排気孔にオイル回収手段を設ける
ことにより、達成される。
ことにより、達成される。
オイル回収手段は、例えば、円筒内にバッフルを設は周
囲を冷却するようにしたもので、モータ室排気孔からの
ミスト状のオイルは、バッフルに当り運動エネルギーが
消滅するとともに、冷却されてミスト状のオイルが液化
する。これにより。
囲を冷却するようにしたもので、モータ室排気孔からの
ミスト状のオイルは、バッフルに当り運動エネルギーが
消滅するとともに、冷却されてミスト状のオイルが液化
する。これにより。
オイルを回収することができ、オイルの減少を少なくで
きる。
きる。
以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。
第１図は竪形のドライポンプの実施例を示す。
ロータ２の一端はモータ（図示省略）に連結されモータ
室４内に設置されている。
室４内に設置されている。
被排気室（図示省略）からの吸気ガスは吸気孔８から入
り、ステータｌとロータ２の隙間を通り、圧縮されて、
排気孔９より排気される。
り、ステータｌとロータ２の隙間を通り、圧縮されて、
排気孔９より排気される。
モータ室４の下部はオイルボックスとなっており、ロー
タ２が高速回転するため、モータ室４内のオイルボック
ス上部はオイルがミスト状となフ執り ている。９噂４吟軸受３へは判に設けたオイルポが設け
られ、パージガスであるＮ２ガスが導入口１１より供給
され、そのＮ２ガスはモータ室４を通つて排気孔５から
排気される。また、一部は吸気ガス排気孔９より排気さ
れている。排気孔５にはオイル回収手段である、二の場
合１円筒内にバッフル６を設は円筒周囲に冷却パイプを
熱的に接触可能に１例えば１巻装して設けてなるオイル
トラップが取り付けである。これにより、モータ室４か
ら出るＮ２ガスに含まれたミスト状のオイルは、バッフ
ル６に当って運動エネルギを消費するとともに。
タ２が高速回転するため、モータ室４内のオイルボック
ス上部はオイルがミスト状となフ執り ている。９噂４吟軸受３へは判に設けたオイルポが設け
られ、パージガスであるＮ２ガスが導入口１１より供給
され、そのＮ２ガスはモータ室４を通つて排気孔５から
排気される。また、一部は吸気ガス排気孔９より排気さ
れている。排気孔５にはオイル回収手段である、二の場
合１円筒内にバッフル６を設は円筒周囲に冷却パイプを
熱的に接触可能に１例えば１巻装して設けてなるオイル
トラップが取り付けである。これにより、モータ室４か
ら出るＮ２ガスに含まれたミスト状のオイルは、バッフ
ル６に当って運動エネルギを消費するとともに。
冷却パイプ７によって冷却された円筒内壁面およびバッ
フルに当って冷却されミスト状のオイルが液化し、配管
内を伝わってモータ室４内のオイルボックスに戻る。
フルに当って冷却されミスト状のオイルが液化し、配管
内を伝わってモータ室４内のオイルボックスに戻る。
以上、本−実施例によれば、バッフル６と円筒の外周を
冷却パイプ７を巻いたオイルトラップなモータ室排気孔
に設けることにより、そ−夕室４より排出されるオイル
ミストをトラッピングすることができ、オイルを回収す
ることができるので、オイルの減少を少なくできるとい
う効果がある。
冷却パイプ７を巻いたオイルトラップなモータ室排気孔
に設けることにより、そ−夕室４より排出されるオイル
ミストをトラッピングすることができ、オイルを回収す
ることができるので、オイルの減少を少なくできるとい
う効果がある。
本発明によれば、ドライポンプの軸封ガスにより、同伴
されるオイルミストをトラップすることによりオイルを
回収することができ、オイルの減少を少なくできる効果
がある。
されるオイルミストをトラップすることによりオイルを
回収することができ、オイルの減少を少なくできる効果
がある。
第１図は本発明の一実施例であるドライポンプ孕軸受、
４・・・・・・モータ室、５・・・・・・排気孔、６・
・・・・・バッフル、７・・・・・・冷却パイプ、１０
・曲・給油口、１１・・・・・・導入口 代理人 弁理士 小 川 勝 男 オ１図
４・・・・・・モータ室、５・・・・・・排気孔、６・
・・・・・バッフル、７・・・・・・冷却パイプ、１０
・曲・給油口、１１・・・・・・導入口 代理人 弁理士 小 川 勝 男 オ１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ドライポンプのモータ室排気孔にオイル回収手段を
設けたことを特徴とするドライポンプ。 ２、前記オイル回収手段は、内部にバッフルを有し、外
周に冷却パイプを接触して成るオイルトラップである特
許請求の範囲第１項記載のドライポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26816087A JPH01113597A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | ドライポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26816087A JPH01113597A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | ドライポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01113597A true JPH01113597A (ja) | 1989-05-02 |
Family
ID=17454739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26816087A Pending JPH01113597A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | ドライポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01113597A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6090222A (en) * | 1998-11-16 | 2000-07-18 | Seh-America, Inc. | High pressure gas cleaning purge of a dry process vacuum pump |
-
1987
- 1987-10-26 JP JP26816087A patent/JPH01113597A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6090222A (en) * | 1998-11-16 | 2000-07-18 | Seh-America, Inc. | High pressure gas cleaning purge of a dry process vacuum pump |
| US6189176B1 (en) | 1998-11-16 | 2001-02-20 | Seh-America, Inc. | High pressure gas cleaning purge of a dry process vacuum pump |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0133677B2 (ja) | ||
| JPH0243038B2 (ja) | ||
| KR910008213B1 (ko) | 로타리 컴프래서 | |
| JP3051515B2 (ja) | 多段真空ポンプの冷却装置 | |
| JPH0340750A (ja) | 超電導回転電機の冷媒給排装置 | |
| JPH09303261A (ja) | ピストン型ドライ真空ポンプ | |
| JPH0144795Y2 (ja) | ||
| JP3122594B2 (ja) | スクロール圧縮機 | |
| CN100465453C (zh) | 压缩机的排气结构 | |
| JPH0315692A (ja) | 圧縮機 | |
| JPS5928149Y2 (ja) | 油冷式スライドベ−ン型回転圧縮機 | |
| JPH04116295A (ja) | 軸流分子ポンプ | |
| JPS58187594A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| JPH041356Y2 (ja) | ||
| JPS5856393Y2 (ja) | タテ型水リングポンプ装置 | |
| KR100311389B1 (ko) | 밀폐형회전식압축기의열변형방지장치 | |
| JPH02146291A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPS6244140Y2 (ja) | ||
| JPS5834309Y2 (ja) | 密閉形圧縮機 | |
| KR100311374B1 (ko) | 밀폐형회전식압축기의열변형방지장치 | |
| JPS5639319A (en) | Dynamic pressure gas bearing device | |
| JPH05322049A (ja) | 真空ポンプ用軸封装置 | |
| JPH0544670A (ja) | ロータリ圧縮機 | |
| JPH06101678A (ja) | 横型回転圧縮機 | |
| JPS61152992A (ja) | スクリユ−流体機械 |