JPH01116664A - 光学系移動式露光装置におけるミラー保持装置 - Google Patents
光学系移動式露光装置におけるミラー保持装置Info
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- JPH01116664A JPH01116664A JP27497387A JP27497387A JPH01116664A JP H01116664 A JPH01116664 A JP H01116664A JP 27497387 A JP27497387 A JP 27497387A JP 27497387 A JP27497387 A JP 27497387A JP H01116664 A JPH01116664 A JP H01116664A
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- Optical Systems Of Projection Type Copiers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、静電写真複写機、ファクシミリ等の画像形成
装置の光学系におけるミラー保持装置、特に、原稿台が
固定され、これに対して光源やミラー等の光学系が往復
移動する光学系移動式露光装置におけるミラー保持装置
の改良に関するものである。
装置の光学系におけるミラー保持装置、特に、原稿台が
固定され、これに対して光源やミラー等の光学系が往復
移動する光学系移動式露光装置におけるミラー保持装置
の改良に関するものである。
第10図は上記光学系移動式の静電写真複写機における
第1ミラーの取り付は状態を概略的に示すもので、同図
において、71は光源、72はリフレクタ−173は支
持体74によって所定の姿勢に支持された第1ミラーで
、これらの部材は保持体75の上面に取り付けられてい
る。尚、76は原稿台である。
第1ミラーの取り付は状態を概略的に示すもので、同図
において、71は光源、72はリフレクタ−173は支
持体74によって所定の姿勢に支持された第1ミラーで
、これらの部材は保持体75の上面に取り付けられてい
る。尚、76は原稿台である。
そして、前記保持体75は、第1)図に示すように、保
持体支持ロッド77側における2つの軸受部75A。
持体支持ロッド77側における2つの軸受部75A。
75Bと、保持体支持ロフト77に対して平行に設けら
れた保持体支持部材78における突部75Cとの3点に
よって所謂3点支持されており、図外の駆動装置によっ
て駆動される伝動ワイヤー79によって矢印PQ力方向
往復移動するように構成されている。
れた保持体支持部材78における突部75Cとの3点に
よって所謂3点支持されており、図外の駆動装置によっ
て駆動される伝動ワイヤー79によって矢印PQ力方向
往復移動するように構成されている。
ところで、上記のように構成された保持体75は特に高
速機の場合、矢印PQ力方向往復移動する際、外部から
の加振力によって、第1)図において仮想線で示すよう
に、ねじれ振動を起こし易く、そのため、第1ミラー7
3が上下動し、その結果、画像形成に悪影響が及ぼされ
ることになる。特に、前記加振力の振動数が保持体75
のねじれの固有振動数近傍であるときは、保持体75は
共振してその振幅が大きくなり、それだけ、第1ミラー
73の上下動が大きくなる。
速機の場合、矢印PQ力方向往復移動する際、外部から
の加振力によって、第1)図において仮想線で示すよう
に、ねじれ振動を起こし易く、そのため、第1ミラー7
3が上下動し、その結果、画像形成に悪影響が及ぼされ
ることになる。特に、前記加振力の振動数が保持体75
のねじれの固有振動数近傍であるときは、保持体75は
共振してその振幅が大きくなり、それだけ、第1ミラー
73の上下動が大きくなる。
このような問題点は第1ミラー73を保持する保持体7
5のみならず、この第1ミラー73と同様に保持され、
第1ミラー73の半分の速度で同様に往復移動する第2
ミラー、第3ミラーを保持する保持体においても生じて
いる。
5のみならず、この第1ミラー73と同様に保持され、
第1ミラー73の半分の速度で同様に往復移動する第2
ミラー、第3ミラーを保持する保持体においても生じて
いる。
そこで、上述のような保持体のねじれ振動を抑制する手
段として、例えば特開昭57−92349号公報に示さ
れるように、保持体を枠体に形成すると共に、2点支持
側に補強部材を設けてこの2点支持側が他の1点支持側
に比べて幅広に形成し、更に、枠体内に複数の矩形又は
台形を形成するようにしたものがある。
段として、例えば特開昭57−92349号公報に示さ
れるように、保持体を枠体に形成すると共に、2点支持
側に補強部材を設けてこの2点支持側が他の1点支持側
に比べて幅広に形成し、更に、枠体内に複数の矩形又は
台形を形成するようにしたものがある。
しかしながら、上記従来技術においては、保持体の平面
視形状が矩形ではなく略台形であるため、余分のスペー
スが必要になる他、枠体内に形成されているのは複数の
矩形又は台形であり、外部からの加振力に対して必ずし
も強くなく、特に、対ねじれ振動という観点からは十分
なものではない。
視形状が矩形ではなく略台形であるため、余分のスペー
スが必要になる他、枠体内に形成されているのは複数の
矩形又は台形であり、外部からの加振力に対して必ずし
も強くなく、特に、対ねじれ振動という観点からは十分
なものではない。
本発明は、上述の事柄に留意し、特に、ねじれ振動を可
及的に抑制し得る保持体の構造として、平板な板状体よ
りも枠体が好ましいと共に、この枠体を所謂トラス形状
に形成するのが好ましいとの知見に基づいてなされたも
ので、その目的とするところは、ねじれ振動に対して強
く、しかも余分なスペースを必要としない光学系移動式
露光装置におけるミラー保持装置を提供することにある
。
及的に抑制し得る保持体の構造として、平板な板状体よ
りも枠体が好ましいと共に、この枠体を所謂トラス形状
に形成するのが好ましいとの知見に基づいてなされたも
ので、その目的とするところは、ねじれ振動に対して強
く、しかも余分なスペースを必要としない光学系移動式
露光装置におけるミラー保持装置を提供することにある
。
上述の目的を達成するため、本発明に係る光学系移動式
露光装置におけるミラー保持装置は、ミラーを保持する
保持体をその平面形状が矩形の枠体で構成すると共に、
この枠体内に複数の三角形を形成したトラス形状に構成
した点に特徴がある。
露光装置におけるミラー保持装置は、ミラーを保持する
保持体をその平面形状が矩形の枠体で構成すると共に、
この枠体内に複数の三角形を形成したトラス形状に構成
した点に特徴がある。
上記特徴的構成によれば、保持体のねじれ振動における
固有振動数が著しく高くなり、外部から加振力が加えら
れてもねじれ振動を起こし難くなる。
固有振動数が著しく高くなり、外部から加振力が加えら
れてもねじれ振動を起こし難くなる。
以下、本発明の実施例を、図面を参照しながら説明する
。
。
第2図は本発明を適用した光学系移動式の静電写真複写
機を概略的に示すもので、同図において、1は複写機本
体で、その上部にはコンタクトガラス2、原稿押さえ3
を有する一方、内部には感光体4とその周囲に配置され
た帯電部5、現像部6、転写部7、複写紙分離部8、ク
リーニング部9等を備えると共に、コンタクトガラス2
の下部空間には光学系移動式露光値M(以下、単に露光
装置と云う)10が設けられ、更に、給紙搬送装置1)
、排紙搬送装置12、定着装置13、排紙ローラ対14
、給紙カセット15、排紙トレイ16等を備えている。
機を概略的に示すもので、同図において、1は複写機本
体で、その上部にはコンタクトガラス2、原稿押さえ3
を有する一方、内部には感光体4とその周囲に配置され
た帯電部5、現像部6、転写部7、複写紙分離部8、ク
リーニング部9等を備えると共に、コンタクトガラス2
の下部空間には光学系移動式露光値M(以下、単に露光
装置と云う)10が設けられ、更に、給紙搬送装置1)
、排紙搬送装置12、定着装置13、排紙ローラ対14
、給紙カセット15、排紙トレイ16等を備えている。
前記露光装置10は、第3図にも示すように、原稿面S
を投光する光源17とリフレクタ−18と原稿面Sから
の反射光を矢印P方向に反射投光する第1ミラー19と
を保持する第1保持体20と、第1ミラー19からの光
を反射して矢印Pとは反対の矢印方向Qに反射投光する
第2ミラー21.第3ミラー22を保持する第2保持体
23とを矢印P、Q方向に往復移動自在に設けると共に
、第3ミラー22からの反射光を集光するレンズ装置2
4と、このレンズ装!24を経た光を感光体4に向けて
反射する第4ミラー25とを備えてなる。尚、第3図に
おいて、26、27はそれぞれ第1保持体20.第2保
持体23の両端部を支持する保持体支持コンド。保持体
支持部材で、詳細には図示してないが、第1保持体20
、第2保持体23は保持体支持ワンド26側においてそ
れぞれ2個の軸受により2点支持され、保持体支持部材
27側において1点支持されている。
を投光する光源17とリフレクタ−18と原稿面Sから
の反射光を矢印P方向に反射投光する第1ミラー19と
を保持する第1保持体20と、第1ミラー19からの光
を反射して矢印Pとは反対の矢印方向Qに反射投光する
第2ミラー21.第3ミラー22を保持する第2保持体
23とを矢印P、Q方向に往復移動自在に設けると共に
、第3ミラー22からの反射光を集光するレンズ装置2
4と、このレンズ装!24を経た光を感光体4に向けて
反射する第4ミラー25とを備えてなる。尚、第3図に
おいて、26、27はそれぞれ第1保持体20.第2保
持体23の両端部を支持する保持体支持コンド。保持体
支持部材で、詳細には図示してないが、第1保持体20
、第2保持体23は保持体支持ワンド26側においてそ
れぞれ2個の軸受により2点支持され、保持体支持部材
27側において1点支持されている。
28は第1保持体20及び第2保持体23を矢印PQ力
方向往復移動させるための光学系駆動装置で、第1保持
体20及び第2保持体23の往復移動範囲を外れた部位
の複写機本体1に2個の経路変曲用回動体29.30を
設けると共に、図外のモータに連設された回動体31と
中間回動体32とを複写機本体1に設ける一方、第2保
持体23に遊転回動体33を取り付け、伝動ワイヤー3
4の一端を複写機本体!側の固定部35に固着して、伝
動ワイヤー34を、遊転回動体33と、一方の経路変曲
用回動体29と、中間回動体32と、回動体31と、他
方の経路変曲用回動体30とに順次巻き掛けると共に、
前記伝動ワイヤー34を止着体36を介して第1保持体
20に取り付け、更に、この伝動ワイヤー34を再び遊
転回動体33に巻き掛けると共に、その端部を複写機本
体l側の他の固定部37に止着してなり、前記図外のモ
ータの正逆転に伴って、光源17からレンズ装置24に
至る光路長が常に一定になるように、第1保持体20を
第2保持体23の2倍の速度で同方向に往復移動させる
ことができるようにしである。
方向往復移動させるための光学系駆動装置で、第1保持
体20及び第2保持体23の往復移動範囲を外れた部位
の複写機本体1に2個の経路変曲用回動体29.30を
設けると共に、図外のモータに連設された回動体31と
中間回動体32とを複写機本体1に設ける一方、第2保
持体23に遊転回動体33を取り付け、伝動ワイヤー3
4の一端を複写機本体!側の固定部35に固着して、伝
動ワイヤー34を、遊転回動体33と、一方の経路変曲
用回動体29と、中間回動体32と、回動体31と、他
方の経路変曲用回動体30とに順次巻き掛けると共に、
前記伝動ワイヤー34を止着体36を介して第1保持体
20に取り付け、更に、この伝動ワイヤー34を再び遊
転回動体33に巻き掛けると共に、その端部を複写機本
体l側の他の固定部37に止着してなり、前記図外のモ
ータの正逆転に伴って、光源17からレンズ装置24に
至る光路長が常に一定になるように、第1保持体20を
第2保持体23の2倍の速度で同方向に往復移動させる
ことができるようにしである。
第1図は上記第1保持体20の一例を示すもので、この
第1保持体20はその一端側において2個の軸受38.
39を介して保持体支持ロッド26に2点支持されてい
る。尚、第1保持体20の他端側は第1図には示してな
いが、第3図に示すように、保持体支持部材27におい
て1点支持されている。
第1保持体20はその一端側において2個の軸受38.
39を介して保持体支持ロッド26に2点支持されてい
る。尚、第1保持体20の他端側は第1図には示してな
いが、第3図に示すように、保持体支持部材27におい
て1点支持されている。
前記第1保持体20は、その平面形状が矩形(長方形)
となるように、互いに平行な一対の長辺部材2OA、
2OAとこれらの長辺部材2OA、 2OAと直角な方
向の短辺部材208.208によって形成された枠体W
と、この枠体W内に複数の補強片20c・・・を斜めに
設けることによって形成された複数の三角形T・・・よ
りなる、尚、200.200は必要により設けられる補
強材である。
となるように、互いに平行な一対の長辺部材2OA、
2OAとこれらの長辺部材2OA、 2OAと直角な方
向の短辺部材208.208によって形成された枠体W
と、この枠体W内に複数の補強片20c・・・を斜めに
設けることによって形成された複数の三角形T・・・よ
りなる、尚、200.200は必要により設けられる補
強材である。
そして、この第1保持体20は、特に高速機の場合、よ
り早く等速性復移動する必要があるところから、アルミ
ニウムのようにセ量の割りに剛性が高い材料で構成され
、実施例においてはアルミニウムをダイカストによって
形成しである。
り早く等速性復移動する必要があるところから、アルミ
ニウムのようにセ量の割りに剛性が高い材料で構成され
、実施例においてはアルミニウムをダイカストによって
形成しである。
ところで、本発明者は、ミラー等の保持体の形状として
種々のモデルを考え、それらについて計算機上で有限要
素法による動解析、特に、固有振動数解析を行い、つい
に、上記形状を備えた第1保持体20に想到し得たので
あるが、以下に、この試験・研究の過程で考えられた形
状の保持体と、本発明に係る第1保持体20との性能の
比較結果を述べる。但し、ここに使用した計算機上の解
析プログラムは、実際に試作された数種の形状の保持体
に対して行われた実験による測定値と比較して、数%以
下の誤差であることが確かめられている。
種々のモデルを考え、それらについて計算機上で有限要
素法による動解析、特に、固有振動数解析を行い、つい
に、上記形状を備えた第1保持体20に想到し得たので
あるが、以下に、この試験・研究の過程で考えられた形
状の保持体と、本発明に係る第1保持体20との性能の
比較結果を述べる。但し、ここに使用した計算機上の解
析プログラムは、実際に試作された数種の形状の保持体
に対して行われた実験による測定値と比較して、数%以
下の誤差であることが確かめられている。
先ず、第4図は保持体のねじれ固有振動数のシミュレー
ションに供したモデルの保持体Hを示し、41、41は
長辺部材、42は前板部材、43・・・は補強片で、こ
れら部材の板厚は全て2flとし、又、垂直方向の厚み
は全て100とした。保持体Hの材料としてはアルミニ
ウムを想定した。更に、前板部材42が他の部材41.
43に対して100倍の密度で、かつ、1000倍の剛
さと仮定することにより、保持体Hのねじれの固有振動
数が同図における寸法り、。
ションに供したモデルの保持体Hを示し、41、41は
長辺部材、42は前板部材、43・・・は補強片で、こ
れら部材の板厚は全て2flとし、又、垂直方向の厚み
は全て100とした。保持体Hの材料としてはアルミニ
ウムを想定した。更に、前板部材42が他の部材41.
43に対して100倍の密度で、かつ、1000倍の剛
さと仮定することにより、保持体Hのねじれの固有振動
数が同図における寸法り、。
h2及び補強片43・・・の取り付は状態のみに依存す
ると仮定できるものとし、各々に対し、固有振動解析を
行うことにより、最適な寸法り、、h、及び補強片43
・・・の取り付は状態を求めた。
ると仮定できるものとし、各々に対し、固有振動解析を
行うことにより、最適な寸法り、、h、及び補強片43
・・・の取り付は状態を求めた。
そして、実際に試作された保持体Hのねじれ固有振動数
の測定には、第5図に示すように、保持体Hの一端側(
第4図におけるX側)を固定して片持ち状態とし、他端
側をハンマリングして自由振動させ、そのときの変位を
ギャップセンサ51によって検出し、この検出信号を変
換器52を介してFF T (Fast Fourie
r Transform)アナライザ53に入力し、こ
れによって振動数分析を行うようにした6次に、各保持
体Hにおけるねじれ固有振動数の測定結果を、第6図〜
第9図を参照しながら説明する。尚、第6図〜第8図に
おける数字は各部の長さを示している(単位自重)。
の測定には、第5図に示すように、保持体Hの一端側(
第4図におけるX側)を固定して片持ち状態とし、他端
側をハンマリングして自由振動させ、そのときの変位を
ギャップセンサ51によって検出し、この検出信号を変
換器52を介してFF T (Fast Fourie
r Transform)アナライザ53に入力し、こ
れによって振動数分析を行うようにした6次に、各保持
体Hにおけるねじれ固有振動数の測定結果を、第6図〜
第9図を参照しながら説明する。尚、第6図〜第8図に
おける数字は各部の長さを示している(単位自重)。
先ず、第4図において、f=224鰭、h、=h。
=40鶴、h’、 = 100鶴、t=10鶴に設定し
て、第6図に示すように、補強片43・・・の傾きを種
々変えて、それぞれの保持体Hにおけるねじれ固有振動
数を計算したところ、補強片43・・・によって形成さ
れる枠体内の形状が同図(A’)に示す矩形状のもので
は23.3Hzであり、同図(B)、同図(C)に示す
台形状のものではそれぞれ25.4Hz、 34.3H
zであり、同図(D)に示す三角形状に近いものでは4
4.8Hzであった。
て、第6図に示すように、補強片43・・・の傾きを種
々変えて、それぞれの保持体Hにおけるねじれ固有振動
数を計算したところ、補強片43・・・によって形成さ
れる枠体内の形状が同図(A’)に示す矩形状のもので
は23.3Hzであり、同図(B)、同図(C)に示す
台形状のものではそれぞれ25.4Hz、 34.3H
zであり、同図(D)に示す三角形状に近いものでは4
4.8Hzであった。
そして、第4図において、f−224鰭、h、=100
mm、 t =lQ+nに設定し、かつ、枠体内に三角
形に近い形状を形成したものにおいて、寸法り。
mm、 t =lQ+nに設定し、かつ、枠体内に三角
形に近い形状を形成したものにおいて、寸法り。
h2を変えて、第7図に示すような形状の保持体Hにお
けるねじれ固有振動数を調べたところ、枠体が同図(A
)に示す台形状のものでは46.71)zであり、同図
(B)に示す矩形状のものでは4B、1)1zであった
。
けるねじれ固有振動数を調べたところ、枠体が同図(A
)に示す台形状のものでは46.71)zであり、同図
(B)に示す矩形状のものでは4B、1)1zであった
。
以上のことから、第4図に示す長辺部材41.41が互
いに平行で、寸法り、、h、が大きいとき、即ち、第1
図において、枠体Wを構成する長辺部材20A、 20
Aが互いに平行で、枠体Wの水平方向の幅Wが大きいと
き及び補強片43・・・で形成される形状が三角形であ
るとき、保持体Hのねじれ固有振動数が高くなることが
判る。
いに平行で、寸法り、、h、が大きいとき、即ち、第1
図において、枠体Wを構成する長辺部材20A、 20
Aが互いに平行で、枠体Wの水平方向の幅Wが大きいと
き及び補強片43・・・で形成される形状が三角形であ
るとき、保持体Hのねじれ固有振動数が高くなることが
判る。
このように、好ましい保持体Hの平面形状が矩形である
こと及び枠体内に三角形を形成することによって、保持
体Hのねじれ固有振動数を高めることが判ったので、第
4図において、12 = 122m5゜h、=h、=h
、=42flとし、更に、第8図に示すように、枠体内
に複数の二等辺三角形(同図(A)はやや偏平な二等辺
三角形、同図(B)は正三角形、同図(C)はやや細長
い二等辺三角形をそれぞれ示す、)を形成したものにお
いて、各部材41.42゜43の垂直方向の厚みtを種
々変えて、保持体Hのねじれ固を振動数の変化を調べて
みたところ、第9図に示すような結果が得られた。この
図において、横軸方向の(A)、(B)、(C)は第8
図に示す各図形に付した符号(A)、(B)、(C)を
示しており、縦軸は前記符号(A)に示す図形のものの
ねじれ固有振動数を1とするときのねじれ固有振動数の
比を示している。
こと及び枠体内に三角形を形成することによって、保持
体Hのねじれ固有振動数を高めることが判ったので、第
4図において、12 = 122m5゜h、=h、=h
、=42flとし、更に、第8図に示すように、枠体内
に複数の二等辺三角形(同図(A)はやや偏平な二等辺
三角形、同図(B)は正三角形、同図(C)はやや細長
い二等辺三角形をそれぞれ示す、)を形成したものにお
いて、各部材41.42゜43の垂直方向の厚みtを種
々変えて、保持体Hのねじれ固を振動数の変化を調べて
みたところ、第9図に示すような結果が得られた。この
図において、横軸方向の(A)、(B)、(C)は第8
図に示す各図形に付した符号(A)、(B)、(C)を
示しており、縦軸は前記符号(A)に示す図形のものの
ねじれ固有振動数を1とするときのねじれ固有振動数の
比を示している。
これら第8図及び第9図から、第4図における長辺部材
41.41における寸法tが長辺部材41.41の水平
方向の幅の174を超えるとき、即ち、第1図における
寸法tが寸法Wの1/4を超えるとき、枠体内の三角形
を正三角形にすれば、保持体Hのねじれ固有振動数が高
くなり、それだけねじれ振動に対して強くなることが判
る。
41.41における寸法tが長辺部材41.41の水平
方向の幅の174を超えるとき、即ち、第1図における
寸法tが寸法Wの1/4を超えるとき、枠体内の三角形
を正三角形にすれば、保持体Hのねじれ固有振動数が高
くなり、それだけねじれ振動に対して強くなることが判
る。
尚、上記説明においては、第1保持体20を例に挙げて
いるが、本発明は第2保持体23にも適用することがで
きることは云うまでもない。
いるが、本発明は第2保持体23にも適用することがで
きることは云うまでもない。
以上説明したように、本発明に係る光学系移動式露光装
置におけるミラー保持装置は、ミラーを保持する保持体
をその平面形状が矩形の枠体で構成すると共に、この枠
体内に複数の三角形を形成したトラス形状に構成してい
るので、保持体のねじれ固有振動数が著しく高くなり、
外部から加振力が加えられてもねじれ振動を起こし難く
なり、従って、鮮明な画像形成を形成することができる
。
置におけるミラー保持装置は、ミラーを保持する保持体
をその平面形状が矩形の枠体で構成すると共に、この枠
体内に複数の三角形を形成したトラス形状に構成してい
るので、保持体のねじれ固有振動数が著しく高くなり、
外部から加振力が加えられてもねじれ振動を起こし難く
なり、従って、鮮明な画像形成を形成することができる
。
第1図乃至第3図は本発明の一実施例を示し、第1図は
本発明に係る保持体の一例を示す斜視図、第2図は本発
明を適用した静電写真複写機全体の概略断面図、第3図
は露光装置及びその駆動装置を示す分解斜視図である。 第4図乃至第9図は本発明に係る保持体と従来構造の保
持体との性能を比較説明するための図で、第4図は保持
体のモデルを示す斜視図、第5図は保持体の固有振動数
を測定する装置の概略図、第6図(AL (B)、 (
C)、 (D)、第7図(A)、 (B)及び第8図は
(A)、 (B)、 (C)はそれぞれ保持体の平面形
状を示す模式図、第9図は特性図である。 第10図及び第1)図は従来技術を説明するための図で
、第10図は第1ミラーの保持状態を示す断面図、第1
)図は第1ミラーの保持体を示す斜視図である。 19・・・第1ミラー、20・・・第1保持体、21・
・・第2ミラー、22・・・第3ミラー、23・・・第
2保持体、W・・・枠体、T・・・三角形、W・・・枠
体の水平方向の幅、t・・・枠体の垂直方向の厚み。 出 願 人 三田工業株式会社 代 理 人 弁理士 藤本英夫 第6図 第7図 ′X4 第10図 第1)図
本発明に係る保持体の一例を示す斜視図、第2図は本発
明を適用した静電写真複写機全体の概略断面図、第3図
は露光装置及びその駆動装置を示す分解斜視図である。 第4図乃至第9図は本発明に係る保持体と従来構造の保
持体との性能を比較説明するための図で、第4図は保持
体のモデルを示す斜視図、第5図は保持体の固有振動数
を測定する装置の概略図、第6図(AL (B)、 (
C)、 (D)、第7図(A)、 (B)及び第8図は
(A)、 (B)、 (C)はそれぞれ保持体の平面形
状を示す模式図、第9図は特性図である。 第10図及び第1)図は従来技術を説明するための図で
、第10図は第1ミラーの保持状態を示す断面図、第1
)図は第1ミラーの保持体を示す斜視図である。 19・・・第1ミラー、20・・・第1保持体、21・
・・第2ミラー、22・・・第3ミラー、23・・・第
2保持体、W・・・枠体、T・・・三角形、W・・・枠
体の水平方向の幅、t・・・枠体の垂直方向の厚み。 出 願 人 三田工業株式会社 代 理 人 弁理士 藤本英夫 第6図 第7図 ′X4 第10図 第1)図
Claims (2)
- (1)ミラーを載置した保持体が往復移動する光学系移
動式露光装置におけるミラー保持装置において、前記保
持体をその平面形状が矩形の枠体で構成すると共に、こ
の枠体内に複数の三角形を形成したトラス形状に構成し
たことを特徴とする光学系移動式露光装置におけるミラ
ー保持装置。 - (2)前記枠体の垂直方向の厚みが水平方向の幅の1/
4を超えるとき、前記三角形を正三角形となるようにし
たことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項に記載の
光学系移動式露光装置におけるミラー保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62274973A JPH0833580B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 光学系移動式露光装置におけるミラー保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62274973A JPH0833580B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 光学系移動式露光装置におけるミラー保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01116664A true JPH01116664A (ja) | 1989-05-09 |
| JPH0833580B2 JPH0833580B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=17549141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62274973A Expired - Lifetime JPH0833580B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 光学系移動式露光装置におけるミラー保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0833580B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0369930A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-03-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像形成装置 |
| US5212523A (en) * | 1991-05-13 | 1993-05-18 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image read device with reduced mirror vibration |
| US5283614A (en) * | 1990-10-31 | 1994-02-01 | Mita Industrial Co., Ltd. | Optical system moving frame unit for use in an exposure device of an optical system movement type |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5792349A (en) * | 1980-11-28 | 1982-06-08 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | Mirror holding device |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP62274973A patent/JPH0833580B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5792349A (en) * | 1980-11-28 | 1982-06-08 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | Mirror holding device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0369930A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-03-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像形成装置 |
| US5283614A (en) * | 1990-10-31 | 1994-02-01 | Mita Industrial Co., Ltd. | Optical system moving frame unit for use in an exposure device of an optical system movement type |
| US5212523A (en) * | 1991-05-13 | 1993-05-18 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image read device with reduced mirror vibration |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0833580B2 (ja) | 1996-03-29 |
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