JPH01120937U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01120937U JPH01120937U JP1683188U JP1683188U JPH01120937U JP H01120937 U JPH01120937 U JP H01120937U JP 1683188 U JP1683188 U JP 1683188U JP 1683188 U JP1683188 U JP 1683188U JP H01120937 U JPH01120937 U JP H01120937U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum processing
- bottom wall
- pair
- side walls
- processed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案に係る連続式真空
処理装置の一実施例を示す側断面図、第３図およ
び第４図はそれぞれ液体貯槽の平面図、第５図は
本考案に係る連続式真空処理装置の他の実施例を
示す側断面図、第６図は本考案に係る連続式真空
処理装置のさらに他の実施例を示す側断面図であ
る。 ２……真空処理室、３……底面壁、４……蓋体
、４ａ，４ｂ，４ｄ……側壁、５……シール液体
、６……液体貯槽、８……被処理材、１３……案
内ロール、１５……液体貯槽、１６……案内ロー
ル。
処理装置の一実施例を示す側断面図、第３図およ
び第４図はそれぞれ液体貯槽の平面図、第５図は
本考案に係る連続式真空処理装置の他の実施例を
示す側断面図、第６図は本考案に係る連続式真空
処理装置のさらに他の実施例を示す側断面図であ
る。 ２……真空処理室、３……底面壁、４……蓋体
、４ａ，４ｂ，４ｄ……側壁、５……シール液体
、６……液体貯槽、８……被処理材、１３……案
内ロール、１５……液体貯槽、１６……案内ロー
ル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 長尺シート状の被処理材を真空処理室内を連続
的に通過させることにより真空処理する装置であ
つて、 前記真空処理室は底面壁及び該底面壁に被蓋し
た蓋体により画成され、該蓋体の少なくとも相対
向する一対の側壁の下端は底面壁に凹設された液
封用の溝内に装入されており、該一対の側壁の下
端には前記被処理材を案内する案内部材が設けら
れている連続式真空処理装置において、 少なくとも該一対の側壁を上下動可能とし、前
記案内部材を溝内の非減圧時の液面レベルよりも
上方へ引き上げ可能としたことを特徴とする連続
式真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1683188U JPH01120937U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1683188U JPH01120937U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01120937U true JPH01120937U (ja) | 1989-08-16 |
Family
ID=31230099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1683188U Pending JPH01120937U (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01120937U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022041048A (ja) * | 2020-08-31 | 2022-03-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 処理システム及び処理方法 |
-
1988
- 1988-02-10 JP JP1683188U patent/JPH01120937U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022041048A (ja) * | 2020-08-31 | 2022-03-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 処理システム及び処理方法 |
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