JPH01122047U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01122047U JPH01122047U JP1888588U JP1888588U JPH01122047U JP H01122047 U JPH01122047 U JP H01122047U JP 1888588 U JP1888588 U JP 1888588U JP 1888588 U JP1888588 U JP 1888588U JP H01122047 U JPH01122047 U JP H01122047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inert gas
- ceramic substrate
- substrate
- opening
- mounting plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
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- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は本考案の原理構成図、第２図は本考案
の実施例を示す構成図、第３図は実施例の説明図
、第４図は収縮率と通過不活性ガス量の関係を示
すグラフ、第５図は従来例を示す構成図である。 図において、１，１ａは基板焼成治具、２，２
ａは載置板、４，４ａ，４ｂはカバー部、５，５
ａ，５ｂは開口部、６は開口面積調節手段、６ａ
は通風長孔、９ａ，９ｂは遮蔽片、１０，１０ａ
はセラミツク基板、１１は衝立を示す。
の実施例を示す構成図、第３図は実施例の説明図
、第４図は収縮率と通過不活性ガス量の関係を示
すグラフ、第５図は従来例を示す構成図である。 図において、１，１ａは基板焼成治具、２，２
ａは載置板、４，４ａ，４ｂはカバー部、５，５
ａ，５ｂは開口部、６は開口面積調節手段、６ａ
は通風長孔、９ａ，９ｂは遮蔽片、１０，１０ａ
はセラミツク基板、１１は衝立を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 載置板２と、 複数個所に開口部５を有するカバー部４で構成
され、 該載置板２上にセラミツク基板１０を載置して
該カバー部４で覆つて、不活性ガスが供給される
焼成炉内に挿入し、該不活性ガスを該開口部５か
ら該セラミツク基板１０の面に通過させながら該
セラミツク基板１０の焼成を行う方形の基板焼成
用治具であつて、 前記開口部５に、前記通過する不活性ガスの量
を増減させる開口面積調節手段６を備えたことを
特徴とする基板焼成用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1888588U JPH01122047U (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1888588U JPH01122047U (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01122047U true JPH01122047U (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=31233920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1888588U Pending JPH01122047U (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01122047U (ja) |
-
1988
- 1988-02-16 JP JP1888588U patent/JPH01122047U/ja active Pending
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