JPH01126483A - ゲートバルブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば電子ビーム露光装置における、試料
室と予備試料室とを真空遮断する部分などに好ましく用
いることのできるゲートノ（ルプ装置に関する。

〔従来の技術〕

第６図〜第８図は１例えば特開昭５８−’１７９２２号
公報に示された従来のゲートバルブ装置を示すもので１
図において（１）は内部に空洞部（２）ヲ有し、かつこ
の空洞部（２）を横切る方向に設けられた物品を通過さ
せ得る貫通孔（３）を有するケーシング、（ａａ）は試
料室側の開口部、　（８ｂ）は予備試料室側の開口部で
ある。（４）は上記空洞部（２）内に設けられ、上記貫
通孔（８）？横切る方向に往復動することにより、貫通
孔（３）ヲ開閉し得る弁体、（６）はこの弁体（４）　
７に作動させるための駆動機構、（６）は空気圧シリン
ダからなる駆動源である。なお、駆動源（６）＆工、シ
リンダ（６０）、シリンダ（６０）の外面部に一体的に
設けられたラツーク（８０ａ）　、空気導入孔（ｅｔａ
）、（６１ｂ）　、ケーシング（１）に固定軸（６２）
によって一体内に固定されたピストン（６３）などから
構成されている。また上記駆動機構（６）は、ケーシン
グ（１）に対し、回動自在に設けられた軸体（５０）、
こ６”軸体（５０）の外側端部に固定され上記ラック（
６ｏａ）と噛合う扇形歯車（５１）、軸体（６１）のケ
ーシング（１）内側の端部に固定されたリンク（５２）
、このリンク（６２）の回動によって弁体（４）を往復
動させる弁保持部（５３）などから構成されている。（
７）ハ上記軸体（５０）とケーシング（１）との気密？
保持するウィルソンシールである。

上記のように構成された従来のゲートバルブ装置におい
ては、シリンダ（６０）に圧縮空気な導入することによ
って、シリンダ（６０）を第６図の左右方向に移動させ
、ラック（ｅｏａ）に噛合する扇形歯車（５１）　’ａ
−介して軸体（５０）を回動させ、弁体（４）を開閉さ
せる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のゲートバルブ装置は以上のように構成されている
ので、弁体（４）の駆動機構（６）の大きさによってケ
ーシング（１）の厚さが決まってしまい。

ケーシング（１）を薄型に形成することは困難であると
同時Ｋ、弁体（４）付近の部品点数が多く、製作コスト
が高くかつメンテナンスが難いなどの問題があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、装置を薄型に形成することができると共に、
弁体付近の部品点数が少なく、製作コストが安くかつメ
ンテナンスがしやすくできるゲートバルブ装置を得るこ
とを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るゲートバルブ装置は、内部に空洞部な有
し、かつこの空洞部を横切る方向に設けられた貫通孔な
有するケーシング、上記空洞部に設けられ上記貫通孔を
横切る方向に往復動することにより上記貫通孔を開閉し
得るくさび形の弁体、一端部がこの弁体と結合され、他
端部が上記ケーシングの外部に突出された上記弁体を作
動させるロッド、このロッドの移動方向の異なる位置に
それぞれ設けられ、このロッドと上記ケーシングとの気
密を保持する第１シール部及び第２シール部、これら第
１シール部と第２シール部との間を排気する排気手段を
備えたものである。

〔作用〕

この発明における弁体は、くさび形であって。

かつロッドによって直接貫通孔を開閉するため、機構が
簡単化される。また上記ロッドは多重シールであって、
かつシーに゛とシールの間に排気手段によって排気され
、弁体部の真空が維持される。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はゲートバルブ装置を示す正面図、第２図は第１図の
矢視■−■断面を示す図である。

図において、（１）＆エケーシングであり、試料室（図
示せず）側、予備試料室（図示せず）側にそれぞれ開口
部（３ａ）　、　（３ｂ）が形成された第１及び第２ケ
ージ／グ部材（ｌａ）、（ｌｂ）からなっている。この
ケーシング部材（ｌａ）、（ｌｂ）内には貫通孔（８）
を開閉する弁体（４）が収納されている。弁体（４）ハ
少なくとも一方が勾配を有するくさび聾である。また、
ケーシング部材（１ａ）と（ｒｂ）ｔ！真空シールされ
て一体化されている。ケーシング（１）の図の下部には
取付部材（１４）を介して空気圧シリンダ（６）が設け
られている。そして、この空気圧シリンダ（６）により
付勢されるロッド（８）がケーシング（１）内の空洞部
（２）内に導入され、このロッド（８）の一端部に前記
弁体（４）が取シ付けられている。なお、第２図中（９
）は第１シール部、　（ｌｏ）は第２シール部、（１１
）はこれらシール部（９）、（ＬＯ）の間を排気するた
めの排気手段、（１２）ｔＸこれら第１、第２シール部
（９）、（ＬＯ）　、排気手段（１１）から構成される
シール装置である。このシール装置（１２）ＧＸ二重シ
ール構造になっており、シール間を真空排気でき、ケー
シング（１）に取り付けられている。また、その他の符
号は上記従来装置と同一もしくは相当する部分Ｙ示す。

次に動作について説明する。空気圧シリンダ（６）の下
側空気導入孔（６１ｂ）からシリンダ（６ｏ）内に圧縮
空気を導入することによシ、前記第２図に示したごとく
ロッド（８）が上昇し、これにより弁体（４）も上昇し
、弁体（４）がケーシング部材（ｌａ）。

（１ｂ）の間でくさび作用が働き、より小さい力で貫通
孔（３）が閉じられる。また、空気圧シリンダ（６）の
上側空気導入孔（ｅｔａ）からシリンダ（６０）内に圧
縮空気を導入すると、ロッド（８）が下降し、第３図に
示すごとく貫通孔（３）が開かれる。そして、この貫通
孔（８）が開かれた第３図に示す状態で、開口部（３ａ
）　、　（８ｂ）を通して試料室と予備試料室との間で
試料カセットが搬送される。（何れも図示省略）なお（
１！ｌ　）　Ｉｔｓ弁座、（４ａ　）　ｈｚシール部材
である。

また、ロッド（８）の上下運動によるリークを。

ロッドのシールを多重シール構造にすることで少なりシ
、さらに、シール間を真空排気することで最小限におさ
えている。なお、排気手段（１１）は。

図示しない真空ポンプなどに接続される。

なお、この発明は上記実施例に限定されるもので（工な
い。例えば、弁体（４）を直動させる駆動手段として、
空気圧シリンダ（６）を使用したが、ラック・ピニオン
、ベルト、チェーン、歯車及び送シネジとロータリーモ
ータと組み合わせたものなどでも用いることができる。

また、リニアモータも適用できる。開口部（３ａ）、（
３ｂ）の長さに合わせて、弁体（４）の動きのバランス
な考えて、弁体（４）のガイドを考慮する。例えば、第
４図のように。

空気圧シリンダの両側をガイド部材（１５）でガイドし
たりすることは好ましい。この場合、ガイド軸受（１６
）はロッドシールの働きも兼ね備えている。また、前記
駆動手段に空気圧シリンダケ用いた場合、ガイド捧を両
側に設けるよシ、第５図のようにシリンダ（６）を複数
個設けて、駆動手段を分割した方が、ゲートバルブが薄
型にできる。また、この発明は、電子ビーム直接描画装
置あるい（工その他の装［Ｃも転用できる。要するに、
この発明を工その要旨を逸脱しない範凹で種種変形して
実施することができる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、弁体なくさび型にし
て、かつロッドとケーシングとの間を気密保持する真空
シールを多重シールにし、シール間を真空排気できる構
成にしたので、弁体の上下運動距離が短く１部品数を少
なくでき、ひいては、ケーシングの容積が小さく、かつ
薄型にすることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるゲートバルブ装置の
要部を示す正面図、第２図は第１図の矢視ｎ−ｎ断面を
示す図、第３図は開弁状態を示す要部断面図、第４図及
び第６図はこの発明の他の実施例及びさらに他の実施例
な示す正面図、第６図は従来のゲートバルブ装置を示す
正面図、第７図は第６図の矢視■−■断面を示す図、第
８図は第７図の開弁状態を示す要部断面図である。 （１）はケーシング、（２）は空洞部、（３）は貫通孔
、（４）は弁体、（８）はロッド、（９）は第１シール
部、（１０）は第２シール部、　（１１）は排気手段で
ある。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内部に空洞部を有し、かつこの空洞部を横切る方向に設
   けられた貫通孔を有するケーシング、上記空洞部に設け
   られ上記貫通孔を横切る方向に往復動することにより上
   記貫通孔を開閉し得るくさび形の弁体、一端部がこの弁
   体と結合され、他端部が上記ケーシングの外部に突出さ
   れた上記弁体を作動させるロッド、このロッドの移動方
   向の異なる位置にそれぞれ設けられ、このロッドと上記
   ケーシングとの気密を保持する第１シール部及び第２シ
   ール部、これら第１シール部と第２シール部との間を排
   気する排気手段を備えたことを特徴とするゲートバルブ
   装置。