JPH01126516A - 空気流量計の温度補償用センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は空気流量計の温度補償用センサに関するもので
あり、特に、吸入空気流量検出回路に配置され、その抵
抗値を所定値に容易に変更することのできる空気流量計
の温度補償用センサに関するものである。

（従来の技術） 内燃機関の吸気管に配置される空気流量計には、種々の
方式のものがあるが、その中でも、センサとして白金線
等の熱線を用いたいわゆる熱線式の空気流量計は応答が
良く、また単位時間当りに流れる空気の質量が計測でき
る等の理由により、広く用いられている。

この熱線式空気流量計は、例えば特開昭５７−２３８１
８号公報、同５９−１９０６２３号公報、実開昭５６−
１７３５３号公報等に記載されている。

この熱線抵抗を用いた流量センサは、空気流量計の吸気
通路内に配置される。また該流量センサを用いた流量検
出回路は、吸入空気の通過による熱線抵抗の温度変化、
すなわち抵抗値変化を利用して空気流量を検出する。

ところで、吸気通路内を通過する吸入空気の温度が変化
すると、熱線抵抗の放熱量が変化するので、一般には前
記吸気通路内に、前記流量センサに近接して、温度補償
用センサ（吸気通路内雰囲気補償センサ）が配置されて
いる。

以下に、流量センサおよび前記温度補償用センサを用い
た流量検出回路を簡単に説明する。

第１２図はこのような空気流量計の流量検出回路を示す
回路図である。

図において、抵抗ＲＨは熱線抵抗により構成された流量
センサの抵抗成分、抵抗ＲＣは前記温度補償用センサの
抵抗成分である。前記流量センサは、筒状のボビンに白
金等の線材（熱線）を巻回し、該ボビンの両端部に固着
されたリードに、前記線材の両端部を溶接等の手法によ
り接続することにより構成された、小型電気素子である
。

前記流量センサの抵抗ＲＨおよび温度補償用センサの抵
抗Ｒ，Ｃは、図示されるように、抵抗Ｒ１および抵抗Ｒ
２と共にブリッジ回路を構成している。

符号２０１は駆動用トランジスタ、符号２０２は、前記
駆動用トランジスタ制御用のオペアンプである。

前記流量センサおよび温度補償用センサは、吸気通路内
に突出するように前記流量検出回路より引出されたリー
ドの端部に、スポット溶接により取付けられる。

ところで、このような流量検出回路は、当該空気流量計
のボディ、あるいは内燃機関の電子制御装置に近接して
配置されるが、該流量検出回路の温度が変化すると、流
量検出回路内の電気素子の特性が変わり、流量検出を正
確に行うことができなくなる。

したがって、この流量検出回路の温度変化を検出して、
流量の出力信号値を補正する温度補正用センサ（回路収
納ケース内雰囲気補償センサ）が、この流量検出回路の
流量信号出力部にも配置されて−いる。

（発明が解決しようとする問題点） 上記した従来の技術は、次のような問題点を有していた
。

（１）第１２図に示されたような流量検出回路において
は、ブリッジを構成する各抵抗の抵抗値を正確に設定し
て、該ブリッジの平衡をとる必要があるが、前記抵抗Ｒ
１およびＲ２には、一般に製作誤差があるため、その抵
抗値は正確でない。

流量センサおよび吸気通路内雰囲気補償センサの抵抗値
（第１２図のＲＨおよびＲＣ）も同様である。

したがって、流量センサ、吸気通路内雰囲気補償センサ
、ならびに前記抵抗Ｒ１および抵抗Ｒ２を単に組み合わ
せただけでは流量検出回路のブリッジの平衡をとること
ができない。

このため、従来の流量検出回路においては、前記各抵抗
とは別にブリッジ内に固定抵抗を追加し、ブリッジの状
態、すなわち平衡の度合いに応じて、前記固定抵抗をレ
ーザトリミングしてその抵抗値を変化させたり、あるい
は可変抵抗器を追加したりして、該ブリッジの平衡をと
っていた。

この場合、前記トリミングや可変抵抗器の調整をただ一
回だけ行っても、前記抵抗器は希望する抵抗値とならな
いので、前記トリミングや可変抵抗器の調整は、ブリッ
ジの平衡の度合いを測定しながら、あるいは追加された
固定抵抗あるいは可変抵抗器の抵抗値を測定しながら、
繰り返し行われなければならない。

したがって、当該流量検出回路の製作が極めて面倒であ
った。

（２）流量検出回路を構成する各種電気素子は、−般に
その特性にばらつきがあるため、各流量検出回路ごとに
要求される回路収納ケース内雰囲気補償センサの抵抗値
は異なる。

このため、従来の流量検出回路においては、その流量信
号出力部に、可変抵抗器を設けたり、あるいは固定抵抗
を設けて、該固定抵抗をトリミングしたりして、回路収
納ケース内雰囲気補償センサの抵抗値が希望する抵抗値
になるようにしていた。

この場合、固定抵抗のレーザトリミングや、可変抵抗器
の調整は、（１）に関して前述したのと同様の理由によ
り、当該流量検出回路出力部の信号を測定しながら、繰
り返しながら行われなければならないので、当該流量検
出回路の製作が極めて面倒であった。

本発明は、前述の問題点を解決するためになされたもの
である。

（問題点を解決するための手段および作用）前記の問題
点を解決するために、本発明は、温度補償用センサを薄
膜抵抗により形成すると共に、該薄膜抵抗を、所定単位
の抵抗値を有し、それぞれが直列に接続された複数の単
位抵抗部と、前記単位抵抗部のそれぞれを短絡するよう
に形成された複数のトリミング部とにより構成するとい
う手段を講じた点に特徴がある。

このように構成された温度補償用センサの抵抗値を、あ
らかじめ、要求されるであろうと予想される抵抗値より
も小さく設定しておき、所望の抵抗値を有する単位抵抗
部に対応するトリミング部を破壊するようにすれば、こ
の−回のトリミングで温度補償用センサの抵抗値を前記
所定値だけ増加、すなわち変更することができるという
作用効果を生じさせることができる。

（実施例） 以下に、図面を参照して、本発明の詳細な説明するＯ 第２図は本発明の一実施例を空気流上流側から見た正面
図、第３図は本発明の一実施例を空気流通過方向に切断
した断面図である。

各々の図において、内燃機関の吸気管に介装される当該
空気流量計のボディ１には、その空気流上流側に複数の
ボルト穴ＩＢが穿設されたフランジＩＡが形成されてい
る。

また、前記フランジＩＡの、空気流上流側の面には、ガ
スケット（０リング）配置用の環状溝ＩＣが穿設されて
いる。

前記ボディ１の空気流下流側には、ジヨイント部ＩＤが
形成されている。このジヨイント部ＩＤ。

および前記フランジＩＡに穿設されたボルト穴ＩＢを用
いて、当該空気流量計は吸気管に接続される。

前記ボディ１の内壁は、第３図の符号ＩＥで示されるよ
うにベンチュリ状に形成されている。

前記ボディ１の内部には、その内面がベンチュリ状に形
成された筒状のインナベンチュリ２が配設されている。

前記インナベンチュリ２には、空気流量センサ６および
温度補償センサ（吸気通路内雰囲気補償センサ）７が取
付けられている。

前記インナベンチュリ２は、前記ボディ１の内壁の一部
を構成する架台３に接続されている。この架台３は、空
気流量を計測するための回路を収納する回路収納ケース
４に取付けられている。

さらにこの回路収納ケース４は、ボディ１に形成された
台座ＩＦ（第２図）におねじ１０１により固定されてい
る。

第４図はインナベンチュリ２、架台３、および回路収納
ケース４より構成される流量計測ユニット１５の正面図
、第５図は第４図の断面図、第６図は第４図を側面から
見た断面図、第７図は第４図の平面図である。第４〜７
図において、第２゜３図と同一の符号は、同一または同
等部分をあられしている。また第７図においては、カバ
ー５が省略されている。

第４〜７図において、架台３には、インナベンチュリ２
を支持する連結部材３Ａ、および該連結部材３Ａと反対
側に台座３Ｂが形成されている。

インナベンチュリ２は、２つの部材、すなわち上部ベン
チュリ２Ａおよび下部ベンチュリ２Ｂより成り、該上部
ベンチュリ２Ａは、架台３の連結部材３Ａと樹脂等によ
り一体的に形成されている。

この上部ベンチュリ２Ａおよび架台３の成型の際には、
上部ベンチュリ２Ａの、ベンチュリ内壁に相当する部分
から、連結部材３Ａを介して台座３Ｂに至るように、リ
ード８および９がその内部に配置される（第５，６図参
照）。

上部ベンチュリ２Ａおよび下部ベンチュリ２Ｂの固定の
手法は、第１０．１１図に関して後述する。

金属材料により形成された回路収納ケース４は、第５図
に詳細を示すように、おねじ１０２を用いて、前記架台
３の台座３Ｂに固定される。この固定は、架台３の、台
座３Ｂ側に突出したリード８および９の端部が、該回路
収納ケース４の底面に穿設されたリード引出し穴（図示
せず）内を介して、回路収納ケース４内に突出するよう
に、行われる。

前記回路収納ケース４内には、空気流量検出回路が形成
された回路基板が配置される。空気流量検出回路は、空
気流量センサ６および温度補償センサ７より出力される
信号を用いて空気流量を検出する信号処理回路、すなわ
ち熱線ブリッジ形成用の抵抗、定電流フィードバック回
路等より成る部分と、前記信号処理回路に電力を供給す
る電力処理回路とより成る。

前記電力処理回路が形成された電力処理用回路基板１０
は、おねじ１０３を用いて回路収納ケース４の底面に固
定されている。この固定は、前記電力処理用回路基板１
０に形成されたリード引出し穴（図示せず）に、前記リ
ード８および９の端部が突出するように、行われている
。

前記信号処理回路が形成された信号処理用回路基板１１
は、図示されない手段により、前記電力処理用回路基板
１０に対して垂直に支持されている。

なお、符号１０５はノイズ防止用チョークコイル、１０
６は電力供給用パワートランジスタ、１０７は回路収納
ケース４内の雰囲気温度を検出する温度補償用センサ（
回路収納ケース内雰囲気補償センサ）、１０８はブリッ
ジ形成用抵抗である。

前記温度補償用センサ１０７は、当該流量検出回路の流
量信号出力部に配置され、放熱板１０７Ａと、該放熱板
１０７Ａ上に形成された薄膜抵抗１０７Ｃとより構成さ
れている。そして、前記放熱板１０７Ａは、おねじ１０
７Ｂにより回路収納ケース４の底面に固定されている。

前記薄膜抵抗１０７Ｃは、第９図に関して後述する温度
補償センサ７の薄膜抵抗７Ａと同一の材料により形成さ
れている。

また、符号１１０は、回路収納ケース４と当該内燃機関
に搭載された電子制御装置（図示せず）とを接続するた
めのコネクタである。

カバー５は、前記回路収納ケース４と同様に、金属材料
により形成されている。このカバー５は、回路収納ケー
ス４の上部に、かしめ等の手法により取り付けられてい
る。

前記回路収納ケース４の側面部には、取付は座４Ａが形
成されている。前記取付は座４Ａには、ボルト穴４Ｂが
穿設されている。

流量計測ユニット１５はこのようにして構成されている
。

第２，３図に戻り、前記ボディ１には、架台３の、符号
３Ｇ（第５図参照）に示された部分の形状とほぼ同一の
開口部（図示せず）が穿設されていて、架台３が前記開
口部に挿入されることができるように構成されている。

この挿入により、この流量計測ユニット１５のインナベ
ンチュリ２は、第２，３図に示されるように、ボディ１
内部の中央部に配置されることが可能である。

この挿入後、おねじ１０１を、ボルト穴４Ｂを介してボ
ディｌの台座ＩＦに固定すれば、前記流量計測ユニット
１５はボディ１に固定される。

なお、流量計測ユニット１５の、ボディ１への取付けは
、それらの間にガスケット１６を介して行われる。

このように、流量計測ユニット１５は、その内部にセン
サが配置されたインナベンチュリ２と、空気流量検出の
ための回路基板が配置された回路収納ケース４とが一体
となったものであり、かつこの流量計測ユニット１５が
、おねじ１０１を用いて当該空気流量計のボディ１から
着脱可能に構成されているので、前記センサの保守、点
検が極めて容易である。

つぎに、インナベンチュリ２内に配置されるセンサを説
明す一〇 第８図はインナベンチュリ２を、空気流上流側から見た
拡大正面図、第９図は上部ベンチュリ２Ａの底面図であ
る。第８，９図において、第２〜７図と同一の符号は、
同一または同等部分をあられしている。

第８．９図において、電力処理用回路基板１０に接続さ
れ、上部ベンチュリ２Ａのベンチュリ内壁に突出した一
対のリード８の端部には、空気流量センサ６の両端部に
接続されたり一ド６Ａが、それぞれ固定されている。

電力処理用回路基板１０に接続された一対のリード９の
端部は、上部ベンチュリ２Ａのベンチュリ内壁であって
、前記リード８よりも空気流上流側に突出している。ま
たこのリード９と対向するように、一対の支持棒９Ａが
前記上部ベンチュリ２Ａのベンチュリ内壁に突出してい
る。

温度補償センサ（吸気通路内雰囲気補償センサ）７は、
支持板７Ｄに形成された薄膜抵抗７Ａと、該薄膜抵抗７
Ａの一対の電極のそれぞれに接続されたリード７Ｂと、
前記薄膜抵抗７Ａに接触しないように支持板７Ｄに固定
された２本の支持棒７Ｃとを備えている。

前記一対のリード７Ｂは、前記一対のリード９の端部に
それぞれ接続されている。また前記一対の支持棒７Ｃは
、前記一対の支持棒９Ａにそれぞれ接続されている。

前記空気流量センサ６および温度補償センサ７の、リー
ド８，９および支持棒９Ａへの取付けは、ろう付け、ス
ポット溶接等の手法により行われる。

第１図は前記薄膜抵抗７Ａの拡大平面図である。

この第１図において、ハツチングで示された部分は、薄
膜抵抗７Ａのパターンを示すものであり、断面を示して
いるものではない。

第１図において、薄膜抵抗７Ａは、所定単位の抵抗値を
有し、それぞれが直列に接続された複数の単位抵抗部８
３〜８７（第１図においては、クロスハツチングで示さ
れている）と、該単位抵抗部８３〜８７のそれぞれを短
絡するように形成されたトリミング部７３〜７７と、直
列に接続された複数の単位抵抗部８３〜８７“の両端部
に形成されたリード溶接部７１および７２とより成る。

このパターンは、エツチング等の手法を用いて形成され
る。また前記リード溶接部７１および７２は、一対のリ
ード７Ｂ（第９図）を、当該薄膜抵抗７Ａに取付けるた
めのものである。

前記薄膜抵抗７Ａは、銅、ニッケル、マンガンを主材料
とした合金により形成されている。本発明者らは、銅８
０〜８５［％］、ニッケル２〜４［％］、マンガン１２
〜１５［％］の合金を用いて、前記薄膜抵抗１０７Ｃを
形成した。

この例においては、前記単位抵抗部８３〜８７は、それ
ぞれ異なる抵抗値に設定されている。また、前記トリミ
ング部７３〜７７は、当該薄膜抵抗７Ａの一方の側のみ
に配置されている。

さて、前述したように従来の流量検出回路においては、
流量検出回路のブリッジを構成する各抵抗に抵抗値の誤
差が生じているため、該ブリッジの平衡がとるのが非常
に面倒である。

ところが、第１図に示された構成を有する薄膜抵抗７Ａ
においては、トリミング部７３〜７７の少なくとも一つ
を、レーザ光あるいは針等を用いて破壊（トリミング）
すれば、該薄膜抵抗７Ａの抵抗値が、その破壊部分に対
応する単位抵抗部８３〜８７の抵抗値だけ増加するので
、前記ブリッジの平衡を容易に、がっ正確にとることが
できる。つまり、例えばトリミング部７５を破壊すれば
、当該薄膜抵抗７Ａ内を通過する電流は、符号７５Ａで
示されるようにすべて単位抵抗部８５を通過するように
なるので、当該薄膜抵抗７Ａの抵抗値は、単位抵抗部８
５の抵抗値分だけ増加する。

詳しく言えば、薄膜抵抗７Ａの、トリミング部７３〜７
７の、破壊前における抵抗値を、要求されるであろうと
予想される抵抗値よりも小さく設定しておき、該薄膜抵
抗７Ａを備えた吸気通路内雰囲気補償センサおよび流量
センサを当該空気流量計に取付け、流量検出回路を構成
した後、ブリッジの平衡を測定して、増加すべき抵抗値
を検出し、該増加すべき抵抗値を有する単位抵抗部８３
〜８７を短絡するトリミング部７３〜７７を破壊するよ
うにすれば、吸気通路内雰囲気補償センサの抵抗値（第
１２図のＲＣ）を前記所定値だけ増加、すなわち所定値
に変更することができる。したがって、前記ブリッジの
平衡をただ一回のトリミングにより正確にとることがで
きる。なお、トリミング部の破壊は１か所のみにかかわ
らず、２か所以上に亘って行うようにしても良いことは
当然である。

さて、前記実施例においては、単位抵抗部８３〜８７の
抵抗値はそれぞれ異なるものとして説明した。この場合
、単位抵抗部８４〜８７の抵抗値は、例えば単位抵抗部
８３の抵抗値を基準として２倍、３倍、４倍・・・とな
るように設定されても良く、また単位抵抗部８３の抵抗
値を基準として２倍、４倍、８倍・・・となるように設
定されても良い。

このように、前記各単位抵抗部８３〜８７の抵抗値をそ
れぞれ異なる値に設定すれば、当該薄膜抵抗７Ａの抵抗
値を広い範囲に亘って変更するこ。

とができるが、本発明は特にこれのみに限定されること
はなく、前記各単位抵抗部８３〜８７の抵抗値をすべて
同一の値に設定しても良い。

また、前記実施例においては、各トリミング部７３〜７
７は、当該薄膜抵抗７Ａの一方の側、すなわち１つの端
面のみに形成されるものとして説明した。

このように形成されることにより、どのトリミング部を
破壊する場合においても、該破壊を一方向から行うこと
ができるので、薄膜抵抗７Ａの抵抗値の変更を、容易に
行うことができるが、本発明は特にこれのみに限定され
ることはなく、当該薄膜抵抗７Ａの２つ以上の端面に形
成されても良い。

さらに、本発明は、吸気通路内雰囲気補償センサへの適
用のみに限定されることはなく、回路収納ケース内雰囲
気補償センサ（第７図の符号１０７）の薄膜抵抗１０７
Ｃに適用されても良いことは当然である。

つぎに、インナベンチュリ２の構造、およびその組立て
手法を説明する。

第１０．１１図は、インナベンチュリ２の詳細、および
その組立て手法を説明するための斜視図である。第１０
．１１図において、第２〜９図と同一の符号は、同一ま
たは同等部分をあられしている。

まず第１０図において、インナベンチュリ２は、連結部
材３Ａと一体成型された上部ベンチュリ２Ａと、該上部
ベンチュリ２Ａと同様に樹脂により成型された下部ベン
チュリ２Ｂとより成る。前記上部ベンチュリ２Ａおよび
下部ベンチュリ２Ｂは、構成されるべきインナベンチュ
リ２を、その中心軸を含む平面で２分割したような形に
形成されている。

前記上部ベンチュリ２Ａおよび下部ベンチュリ２Ｂは、
第１１図に関して後述するように、機械的な手法により
固定されるが、この場合のずれ止め防止のために、該下
部ベンチュリ２Ｂおよび上部ベンチュリ２Ａの、互いに
対向する面に、凸部２Ｄおよび凹部２Ｅが形成されてい
る。

前記上部ベンチュリ２Ａおよび下部ベンチュリ２Ｂの外
周面には、図示されるようにその周方向に、円周溝２Ｆ
が穿設されている。この例においては、前記円周溝２Ｆ
は、インナベンチュリ２の前方（空気流上流側）および
後方（空気流下流側）の２か所に穿設されている。

前記上部ベンチュリ２Ａおよび下部ベンチュリ２Ｂの機
械的な固定は、第１１図に示されるように、該上部ベン
チュリ２Ａおよび下部ベンチュリ２Ｂの凸部２Ｄおよび
凹部２Ｅを嵌合させた後、ばね材等により成型されたＣ
形状の弾性部材（Ｃ形同心止め輪）１２を、インナベン
チュリ２の前方および後方より、すなわち矢印Ｚ方向に
インナベンチュリ２の外周部に係合させ、そし後、円周
溝２Ｆに嵌合させることにより行われる。

したがって、上部ベンチュリ２Ａを下部ベンチュリ２Ｂ
に固定する前に、前記上部ベンチュリ２Ａの内壁に露出
したリード８に空気流量センサ６を取付け、そしてリー
ド９および支持棒９Ａに温度補償センサ７を取り付ける
ようにすれば、スポット溶接、ろう付は等の作業を、下
部ベンチュリ２Ｂに邪魔されることがなく容易に行うこ
とができる。

さて、このように構成される空気流量計においては、イ
ンナベンチュリ２の内壁がベンチュリ形状に形成されて
いるので、該インナベンチユリ２内部を通過する空気流
に乱れが少なくなる。さらに、インナベンチュリ２の空
気流下流側に該当する部分が、当該空気流量計のボディ
１内壁のベンチュリ部ＩＥ最狭部に開口しているので、
インナベンチユリ２後端部より該インナベンチュリ２内
を通過する空気流が吸引される。この結果、インナベン
チュリ２内を通過する空気流にさらに乱れが少なくなり
、該空気流が層流状態となる。

したかって、空気流量センサ６および温度補償センサに
よる吸入空気流量の計測を正確に行うことができる。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、温度
補償用センサを薄膜抵抗により形成すると共に、該薄膜
抵抗を、所定単位の抵抗値を有し、それぞれが直列に接
続された複数の単位抵抗部と、前記単位抵抗部のそれぞ
れを短絡するように形成された複数のトリミング部とに
より構成するようにしたので、次のような効果が達成さ
れる。

すなわち、このように構成された温度補償用センサの抵
抗値を、あらかじめ、要求されるであろうと予想される
抵抗値よりも小さく設定しておき、所望の抵抗値を有す
る単位抵抗部に対応するトリミング部を破壊するように
すれば、温度補償用センサの抵抗値を所定値だけ増加、
すなわち変更することができる。

したがって、空気流量検出回路のブリッジの平衡調整や
、該流量検出回路の流量信号出力部に配置される回路収
納ケース内雰囲気補償センサの抵抗値の調整を、−回の
トリミングにより行うことができるので、流量検出回路
、ひいては空気流量計の製作を容易に行うことができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は温度補償用センサを構成する薄膜抵抗の拡大平
面図である。 第２図は本発明の一実施例を空気流上流側から見た正面
図である。 第３図は本発明の一実施例を空気流通過方向に切断した
断面図である。 第４図は流量計測ユニットの正面図である。 第５図は第４図の断面図である。 第６図は第４図を側面から見た断面図である。 第７図は第４図の平面図である。 第８図はインナベンチュリを空気流上流側から見た正面
図である。 第９図は上部ベンチュリの底面図である。 第１０図はインナベンチュリの組立て前の状態を示す斜
視図である。 第１１図はインナベンチュリの組立ての様子を示す斜視
図である。 第１２図は空気流量計の流量検出回路を示す回路図であ
る。 １・・・ボディ、２・・・インナベンチュリ、３・・・
架台、３Ａ・・・連結１部材、４・・・回路収納ケース
、６・・・空気流量センサ、７・・・温度補償用センサ
（吸気通路内雰囲気補償センサ）、７Ａ・・・薄膜抵抗
、８゜９・・・リード、１５・・・流量計測ユニット、
７１゜７２・・・リード溶接部、７３〜７７・・・トリ
ミング部、８３〜８７・・・単位抵抗部、１０７・・・
温度補償用センサ（回路収納ケース内雰囲気補償センサ
）、１０７Ｃ・・・薄膜抵抗 代理人　弁理士　平木通人　外１名 第１図 第２図 第３図 Ａ 第１１図　　　　第１０図 第７図 第５図　　　　第６図 第８図 第９図 第　　　１２　　　図 Ｂ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）薄膜により形成され、流量検出回路に配置される
   空気流量計の温度補償用センサであって、所定単位の抵
   抗値を有し、それぞれが直列に接続された複数の単位抵
   抗部と、 前記単位抵抗部のそれぞれを短絡するように形成された
   複数のトリミング部とを具備したことを特徴とする空気
   流量計の温度補償用センサ。
2. （２）前記トリミング部は、当該温度補償用センサの一
   方の側のみに形成されたことを特徴とする前記特許請求
   の範囲第１項記載の空気流量計の温度補償用センサ。
3. （３）前記単位抵抗部は、それぞれ異なる抵抗値に設定
   されたことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項ある
   いは第２項記載の空気流量計の温度補償用センサ。
4. （４）前記温度補償用センサは、空気流量計の吸気通路
   内に配置された吸気通路内雰囲気補償センサであること
   を特徴とする前記特許請求の範囲第１項ないし第３項の
   いずれかに記載の空気流量計の温度補償用センサ。
5. （５）前記温度補償用センサは、流量検出回路収納ケー
   ス内に配置された回路収納ケース内雰囲気補償センサで
   あることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項ないし
   第３項のいずれかに記載の空気流量計の温度補償用セン
   サ。