JPH01127973A

JPH01127973A - 検査方法

Info

Publication number: JPH01127973A
Application number: JP62286872A
Authority: JP
Inventors: Haruo Iwazu; 春生岩津
Original assignee: Tokyo Electron Kyushu Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Kyushu Ltd
Priority date: 1987-11-13
Filing date: 1987-11-13
Publication date: 1989-05-19
Anticipated expiration: 2009-08-22
Also published as: JPH0664112B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、検査方法に関する。

（従来の技術）文字、数字、図形、画像等を電気的手段を利用して表示
する装置として、例えばＬ　ＣＤ　（ＬｉｑｕｉｄＣｒ
ｙｓｔａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）装置が実用されている。

そして、表示は一般にドツトマトリクス形の液晶デバイ
スを駆動することにより行なわれ、例えば第５図に示す
ようにｍ個のＸ電極■Ｘ′電極■に接続されたｍ本の帯
状の走査信号ライン■と、ｎ個のＹ電極（へ）Ｙ′電極
■に接続されたｎ本の帯状のデータ信号ライン（０との
交差部■を画素として電気的に表示する・ものである。

ところで、上記走査信号ライン（３）、データ信号ライ
ン０が、例えば電気的に断路状態であると。

画素の駆動が不可能となるなどの不具合が発生するので
、ＬＣＤ製造工程において検査の一項目として、上記各
信号ラインの断線箇所の有無を検査する必要がある。

上記検査方法例として、検査時間の短縮化等の見地から
、上記走査信号ライン（３）、データ信号ライン０を、
リレーその他のスイッチ（図示せず）を検査装置（ハ）
により制御して直列に接続し同時に検査しようとする方
法が試みられている。

すなわち、先ず、上記信号ライン■０を凡て直列に接続
し、端部（９）（１０）間の電気的特性例えば抵抗値を
検査装置（ハ）で測定して検査をする。この検査の結果
、合格であれば検査はこの検査のみで終了するが、不合
格のときは上記信号ラインを例えば２つの群に分けて各
群内を各々同時に検査するという手順を繰返すことによ
り断線箇所を決定しようというものである。

（発明が解決しようとする問題点）しかし、上記各信号ラインは一般に、電気的に抵抗とコ
ンデンサーからなる等価回路で表わされ、その合成抵抗
値は過ａ現象を呈し定常状態に近くなるまでの時間は直
列接続された信号ラインの本数によって異なり、どの時
点での値をもって検査抵抗値とするか等の事前設定は非
常に困難である。

本発明は、上述の従来事情に対処してなされたもので、
自動的に適正な検査時間を設定可能な検査方法を提供し
ようとするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）すなわち本発明は、異なる容量のコンデンサーを有する
被検査対象の検査において、上記コンデンサーによって
定まる変動値の変化率を算出し。

この変化率が設定値に達したときに、上記検査を実行す
ることを特徴とする。

（作　用）本発明検査方法によれば、変動値の変化率を算出し、こ
の変化率が設定値に達したときに検査するので、自動的
に適正な検査時間を設定できる。

（実施例）以下、本発明検査方法の一実施例を図面を参照して説明
する。

基板、例えばＬＣＤ基板（１１）上には、被検査対象例
えば横（Ｘ）方向に伸びた帯状の走査信号ライン（１２
）が８本並列形成され、その両端部にはそれぞれ８個の
Ｘ電極（１３）　１．　Ｘ　〜８　Ｘ、　Ｘ’ｆｆｉ極
（１４）１’Ｘ〜８’Ｘが接続されている。同様に縦（
Ｙ）方向にもデータ信号ライン（図示せず）が形成され
ているが、説明の簡素化のため省略する。

次に、Ｘ　’Ｒｔ！（１３）　Ｉ　Ｘ〜８Ｘには例えば
リレー接点から構成されたスイッチＳ　１　（１５）〜
Ｓ　８　（２２）のコモン接点が各々接続され、このス
イッチ５１（１５）〜Ｓ　８　（２２）を制御して動作
させることにより、それぞれ検査装置（２３）の検査Ｉ
Ｎライン（２４）検査ＯＵＴライン（２５）に切換接続
可能に構成されている。

さらに、Ｘ電極（１３）の２Ｘ３Ｘ、３Ｘ４Ｘ、・・・
、７Ｘ８Ｘ間には１例えばリレー接点から構成されたス
イッチＳ　２　Ｘ（２６）　〜Ｓ　７　Ｘ（３１）が接
続され、このスイッチＳ　２　Ｘ（２６）〜Ｓ　７　Ｘ
　（３１）を制御動作させて閉じることにより上記Ｘ電
極（１３）の２Ｘ３Ｘ、３Ｘ４Ｘ、・・・、７Ｘ８Ｘ間
を短絡接続する如く構成されている。

一方、走査信号ライン（１２）のＸ′電極（１４）　１
　’　Ｘ〜８’Ｘ　には例えばリレー接点から構成され
たスイッチＳＬ’（３２）〜Ｓ８’（３９）のコモン接
点が各々接続され、このスイッチＳＬ’（３２）〜Ｓ８
’（３９）を制御して動作させることにより、検査装置
（２３）の検査ＯＵＴライン（２５）に接続可能に構成
されている。

また、Ｘ′電極（１４）ノ１’Ｘ２’Ｘ、２’Ｘ３’Ｘ
、・・・、７’　Ｘ　８’　Ｘ間には、例えばリレー接
点から構成されたスイッチＳ、１’Ｘ（４０）　〜Ｓ　
７’Ｘ（４６）を制御動作させて閉じることにより、上
記Ｘ′電極（Ｉ４）の１’Ｘ２’Ｘ、２’　Ｘ　３’　
Ｘ、・・・、７’　Ｘ　８’　Ｘ間を短絡接続する如く
構成されている。

そして、検査装置（２３）の、検査ＩＮライン（２４）
と検査ＯＵＴライン（２５）を通じて走査信号ライン（
１２）に、例えば直流電圧Ｅ　（４７）を印加し、検査
ＩＮライン（２４）検査ＯＵＴライン（２５）に現われ
る変動値例えば電流Ｉ　（４８）の値を測定する。そし
て、検査装置（２３）により上記電流Ｉ　（４８）の変
化率、すなわち電流Ｉ　（４８）の時間に対する変化の
割合を算出し、かつこのときの、電流Ｉ　（４８）と印
加電圧Ｅ　（４７）とから、検査ＩＮライン（２４）検
査ＯＵＴライン（２５）から見た走査信号ライン（１２
）の合成抵抗値（＝Ｅ／Ｉ）を算出検査する。そして、
この合成抵抗値と検ｎ規格値とを比較し、合格不合格を
判定する如く構成されている。

次に、検査動作について説明する。

先ず、走査信号ライン（１２）を全部同時に検査するた
めに検査装置ｉ！（２３）を制御して、′スイッチ５１
（１５）を検査ＩＮライン（２４）側に、スイッチ５８
（２２）を検査ＯＵＴライン（２５）側に切換え、また
スイッチＳＬ’Ｘ（４０）、Ｓ　２　Ｘ（２６）、　Ｓ
　３’　Ｘ（４２）、５４Ｘ（２８）、Ｓ５’Ｘ（４４
）、３６　Ｘ（３０）、Ｓ７’Ｘ（４６）を動作させる
。すなわち、走査信号ライン（１２）　８本全部を直列
接続して同時に検査可能状態にする。そして、検査装置
ｉｆｆ　（２３）により検査ＩＮライン（２４）と検査
ＯＵＴライン（２５）間に所定の直流電圧Ｅ　（４７）
を印加する。

ここで、走査信号ライン（１２）、流れる電流Ｉ（４８
）等について詳述する。

一般に、ＬＣＤ基板（１１）上に形成された走査信号ラ
イン（１２）は第２図に示すように、走査信号ライン（
１２）自身の有する線抵抗値の合成抵抗Ｒ（４９）と走
査信号ライン（１２）相互間に形成される漂遊コンデン
サーの合成コンデンサーＣ（５０）を並列接続した電気
的等価回路（５１）で表わすことができる。

この等価回路（５１）に電圧Ｅ　（４７）を印加すると
。

流れる電流Ｉ　（４８）は過渡現象を呈して時間的変化
をすることが知られている。したがって、合成抵抗（＝
Ｅ／Ｉ）も時間的に変化する。

第２図において。

合成コンデンサーＣ（５０）を流れる電流ＩＣ（５２）
＝Ｅ／Ｒｏ−ｅＴ合成抵抗Ｒ（４９）を流れる電流ＩＲ
（５３）：Ｅ／Ｒ，＋Ｒ但し、Ｒｏ（５４）・・・検査
ＩＮライン（２４）、検査ＯＵＴライン（２５）および
検査装置（２３）の有する抵抗の総和で、一般にＲ６＜：Ｒ（４９）のためＲ８＋Ｒ：Ｒとしても支障な
い。

ｅ・・・自然定数＝２．７１８２８・・・・・・　−ｔ
・・・電圧Ｅ　（４７）を印加してからの経過時間Ｔ・・・合成容量Ｃ（ＳＯ）と、抵抗Ｒ８（５４）の値
を乗じたＴ＝ＣＲ，で表わされ１時定数と呼称される電気的定数。

上記より、電流Ｉ　（４８）＝　Ｉ。（５２）　＋　Ｉ　Ｒ（５３
）＝Ｅ　／　Ｒｏ’　ｅ　　Ｔ＋　Ｅ　／　Ｒｅ　＋　
Ｒ・・・（５５）となり。

Ｉ　Ｃ（５２）が時間の経過と共に指定函数的に減少し
、電流Ｉ　（４８）は第３図に示すように時間の経過と
共に、定常電流でもある電流Ｉ　Ｒ（５３）に近付く、
なお、減少の変化状態は時定数Ｔの値が小さい程急峻に
減少し、逆に時定数Ｔの値が大きい程緩慢に減少変化す
る。

したがって、検査表［（２３）によって算出される走査
信号ライン（１２）の合成抵抗Ｒ，（５６）は、Ｒ，＝
Ｅ／Ｉで算出されるため、電流Ｉ　（４８）の変化によ
って合成抵抗Ｒ１（５６）は変動し安定するまでには時
間がかかるので、どの時点での値を検査対象の値とする
かは非常に重要なことである。

ところで、電流Ｉ　（４８）を表わす式（５５）中の、
−工ｅｌ　は時間に対する減少状況を表わしており、ＬとＴ
の関係により例えば下記の値になる。

ｔ＝　　Ｔのとき　ｅ　−”　＝０．３６７８７９４４
１−ｔ　＝　２　Ｔ　　　　　　　ｅ−”　　＝０．１
３５３３５２８３−−・ｔ　＝　３　Ｔ　　　　　　　
ｅ−３＝０．０４９７８７０６８−ｔ　＝　４　Ｔ　　
　　　　　ｅ−’　　＝０．０１８３１５６３８−ｔ　
＝　５　Ｔ　　　　　　　ｅ−’　　＝０．００６７３
７９４６−−ｔ　＝　６　Ｔ　　　　　　　ｅ−”　　
＝０．００２４７８７５１−−−ｔ　＝　７　Ｔ　　　
　　　　ｅ−’　　＝０．０００９１１８８１−ｔ　＝
　８　Ｔ　　　　　　　ｅ−”　　＝０．０００３３５
４６２−ｔ　＝　９　Ｔ　　　　　　　ｅ””　　＝０
．０Ｏ０１２３４０９−ｔ　＝ＬＯＴ　　　　　　　ｅ
　−”　＝０．００００４５３９９−し＝１１Ｔ　　　
　　　ｅ−”＝０．００００１６７０１−ｔ　＝１２Ｔ
　　　　　　　ｅ−１２＝０．０００００６１４３−ｔ
　＝１３Ｔ　　　　　　　ｅ−”＝Ｏ，０Ｏ０００２２
５９−ｔ　＝１４Ｔ　　　　　　　ｅ−１４＝０．００
００００８３１−・ｔ　＝　１５Ｔ　　　　　　　ｅ　
−”　＝０．００００００３０５−そして、上記各を値
開における変化の度合を表わすと、それぞれ１に対して
。

ｔ＝Ｔ→２Ｔでは　−０，２３２５４４１５８・・・・
・・　　　　　　−０，０８５５４８２１５・・・・・
・　　　　　　　　　−０，０３１４７１４３０・・・
４Ｔ→５　Ｔ　　　　　−０，０１１，５７７６９２・
・・５Ｔ→６　Ｔ　　　　　−０，００４２５９１９５
・・・６Ｔ→７　Ｔ　　　　　−０，００１５６６８７
０・・・−０，０００５７６４１９・・・一〇、０００２１２０５３・・・９Ｔ→ＬＯＴ　　　　　−０，００００７８０１０・・
・−０，００００２８６９８・・・ −０，００００ＬＱ５５１１・・・ −０，０００００３１３８４・・・ −０，０Ｏ０００Ｌ４２８・・・１４Ｔ→１５Ｔ　　　　　−０，００００００５２６・
・・・・・　　　　　　　　　　　　　どなる。

」二記変化の度合を図で表わせば、第４図の如く変化し
、ｔ＝５ｔｍ度より後は上記変化は微少であり、はぼ安
定したと見なすことができる。

それ故、例えばｔ＝１０Ｔの時に検査を実行するものと
すると、この時の合成コンデンサー〇　（５０）を流れ
る電流１ｃ（５２）は、その最大値Ｅ　／　Ｒｏの約０
．００４５％の値である。そして、ｔ、＝１０Ｔの時の
Ｉｃ（５２）の変化率Ｋｉ（５７）＝ΔＩｃ／ΔＴを検
査装置（２３）にて算出する。

すなわち、電圧Ｅ　（４７）を印加した後、電流工（４
８）を所定の八Ｔなる時間でサンプリングしながら時々
刻々電流Ｉ　（４８）の変化率を自動的に算出し。

この変化率が例えば安定度指標に８以下になった時の電
流Ｉ　（４８）を、走査信号ライン（１２）の合成抵抗
Ｒ，＝Ｅ／Ｉを算出する際の電流Ｉ　（４８）と自動的
に設定する。

そして、検査装置（２３）によって合成抵抗Ｒ１を算出
し、このＲ１の値と所定の検査規格値Ｒ５とを比較して
、Ｒ１≦Ｒ９ならば断線無く検査合格、Ｒ、＞　Ｒｓな
らば断線有り検査不合格と判定する。

一般に、上記走査信号ライン（１２）の１本当りの線抵
抗値は高く、例えば１００にΩ程度、また２本間の漂遊
コンデンサーの容量値も太きく１００ＦＦ程度である。

したがって、上記安定度指標Ｋｓの値は、走査信号ライ
ン（１２）が８本の場合、Ｃ＝７００ＰＦ、Ｒ＝８００
にΩの擬似回路にて予め設定しておくことができる。ま
た、所定の検査規格値Ｒ８も例えばＲ，＝ＩＭΩとて設
定しておく。

一方、走査信号ライン（１２）　８本の内の何れかに１
箇所でも断線箇所が有れば上記電流Ｉ　（４８）は、Ｉ
　Ｃ（５２）は流れるがＩＲ（５３）は流れないので、
この時の合成抵抗Ｋ　１（５６）の抵抗値はほぼ無限大
と算出され、Ｒ２，＞　Ｒｓにより検査不合格と判定す
る。

上述の検査により合格判定の際は、それ以後の検査は不
要であるが、不合格判定の際は、走査信号ライン（１２
）を例えば２つの群に分け、各々の群内を同時に検査す
る。

具体的には、先ず、スイッチＳ　Ｌ　（１５）を検査Ｉ
Ｎライン（２４）側に切換接続し、スイッチＳＬ’Ｘ（
４０）、　Ｓ　２　Ｘ（２６）、Ｓ　３’　Ｘ（４２）
を閉じ、また、スイッチＳ　４　（１８）を検査０ＬＩ
Ｔライン（２５）側に切換接続して、上述した要領にて
検査を実行する。

この時、検査しようとする走査信号ライン（１２）数は
４本であり、上記８本の場合と比較して、線抵抗の合成
抵抗Ｒ（４９）は約４００にΩ、合成コンデンサー（５
０）は約３００ＰＦとなっている。

そこで、走査（９号ライン（１２）が８本の場合の安定
度指標Ｋｓをそのまま採用した場合、電流Ｉ　（４８）
の変化、すなわち合成コンデンサー〇　（５０）を流れ
る電流工。（５２）の変化は、この時の時定数Ｔ＝ＣＲ
ｏが８本の時と比べて３／７に減少しているので、８本
の時と比べてｔ＝１０Ｔの値は小さく短時間で変化率に
工（５７）≦Ｋｔ、どなる。この時の電流工。（５２）
は、印加電圧Ｅ　（４７）が一定だから、その最大値Ｅ
／Ｒｏの約０．００４５％の値となり、走査信号ライン
（１２）が８本の場合と同一である。

さらに、合成抵抗Ｒ（４９）は８本の時と比べて約８０
０　ＫΩから約４００にΩにと減少しているので１合成
抵抗Ｒ（４９）を流れる電流Ｉ　Ｒ（５３）は増加する
。

故に、電流Ｉ　（４８）における、上記Ｅ／Ｒ，の約０
．００４５％という誤差は、８本の場合よりも小さくな
り、結果として検査装置（２３）によって算出される走
査信号ライン（１２）の合成抵抗Ｒ□＝Ｅ／Ｉの値の精
度は高くなる。

つまり、例えば検査しようとする走査信号ライン（１２
）の最大数にて安定度指標に８を設定しておけば、上記
走査信号ライン（１２）数が減少したときの検査は、精
度はより高くなり、短時間に実行でき、過不足のない適
正な検査時間を設定することができる。

上記検査の結果、検査合格と判定されれば、この群内の
検査は終るが、検査不合格と判定されたときには、この
群内をさらに２群に分けて各々の群内について同時に検
査を行い、走査信号ライン（１２）の断線箇所のあるも
−のが判明するまで、上記要領にて検査をくり返す。

なお、上記走査信号ライン（１２）の他の群４本の検査
は、上述の検査要領と同一のため省略する。

上記実施例では、各スイッチとしてリレー等の有接点型
式のものを使用したが、本発明は上記実施例に限定され
るものではなく、他の手段例えばＦＥＴ等の無接点スイ
ッチ等で構成してもよい。

〔発明の効果〕

上述したように本発明検査方法によれば、検査時間に過
不足のない適正な検査時間を自動的に設定することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明検査方法の一実施例を説明するための構
成図、第２図は第１図主要部の原理を説明するための図
、第３図は第２図の説明図、第４図は第２図の説明図、
第５図は従来例を示す図である。１２・・・走査信号ライン、１５〜２２．２６〜３１．３２〜３９．４０〜４６・・
・スイッチ、２３・・・検査装置、　　　　２４・・・
検査ＩＮライン、２５・・・検査ＯＵＴライン、　　４
７・・・印加電圧、４８・・・電流、　　　　　　４９
・・・合成抵抗、５０・・・合成コンデンサー、５７・
・・変化率。特許出願人　　チル九州株式会社第１図ジＵ鴫≧虐１　　　　　　　　　　走１イ謔シ４ケ第２
図第４図第５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）異なる容量のコンデンサーを有する被検査対象の
検査において、上記コンデンサーによって定まる変動値
の変化率を算出し、この変化率が設定値に達したときに
、上記検査を実行することを特徴とする検査方法。
（２）被検査対象は、ＬＣＤ基板上に形成された信号ラ
インであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の検査方法。
（３）検査は、断線の有無の検査であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の検査方法。
（４）変動値は、電流値であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の検査方法。
（５）変化率は、変動値の時間に対する変化の割合であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の検査方
法。