JPH01128484A - 高効率第二高調波発生レーザ発振器 - Google Patents
高効率第二高調波発生レーザ発振器Info
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- JPH01128484A JPH01128484A JP28588487A JP28588487A JPH01128484A JP H01128484 A JPH01128484 A JP H01128484A JP 28588487 A JP28588487 A JP 28588487A JP 28588487 A JP28588487 A JP 28588487A JP H01128484 A JPH01128484 A JP H01128484A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 230000010356 wave oscillation Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
- H01S3/109—Frequency multiplication, e.g. harmonic generation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
この発明は、高効率第二高調波発生レーザ発振器に関す
るものである。さらに詳しくは、この発明は、基本レー
ザ光を効率良く第二高調波に変換し、半分の波長を有す
るレーザ光を発振させる装置に関する。
るものである。さらに詳しくは、この発明は、基本レー
ザ光を効率良く第二高調波に変換し、半分の波長を有す
るレーザ光を発振させる装置に関する。
(背景技術)
近年、レーザ光の各種分野への応用は、ますよす盛んに
なっており、この応用の拡大にともなりて、レーザ光の
波長を変換しようとする試みが活発になされている。た
とえば、代表的な固体レーザ発振装置であるYAGレー
ザ装置の場合にも、加工用として使用する場合には、波
長が短い程、加工精度が上がるため、第二高調波発生素
子を使用して、その波長を半分にして使用する場合が多
くなっている。このYAGレーザ光の波長の変換に用い
る第二高調波発生素子としては、Li I O、KT
i OP O,i (KTP )等が知られており、
すでにこれらの素子を使用した装置も市販されている。
なっており、この応用の拡大にともなりて、レーザ光の
波長を変換しようとする試みが活発になされている。た
とえば、代表的な固体レーザ発振装置であるYAGレー
ザ装置の場合にも、加工用として使用する場合には、波
長が短い程、加工精度が上がるため、第二高調波発生素
子を使用して、その波長を半分にして使用する場合が多
くなっている。このYAGレーザ光の波長の変換に用い
る第二高調波発生素子としては、Li I O、KT
i OP O,i (KTP )等が知られており、
すでにこれらの素子を使用した装置も市販されている。
一般に、このような第二高調波発生素子の変換動作効率
は、入射レーザ光の強度に比例して高くなる性質がある
ため、この変換効率を高めるためには、レーザ光の出力
レベルを高くしなければならないことになる。このため
、従来より、Qスイッチを使用して、レーザ光のピーク
出力を上げたり、焦点距離の短いレンズを用いてレーザ
光を強力に集光させたりした後で、第二高調波発生素子
に入射させ、変換されて出てくるレーザ光の出力を上げ
るようにしている。
は、入射レーザ光の強度に比例して高くなる性質がある
ため、この変換効率を高めるためには、レーザ光の出力
レベルを高くしなければならないことになる。このため
、従来より、Qスイッチを使用して、レーザ光のピーク
出力を上げたり、焦点距離の短いレンズを用いてレーザ
光を強力に集光させたりした後で、第二高調波発生素子
に入射させ、変換されて出てくるレーザ光の出力を上げ
るようにしている。
しかしながら、Qスイッチを使用したパルス出力のレー
ザ発振器の場合のように、レーザ光のピーク出力が大き
い場合には比較的容易に高い変換効率を得ることも可能
であるが、連続波発振のレーザ発振器の場合には、出力
レベルがパルスレーザに比べて′If!端に低いので、
高い変換効率は得られないことが知られている。
ザ発振器の場合のように、レーザ光のピーク出力が大き
い場合には比較的容易に高い変換効率を得ることも可能
であるが、連続波発振のレーザ発振器の場合には、出力
レベルがパルスレーザに比べて′If!端に低いので、
高い変換効率は得られないことが知られている。
このような問題に対処するために、非線型光学素子を共
発振器の内部に設置し、基本波を繰り返し非線型光学素
子中を通過させて変換効率を上昇させる試みがなされて
きている。たとえば、非線型光学素子としてBNN (
Ba 2Na Nb 5015)を使用して、変換効率
として 100%の高い効率も得られている。
発振器の内部に設置し、基本波を繰り返し非線型光学素
子中を通過させて変換効率を上昇させる試みがなされて
きている。たとえば、非線型光学素子としてBNN (
Ba 2Na Nb 5015)を使用して、変換効率
として 100%の高い効率も得られている。
しかしながら、このような試みにも限界があった。この
BNNの場合には、いわゆる90度位相整合と呼ばれる
方式を採用しており、高い変換効率が得られているが、
角度位相整合の方式による場合には、いわゆるウオーク
オフ効果と呼ばれる要因のなめに変換効率が高くならず
、従来はせいぜい2O%程度の変換効率しか得られてい
なかった。角度位相整合による方式は、実用的にも極め
て重要な方式であることからも、この方式による高い変
換効率でのレーザ光の波長変換の実現が望まれていた。
BNNの場合には、いわゆる90度位相整合と呼ばれる
方式を採用しており、高い変換効率が得られているが、
角度位相整合の方式による場合には、いわゆるウオーク
オフ効果と呼ばれる要因のなめに変換効率が高くならず
、従来はせいぜい2O%程度の変換効率しか得られてい
なかった。角度位相整合による方式は、実用的にも極め
て重要な方式であることからも、この方式による高い変
換効率でのレーザ光の波長変換の実現が望まれていた。
(発明の目的)
この発明は、以上の通りの事情を踏まえてなされたもの
であり、従来法の欠点を改善し、高い変換効率を得るこ
とができるとともに、良質なレーザビームを得ることの
できる第二高調波発生素子を備えてなるレーザ発振装置
を提供することを目的としている。
であり、従来法の欠点を改善し、高い変換効率を得るこ
とができるとともに、良質なレーザビームを得ることの
できる第二高調波発生素子を備えてなるレーザ発振装置
を提供することを目的としている。
(発明の開示)
この発明は、上記の目的を実現するために、共振器内部
に非線型光学結晶体から形成される第二高調波発生素子
を設けて基本波の半分の波長を有するレーザ光を発生さ
せるレーザ発振器において、第二高調波発生素子として
角度位相整き型非線型光学結晶を備え、レーザ光の径と
非線型光学結晶の長さとの調整系を設けてなることを特
徴とする角度位相整合方式による高効率第二高調波発生
レーザ発振器を提供する。
に非線型光学結晶体から形成される第二高調波発生素子
を設けて基本波の半分の波長を有するレーザ光を発生さ
せるレーザ発振器において、第二高調波発生素子として
角度位相整き型非線型光学結晶を備え、レーザ光の径と
非線型光学結晶の長さとの調整系を設けてなることを特
徴とする角度位相整合方式による高効率第二高調波発生
レーザ発振器を提供する。
この発明のレーザ発振器においては、共振器から発生さ
せたレーザ光を非線型光学結晶体から形成した第二高調
波発生素子に入射させてレーザ光の波長を変換するが、
この際の非線型光学結晶体としては、角度位相整合型の
結晶を用いる。このような結晶としては、たとえば、K
Ti OPO4(KTP)、β−Ba B2O4 (B
BO)、さらにはKDP、KD”P、ADP、RDPな
どの結晶を用いることができる。
せたレーザ光を非線型光学結晶体から形成した第二高調
波発生素子に入射させてレーザ光の波長を変換するが、
この際の非線型光学結晶体としては、角度位相整合型の
結晶を用いる。このような結晶としては、たとえば、K
Ti OPO4(KTP)、β−Ba B2O4 (B
BO)、さらにはKDP、KD”P、ADP、RDPな
どの結晶を用いることができる。
角度位相整合型の非線型光学結晶体を用いて、レーザ光
のビーム径とこの結晶体との長さを調整することにより
、高効率の第二高調波発生を実現するが、この場合、従
来の90度位相整合の場合とは異って、いわゆるウオー
クオフ効果による作用を考慮することが必要となる。
のビーム径とこの結晶体との長さを調整することにより
、高効率の第二高調波発生を実現するが、この場合、従
来の90度位相整合の場合とは異って、いわゆるウオー
クオフ効果による作用を考慮することが必要となる。
すなわち、非線型光学結晶は複屈折性結晶であるが、こ
のような結晶中においては、一般に等位相波面の進行方
向とエネルギーの伝播する光線方向とが一致せず、ずれ
が生じる。これをウオークオフ効果と呼ぶが、この効果
が生ずると、非線型光学結晶のある規定された長さ部分
しか作用効果がなく、長い単結晶を非線型光学素子とし
て使用しても効率は良くならない。
のような結晶中においては、一般に等位相波面の進行方
向とエネルギーの伝播する光線方向とが一致せず、ずれ
が生じる。これをウオークオフ効果と呼ぶが、この効果
が生ずると、非線型光学結晶のある規定された長さ部分
しか作用効果がなく、長い単結晶を非線型光学素子とし
て使用しても効率は良くならない。
この発明においては、このようなウオークオフ効果をも
考慮して、最も高い変換効率を得るように、レーザ光の
径と、角度位相整合型非線型結晶の長さとを調整する。
考慮して、最も高い変換効率を得るように、レーザ光の
径と、角度位相整合型非線型結晶の長さとを調整する。
より具体的には、たとえば集光用コリメートレンズ系等
を用いて調整する。
を用いて調整する。
この場合、次式(a)
A:レーザ装置規定定数
ρ:ニラオークオフ
d:非線型光学結晶の非線型光学定数
n:非線型光学結晶中の屈折率
の関係を満たすように、レーザ媒体中のレーザ光の直径
りが得られるようにする。なお、Aはレーザ発振器固有
の定数で、たとえば、YAGレーザの場合2.8xlO
’、アルゴンレーザで2.9xlO’程度である。また
、このような条件下において、次式(b) の関係に沿って、非線型光学結晶の長さしと、非線型光
学結晶中のレーザ光の直径り。とを調整することができ
る。
りが得られるようにする。なお、Aはレーザ発振器固有
の定数で、たとえば、YAGレーザの場合2.8xlO
’、アルゴンレーザで2.9xlO’程度である。また
、このような条件下において、次式(b) の関係に沿って、非線型光学結晶の長さしと、非線型光
学結晶中のレーザ光の直径り。とを調整することができ
る。
上記式(a)(b)に関連して、ρ(ウオークオフ角)
、d(非線型定数)、n(屈折率)について例示すると
、次の表のようになる。
、d(非線型定数)、n(屈折率)について例示すると
、次の表のようになる。
この発明のレーザ発振器は、添けした図面の第1図に示
したような構成とすることができる。たとえば、この第
1図に示したように、レーザ発振素子(1)、出力ミラ
ー(2)および平面全反射ミラー(3)を有し、この出
力ミラー(2)と平面全反射ミラー(3)との間に、集
光用コリメートレンズ(4)および非線型光学結晶を用
いた第二高調波発生素子(5)を設けることができる。
したような構成とすることができる。たとえば、この第
1図に示したように、レーザ発振素子(1)、出力ミラ
ー(2)および平面全反射ミラー(3)を有し、この出
力ミラー(2)と平面全反射ミラー(3)との間に、集
光用コリメートレンズ(4)および非線型光学結晶を用
いた第二高調波発生素子(5)を設けることができる。
なお、コリメート用のレンズ系として第2図(a)(b
)(c)に示したようなものを用いることもできる。す
なわち、 (a) 出力ミラーの前に、凸レンズおよび凹レンズ
を配する。
)(c)に示したようなものを用いることもできる。す
なわち、 (a) 出力ミラーの前に、凸レンズおよび凹レンズ
を配する。
<b> 出力ミラーの前に、凸レンズを配する。
(c) 出力ミラーの前に、二つの凹面鏡を配する。
次に、第1図を参照しつつ、この発明のレーザ発振器に
ついて、実施例を示す。
ついて、実施例を示す。
実施例 1
第1図に示した装置の構成において、第二高調波発生素
子としてBBOを用い、YAGロッドをレーザ発振素子
とした。
子としてBBOを用い、YAGロッドをレーザ発振素子
とした。
このYAGロッド中のレーザビームの径(D>は、装置
の定数(A)を2.8x 10 ’とすると、D≧9.
2關となる。この条件下で、最も高い変換効率を得るた
めには、前述の式(b)に従って、L=152Do/D
の関係を満足すればよい。
の定数(A)を2.8x 10 ’とすると、D≧9.
2關となる。この条件下で、最も高い変換効率を得るた
めには、前述の式(b)に従って、L=152Do/D
の関係を満足すればよい。
このため、このL=152Do/Dに沿って、非線型光
学結晶の長さ(L)と、非線型光学結晶中のレーザ光の
径(Do)とをコリメートレンズを用いて調整した。変
換効率は、100%であった。
学結晶の長さ(L)と、非線型光学結晶中のレーザ光の
径(Do)とをコリメートレンズを用いて調整した。変
換効率は、100%であった。
実施例 2
非線型光学結晶として、KTPを用いた。実施例1と同
様にして、YAGロッド中のレーザ光の径(D)は、D
≧O,,44n+nとなる。
様にして、YAGロッド中のレーザ光の径(D)は、D
≧O,,44n+nとなる。
この条f士下で最も高い変換効率を得るための条件は、
L=22.3Do/Dとなる。
L=22.3Do/Dとなる。
非線型光学結晶の長さ(L)とこの結晶中のレーザ光の
径(D。)とを、この関係に沿ってコリメートレンズを
用いて!l整した。80%を越える高い変換効率が得ら
れた。この効率は、従来のものの513にも達する高い
効率である。
径(D。)とを、この関係に沿ってコリメートレンズを
用いて!l整した。80%を越える高い変換効率が得ら
れた。この効率は、従来のものの513にも達する高い
効率である。
(発明の効果)
この発明により、以上詳しく説明したように、共振?利
の内部に角度位相整合型非線型光学結晶からなる素子を
設け、レーザ光の径と非線型光学結晶の長さを調整する
ことにより、高い変換効率によって第二高調波が実現さ
れる。
の内部に角度位相整合型非線型光学結晶からなる素子を
設け、レーザ光の径と非線型光学結晶の長さを調整する
ことにより、高い変換効率によって第二高調波が実現さ
れる。
このようなレーザ発振装置は、学術界においては、生物
学、化学等の分野で主として用いられるスペクトロスコ
ピーや、光化学反応等の光源として、また、産業界にお
いては、精密加工用光源あるいは精密計測用光源として
極めて有用なものである。
学、化学等の分野で主として用いられるスペクトロスコ
ピーや、光化学反応等の光源として、また、産業界にお
いては、精密加工用光源あるいは精密計測用光源として
極めて有用なものである。
第1図は、この発明の装置の構成例を示したブロック図
である。 第2図(a)(b)(c)は、各々、コリメート用レン
ズ系の例を示した配置図である。 1・・・レーザ発振素子 2・・・出力ミラー 3・・・平面全反射ミラー 4・・・集光用コリメートレンズ 5・・・第二高調波発生素子 代理人弁理士 西 澤 利 大筒 2 図
である。 第2図(a)(b)(c)は、各々、コリメート用レン
ズ系の例を示した配置図である。 1・・・レーザ発振素子 2・・・出力ミラー 3・・・平面全反射ミラー 4・・・集光用コリメートレンズ 5・・・第二高調波発生素子 代理人弁理士 西 澤 利 大筒 2 図
Claims (3)
- (1)共振器内部に非線型光学結晶体から形成される第
二高調波発生素子を設けて基本波の半分の波長を有する
レーザ光を発生させるレーザ発振器において、第二高調
波発生素子として角度位相整合型非線型光学結晶を備え
、レーザ光の径と非線型光学結晶の長さとの調整系を設
けてなることを特徴とする角度位相整合方式による高効
率第二高調波発生レーザ発振器。 - (2)非線型光学結晶として、 β−BaB_2O_4またはKTiOPO_4結晶を用
いる特許請求の範囲第(1)項記載の高効率第二高調波
発生レーザ発振器。 - (3)集光用コリメートレンズを用いる特許請求の範囲
第(1)項記載の高効率第二高調波発生レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28588487A JPH01128484A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 高効率第二高調波発生レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28588487A JPH01128484A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 高効率第二高調波発生レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128484A true JPH01128484A (ja) | 1989-05-22 |
Family
ID=17697272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28588487A Pending JPH01128484A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 高効率第二高調波発生レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128484A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004214674A (ja) * | 2003-01-06 | 2004-07-29 | Unitek Miyachi Internatl Ltd | 光高調波発生装置及び方法 |
| JP2007133445A (ja) * | 2007-02-23 | 2007-05-31 | Sony Corp | 波長変換装置 |
| US20120012759A1 (en) * | 2007-12-07 | 2012-01-19 | Hiroyuki Furuya | Wavelength conversion laser light source, laser light source device and two-dimensional image display device adopting the same, and method of setting temperature of wavelength conversion element |
| CN102485361A (zh) * | 2010-12-01 | 2012-06-06 | 东港市低压电器附件厂 | 一种食品垃圾环保处理机 |
| CN103782458A (zh) * | 2011-07-22 | 2014-05-07 | 科磊股份有限公司 | 具有高质量、稳定输出光束及长寿命高转换效率的非线性晶体的激光器 |
| JP2014517514A (ja) * | 2011-05-09 | 2014-07-17 | トルンプフ レーザー マーキング システムズ アクチエンゲゼルシャフト | 周波数変換されたレーザビームを形成するためのレーザ共振器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62104092A (ja) * | 1985-04-17 | 1987-05-14 | クワントロニツクス コ−ポレ−シヨン | 周波数2倍レ−ザ |
| JPS62189783A (ja) * | 1985-12-19 | 1987-08-19 | スペクトラ−フイジツクス・インコ−ポレイテツド | レ−ザ−ダイオ−ドポンピング固体レ−ザ− |
-
1987
- 1987-11-12 JP JP28588487A patent/JPH01128484A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS62104092A (ja) * | 1985-04-17 | 1987-05-14 | クワントロニツクス コ−ポレ−シヨン | 周波数2倍レ−ザ |
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