JPH01128581A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH01128581A JPH01128581A JP28810587A JP28810587A JPH01128581A JP H01128581 A JPH01128581 A JP H01128581A JP 28810587 A JP28810587 A JP 28810587A JP 28810587 A JP28810587 A JP 28810587A JP H01128581 A JPH01128581 A JP H01128581A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- laser medium
- blower
- gas
- laser tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はＴＥＡＣＯ２レーザヤエキシマレーザなどの
ガスレーザ装置に関する。
ガスレーザ装置に関する。
（従来の技術）
一般に、ガスレーザ装置は密閉容器からなるレーザ管を
備えている。このレーザ管内には陰橿と陽極となる一対
の主ｉ！極が離間対向して配設されている。また、レー
ザ管内には送風機が設けられ、この送風機によって上記
レーザ管内に収容されたガスレーザ媒質が強ｉｌｌ的に
循環させられる。
備えている。このレーザ管内には陰橿と陽極となる一対
の主ｉ！極が離間対向して配設されている。また、レー
ザ管内には送風機が設けられ、この送風機によって上記
レーザ管内に収容されたガスレーザ媒質が強ｉｌｌ的に
循環させられる。
そして、そのレーザ媒質ガスを上記一対の主電極間で生
じるグロー放電で励起してレーザ光を発振させるように
なっている。
じるグロー放電で励起してレーザ光を発振させるように
なっている。
ところで、このようなガスレーザ装置においては、レー
ザ管内部の部品の交換時や修理点検時などのように一時
的ではあるがその密閉な内部空間を開放した場合や密閉
状態ではあっても長期間にわたって放置した場合には、
レーザ管内をガスレーザ媒質のみで充満する必要が生じ
、ガスの置換が十分に行われる。この置換が不十分な場
合には主電極間に放電を発生させても、グロー放電が生
じず、アーク放電などの異常放電が生じてレーザ光が発
振されないばかりか、主電極やその他の部品が損傷する
などの問題がある。
ザ管内部の部品の交換時や修理点検時などのように一時
的ではあるがその密閉な内部空間を開放した場合や密閉
状態ではあっても長期間にわたって放置した場合には、
レーザ管内をガスレーザ媒質のみで充満する必要が生じ
、ガスの置換が十分に行われる。この置換が不十分な場
合には主電極間に放電を発生させても、グロー放電が生
じず、アーク放電などの異常放電が生じてレーザ光が発
振されないばかりか、主電極やその他の部品が損傷する
などの問題がある。
上記ガスレーザ媒質の置換は、従来ではガスレーザ媒質
をレーザ管内に単に供給するだけであったので、このレ
ーザ管内がガスレーザ媒質で確実に置換されたかどうか
をＭ１認することができながった。そのため、必要以上
に多量のガスレーザ媒質を供給してしまい、極めて不経
済であるばかりか、所定量のガスレーザ媒質を供給して
も、確実に置換されていないことがあり、そのような場
合には異常放電によるレーザ装置の損傷を招くことにな
る。
をレーザ管内に単に供給するだけであったので、このレ
ーザ管内がガスレーザ媒質で確実に置換されたかどうか
をＭ１認することができながった。そのため、必要以上
に多量のガスレーザ媒質を供給してしまい、極めて不経
済であるばかりか、所定量のガスレーザ媒質を供給して
も、確実に置換されていないことがあり、そのような場
合には異常放電によるレーザ装置の損傷を招くことにな
る。
（発明が解決しようとする問題点）
このように、従来のガスレーザ装置においては、レーザ
管内がガスレーザ媒質に置換されたかどうかを確認する
ことができなかったので、ガスレーザ媒質を必要以上に
供給してしまったり、確実に置換されていな状態で異常
放電を発生させ、種々の部品を損傷させるなどのことが
あった。
管内がガスレーザ媒質に置換されたかどうかを確認する
ことができなかったので、ガスレーザ媒質を必要以上に
供給してしまったり、確実に置換されていな状態で異常
放電を発生させ、種々の部品を損傷させるなどのことが
あった。
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、レーザ管内がガスレーザ媒質に置換
されているかどうかを確実に検知できるようにしたガス
レーザ装置を提供することにある。
的とするところは、レーザ管内がガスレーザ媒質に置換
されているかどうかを確実に検知できるようにしたガス
レーザ装置を提供することにある。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、レーザ管と、このレーザ管
に充満されたガスレーザ媒質を強制的に循環させる送気
手段と、この送気手段を駆動するための電力を供給する
電源と、上記送気手段に加わる負荷に応じて変動する上
記送気手段の消費電力を検知する検知手段とを具備する
。そして、レーザ管内のガスレーザ媒質の濃度に応じた
比重の変化を送気手段に加わる負荷の変動によって検出
し、それによりレーザ管内がガスレーザ媒質に置換され
ているかどうかを判別する。
解決するためにこの発明は、レーザ管と、このレーザ管
に充満されたガスレーザ媒質を強制的に循環させる送気
手段と、この送気手段を駆動するための電力を供給する
電源と、上記送気手段に加わる負荷に応じて変動する上
記送気手段の消費電力を検知する検知手段とを具備する
。そして、レーザ管内のガスレーザ媒質の濃度に応じた
比重の変化を送気手段に加わる負荷の変動によって検出
し、それによりレーザ管内がガスレーザ媒質に置換され
ているかどうかを判別する。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図に示すガスレーザ装置は断面が円形をなした密閉
容器からなるレーザ管１を備えている。このレーザ管１
内には導電性の材料からなる上部保持板２と下部保持板
３とが上下方向に離間対向して配設されている。上部保
持板２の下面には主電極を構成する陰極４が取付けられ
、下部保持板３の上面には同じく主電極を構成する陽極
５が取付けられている。また、上記レーザ管１内にはＣ
Ｏ２、Ｎ２、Ｈｅなどあるいはト１ｅ、Ｘｅ％ＨＣｊ２
の混合ガスなどのガスレーザ媒質が収容されている。こ
のガスレーザ媒質はレーザ管１内に配設された送気手段
としての送風機６によって図中矢示方向に強制循環させ
られるとともに、上記陰極４と陽極５との間の放電空間
部７を通過したのち、熱交換器８によって冷却されるよ
うになっている。
容器からなるレーザ管１を備えている。このレーザ管１
内には導電性の材料からなる上部保持板２と下部保持板
３とが上下方向に離間対向して配設されている。上部保
持板２の下面には主電極を構成する陰極４が取付けられ
、下部保持板３の上面には同じく主電極を構成する陽極
５が取付けられている。また、上記レーザ管１内にはＣ
Ｏ２、Ｎ２、Ｈｅなどあるいはト１ｅ、Ｘｅ％ＨＣｊ２
の混合ガスなどのガスレーザ媒質が収容されている。こ
のガスレーザ媒質はレーザ管１内に配設された送気手段
としての送風機６によって図中矢示方向に強制循環させ
られるとともに、上記陰極４と陽極５との間の放電空間
部７を通過したのち、熱交換器８によって冷却されるよ
うになっている。
上記上部保持板２の陰極４の両側には上部ビン電極９が
ピーキングコンデンサ１１を介して設けられ、上記下部
保持板３の陽極５の両側には上記上部ビン電極９と対応
して下部ビン電極１２が設けられている。上記上部保持
板２と下部保持板３とは放電用の高圧電源１３に接続さ
れている。そして、この高圧電源１３が作動すると、上
記一対のビン電極９．１２間で予備放電が発生するとと
もに、その予備放電が十分に進んで陰極４の電位が上昇
すると、この陰極４と上記間１ｆｉ５との間で主放電が
発生するようになっている。
ピーキングコンデンサ１１を介して設けられ、上記下部
保持板３の陽極５の両側には上記上部ビン電極９と対応
して下部ビン電極１２が設けられている。上記上部保持
板２と下部保持板３とは放電用の高圧電源１３に接続さ
れている。そして、この高圧電源１３が作動すると、上
記一対のビン電極９．１２間で予備放電が発生するとと
もに、その予備放電が十分に進んで陰極４の電位が上昇
すると、この陰極４と上記間１ｆｉ５との間で主放電が
発生するようになっている。
また、上記レーザ管１にはガスレーザ媒質の供給源１４
が電磁式の供給弁１５を介装した供給管１６によって接
続され、また排気管１７が排出弁１８を介して接続され
ている。
が電磁式の供給弁１５を介装した供給管１６によって接
続され、また排気管１７が排出弁１８を介して接続され
ている。
一方、上記送風機６には低圧電源１９が接続されている
。この低圧電源１９は上記送風機６に電力を供給し、こ
れを回転駆動するようになっている。また、この低圧電
ｒＡ１９には上記送風機６に供給される電力の電圧と電
流を測定表示する電圧計２１と電流計２２とが設けられ
ている。この電流計２２で測定された測定値は比較部２
３で設定値と比較され、これらの間に所定以上の差があ
るときにはそのことが駆動部２４に入力され、それによ
ってこの駆動部２４から上記供給弁１５と排出弁１８と
に駆動信号が出力されるようになっている。
。この低圧電源１９は上記送風機６に電力を供給し、こ
れを回転駆動するようになっている。また、この低圧電
ｒＡ１９には上記送風機６に供給される電力の電圧と電
流を測定表示する電圧計２１と電流計２２とが設けられ
ている。この電流計２２で測定された測定値は比較部２
３で設定値と比較され、これらの間に所定以上の差があ
るときにはそのことが駆動部２４に入力され、それによ
ってこの駆動部２４から上記供給弁１５と排出弁１８と
に駆動信号が出力されるようになっている。
つぎに、上記構造のガスレーザ装置のレーザ管１に新た
なガスレーザ媒質を供給する場合について説明する。ま
ず、低圧電源１９によって送風機６を作動させたときに
、この送ｆｆ１機６に加わる負荷は、ガスレーザ媒質の
比重が空気よりも軽いと、レーザ管１内のレーザ媒質ガ
スの濃度が増すにつれて減少することになる。そこで、
電流計２２の電流値が入力される比較部２３にはガスレ
ーザ媒質の濃度がほぼ１００％のときに送風機６に加わ
る負荷に応じた電流値を設定値として設定する。
なガスレーザ媒質を供給する場合について説明する。ま
ず、低圧電源１９によって送風機６を作動させたときに
、この送ｆｆ１機６に加わる負荷は、ガスレーザ媒質の
比重が空気よりも軽いと、レーザ管１内のレーザ媒質ガ
スの濃度が増すにつれて減少することになる。そこで、
電流計２２の電流値が入力される比較部２３にはガスレ
ーザ媒質の濃度がほぼ１００％のときに送風機６に加わ
る負荷に応じた電流値を設定値として設定する。
また、電流計２２の測定値が比較部２３の設定値よりも
大きな場合に駆動部２４から駆動信号が出力されるよう
にしておく。
大きな場合に駆動部２４から駆動信号が出力されるよう
にしておく。
そして、レーザ管１内をガスレーザ媒質に置換するには
、まず送１ｉＩ機６を作動させる。すると、レーザ管１
内は空気が流入しているため、その比重が濃度１００％
のガスレーザ媒質に比べて高いから、駆動部２４から供
給弁１５と排出弁１８とに駆動信号が出力される。それ
によってこれらの弁１５．１８が開き、供給ｇｉ１４か
らレーザ管１内へガスレーザ媒質が供給されるとともに
、レーザ管１内の空気や純度の低いガスレーザ媒質は排
出弁１８から排出されることになる。
、まず送１ｉＩ機６を作動させる。すると、レーザ管１
内は空気が流入しているため、その比重が濃度１００％
のガスレーザ媒質に比べて高いから、駆動部２４から供
給弁１５と排出弁１８とに駆動信号が出力される。それ
によってこれらの弁１５．１８が開き、供給ｇｉ１４か
らレーザ管１内へガスレーザ媒質が供給されるとともに
、レーザ管１内の空気や純度の低いガスレーザ媒質は排
出弁１８から排出されることになる。
このようにしてガスレーザ媒質を供給し、レーザ管１内
のガスレーザ媒質濃度が上昇してくると、そのレーザ管
１内のガスの比重が低下してくるから、送風機６に加わ
る負荷が減少してくる。そして、レーザ管１内のガスレ
ーザ媒質の濃度がほぼ１００％になると、送風機６に流
れる電流値が比較部２３に設定された設定値とほぼ同じ
になる。
のガスレーザ媒質濃度が上昇してくると、そのレーザ管
１内のガスの比重が低下してくるから、送風機６に加わ
る負荷が減少してくる。そして、レーザ管１内のガスレ
ーザ媒質の濃度がほぼ１００％になると、送風機６に流
れる電流値が比較部２３に設定された設定値とほぼ同じ
になる。
づると、駆動部２４から供給弁１５と排出弁１８とに駆
動信号が出なくなり、これらの弁１５．１８が閉じる。
動信号が出なくなり、これらの弁１５．１８が閉じる。
したがって、ガスレーザ媒質のレーザ管１への供給と、
このレーザ管１からの排出とが停止されることになる。
このレーザ管１からの排出とが停止されることになる。
つまり、レーザ管１内がガスレーザ媒質にほぼ１００％
置換されると、直ちにガスレーザ媒質の供給が停止され
ることになるから、ガスレーザ媒質を必要以上に供給し
たり、置換を確実に行なえないなどのことがない。
置換されると、直ちにガスレーザ媒質の供給が停止され
ることになるから、ガスレーザ媒質を必要以上に供給し
たり、置換を確実に行なえないなどのことがない。
なお、上記一実施例ではガスレーザ媒質の比重が空気゛
よりも小さな場合について述べたが、空気よりも大きな
場合には、ガスレーザ媒質の濃度が増すにつれて送風機
に加わる負荷が増大し、消費電流も増大することになる
から、それに応じて比較部の設定値を設定すればよい。
よりも小さな場合について述べたが、空気よりも大きな
場合には、ガスレーザ媒質の濃度が増すにつれて送風機
に加わる負荷が増大し、消費電流も増大することになる
から、それに応じて比較部の設定値を設定すればよい。
また、ガスレーザ媒質の供給は弁を自動で制御せずに、
電流計の電流値を見ながら手動で行なうようにしてもよ
い。なお、その他電圧、電力の測定値によって検知する
ようにしてもよい。
電流計の電流値を見ながら手動で行なうようにしてもよ
い。なお、その他電圧、電力の測定値によって検知する
ようにしてもよい。
［発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、ガスレーザ媒質を強制的
に循環させる送気手段の消費電力を検知し、その検知信
号によってレーザ管内のガスレーザ媒質の置換状態を確
実に知ることができるようにした。したがって、レーザ
管内にガスレーザ媒質を必要以上に供給したり、確実に
置換されていない状態で放電を開始させてしまうなどの
ことを防ぐことができる。
に循環させる送気手段の消費電力を検知し、その検知信
号によってレーザ管内のガスレーザ媒質の置換状態を確
実に知ることができるようにした。したがって、レーザ
管内にガスレーザ媒質を必要以上に供給したり、確実に
置換されていない状態で放電を開始させてしまうなどの
ことを防ぐことができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すガスレーザ装置の概
略図である。 １・・・レーザ管、４・・・陰橿、５・・・陽極、１５
・・・供給弁、１８・・・排出弁、１９・・・低圧電源
（電源）、２２・・・電流計、２３・・・比較部、２４
・・・駆動部。 １−−−レープ管 第１図
略図である。 １・・・レーザ管、４・・・陰橿、５・・・陽極、１５
・・・供給弁、１８・・・排出弁、１９・・・低圧電源
（電源）、２２・・・電流計、２３・・・比較部、２４
・・・駆動部。 １−−−レープ管 第１図
Claims (1)
- レーザ管と、このレーザ管に充満されたガスレーザ媒
質を強制的に循環させる送気手段と、この送気手段を駆
動するための電力を供給する電源と、上記送気手段に加
わる負荷に応じて変動する上記送気手段の消費電力を検
知する検知手段とを具備したことを特徴とするガスレー
ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28810587A JPH01128581A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28810587A JPH01128581A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128581A true JPH01128581A (ja) | 1989-05-22 |
Family
ID=17725862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28810587A Pending JPH01128581A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128581A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1870971A1 (en) * | 2006-06-22 | 2007-12-26 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
| US7664154B2 (en) | 2004-04-21 | 2010-02-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Gas laser oscillator and gas laser beam machine |
| US8897331B2 (en) | 2012-05-18 | 2014-11-25 | Panasonic Corporation | Lasing device |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP28810587A patent/JPH01128581A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7664154B2 (en) | 2004-04-21 | 2010-02-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Gas laser oscillator and gas laser beam machine |
| EP1870971A1 (en) * | 2006-06-22 | 2007-12-26 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
| US7551661B2 (en) | 2006-06-22 | 2009-06-23 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
| US8897331B2 (en) | 2012-05-18 | 2014-11-25 | Panasonic Corporation | Lasing device |
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