JPH01129258U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施態様を例示し、第１図は搬
送装置の平面図、第２図は同正面図、第３図は第
１図の部を拡大して示す中継送り手段の中央横
断面図、第４図は第３図の―線における断面
図、第５図は第３図の―線における断面図、
第６図は真空槽が適用される成膜設備の概要を示
す縦断面図である。 １……搬送装置、２……中継送り手段、３……
基台、４……駆動側軸受体、５……従動側軸受体
、６……案内ローラ、７……駆動手段、１４……
駆動軸、１４ｂ……多角形断面部、１５……送り
ローラ、１６……従動軸、１９……傘歯車機構、
５３……真空槽（加熱用）、５３ａ……底板、５
４……真空槽（成膜処理用）、Ｄ……間隔、Ｔ…
…搬送方向、Ｘ_１，Ｘ_２……軸心、Ｓ……隙間、
Ｐ……被搬送物。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 加熱手段を備えた真空槽内部の両側に、それぞ
   れ複数の中継送り手段が被搬送物の搬送可能な間
   隔を保つて搬送方向に配設され、該各中継送り手
   段は真空槽の底板上に固設した基台に軸心を互い
   に交叉せしめた駆動側軸受体および従動側軸受体
   と、前記被搬送物の横移動を規制するための案内
   ローラとが設けられてなり、前記各駆動側軸受体
   に枢支せしめて槽外の駆動手段に連結された駆動
   軸と、各従動側軸受体に枢支せしめて送りローラ
   が設けられた従動軸とは、傘歯車機構を介して連
   動可能に設けられるとともに、前記駆動軸には少
   くとも片端部に多角形断面部が形成され、該多角
   形断面部は前記駆動側軸受体および傘歯車機構に
   対し、熱膨張を許容するための隙間を保つて遊合
   されたことを特徴とする真空高温下の搬送装置。