JPH01129643U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01129643U JPH01129643U JP2102388U JP2102388U JPH01129643U JP H01129643 U JPH01129643 U JP H01129643U JP 2102388 U JP2102388 U JP 2102388U JP 2102388 U JP2102388 U JP 2102388U JP H01129643 U JPH01129643 U JP H01129643U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- jig
- pure water
- holder
- measurement sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す模型的概念図
、第２図は従来の評価治具を示す模型的概念図で
ある。 １１……評価治具のホルダー、１２……回折格
子の測定試料、１３，１４……回折格子の限界を
示す標準試料、１５……純水、１６……透明容器
、１７……肉眼、１８……照明ランプ、１９……
ピンセツト。
、第２図は従来の評価治具を示す模型的概念図で
ある。 １１……評価治具のホルダー、１２……回折格
子の測定試料、１３，１４……回折格子の限界を
示す標準試料、１５……純水、１６……透明容器
、１７……肉眼、１８……照明ランプ、１９……
ピンセツト。
Claims (1)
- 半導体基板上に形成した回折格子を純水中に投
入して該回折格子表面での光の反射状況を評価す
る治具において、測定試料を保持するホルダーに
、回折格子の良品限界を表わす１枚以上の標準試
料を装備したことを特徴とする回折格子評価治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102388U JPH01129643U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102388U JPH01129643U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129643U true JPH01129643U (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=31237887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2102388U Pending JPH01129643U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01129643U (ja) |
-
1988
- 1988-02-19 JP JP2102388U patent/JPH01129643U/ja active Pending
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