JPH01129672U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01129672U JPH01129672U JP1988020657U JP2065788U JPH01129672U JP H01129672 U JPH01129672 U JP H01129672U JP 1988020657 U JP1988020657 U JP 1988020657U JP 2065788 U JP2065788 U JP 2065788U JP H01129672 U JPH01129672 U JP H01129672U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- plate
- probe plate
- mounting table
- movement mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第1図、第2図はそれぞれ、本考案によるプロ
ーブピンを有するパターンチエツカーの実施例を
示す互いに異なる作動状態の正面図である。 11……基台、12……支柱、13……回動軸
、14……カムプレート、14a……円弧面、1
4b……切欠部、14c……昇降ガイド面、14
d……ストツパ面、15……プローブプレート、
16……プローブピン、17……判定回路、19
……引張ばね、20……昇降台、21……昇降軸
、22……ガイド孔、23……圧縮ばね、24…
…規制端面、25……被検回路基板。
ーブピンを有するパターンチエツカーの実施例を
示す互いに異なる作動状態の正面図である。 11……基台、12……支柱、13……回動軸
、14……カムプレート、14a……円弧面、1
4b……切欠部、14c……昇降ガイド面、14
d……ストツパ面、15……プローブプレート、
16……プローブピン、17……判定回路、19
……引張ばね、20……昇降台、21……昇降軸
、22……ガイド孔、23……圧縮ばね、24…
…規制端面、25……被検回路基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) プローブピンを有し回動軸を中心に回動可
能なプローブプレートと;上記プローブピンと接
触する被検回路基板を載置し、上記プローブプレ
ートの下方において昇降可能な載置台と;プロー
ブプレートと載置台とが平行になつた後、この載
置台とプローブプレートとを接近させる平行移動
機構とを有することを特徴とするプローブピンを
有するパターンチエツカー。 (2) 平行移動機構は、プローブプレートの回動
軸部に一体に設けられ、昇降台と係合してその昇
降位置を規制するカムプレートを有している請求
項1記載のパターンチエツカー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988020657U JPH0512776Y2 (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988020657U JPH0512776Y2 (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129672U true JPH01129672U (ja) | 1989-09-04 |
| JPH0512776Y2 JPH0512776Y2 (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=31237211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988020657U Expired - Lifetime JPH0512776Y2 (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0512776Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006147245A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Jeol Ltd | プローブ装置及びそれを備えた試料検査装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57205073U (ja) * | 1981-06-25 | 1982-12-27 | ||
| JPS6053067U (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-13 | 株式会社富士通ゼネラル | 回路基板の検査装置 |
-
1988
- 1988-02-19 JP JP1988020657U patent/JPH0512776Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57205073U (ja) * | 1981-06-25 | 1982-12-27 | ||
| JPS6053067U (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-13 | 株式会社富士通ゼネラル | 回路基板の検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006147245A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Jeol Ltd | プローブ装置及びそれを備えた試料検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0512776Y2 (ja) | 1993-04-02 |