JPH01130454A - 電界放出型電子銃 - Google Patents
電界放出型電子銃Info
- Publication number
- JPH01130454A JPH01130454A JP62286626A JP28662687A JPH01130454A JP H01130454 A JPH01130454 A JP H01130454A JP 62286626 A JP62286626 A JP 62286626A JP 28662687 A JP28662687 A JP 28662687A JP H01130454 A JPH01130454 A JP H01130454A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- emitter
- optical axis
- magnetic field
- moves
- electron gun
- Prior art date
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- Granted
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、エミッタ先端に強電界を印加することにより
電子を発生させる電界放出型電子銃の改良に関する。
電子を発生させる電界放出型電子銃の改良に関する。
［従来技術１
近時、スポット径を小さくし、しかも大きなビーム電流
を得るため、エミッタから発生した電子を磁界型レンズ
で集束するようにした電界放出型電子銃が開発されてい
る。
を得るため、エミッタから発生した電子を磁界型レンズ
で集束するようにした電界放出型電子銃が開発されてい
る。
［発明が解決しようとする問題点］
このようにエミッタからの電子を磁界型レンズで集束す
る場合には、エミッタに磁界型レンズをできるだけ接近
して設置しなければならない。なぜならば第３図に示す
エミッタ先端とレンズ中心との間の距離と磁界型レンズ
の励磁強度との関係を示すグラフから明らかなようにエ
ミッタ先端とレンズ中心との距離が長くなると、適正位
置にクロスオーバーを結ばせるためには、Ｉａ磁界型レ
ンズ弱励磁にしなければならない。そのため、球面収差
等の収差が急激に増大し、それによってスポット径が大
きくなり、磁界型レンズを使用する意味がなくなってく
るわけである。従って、収差の影響をなくするために、
エミッタ先端とレンズ中心との距離をできるだけ短くし
て磁界型レンズを強励磁の状態で使用する必要がある。
る場合には、エミッタに磁界型レンズをできるだけ接近
して設置しなければならない。なぜならば第３図に示す
エミッタ先端とレンズ中心との間の距離と磁界型レンズ
の励磁強度との関係を示すグラフから明らかなようにエ
ミッタ先端とレンズ中心との距離が長くなると、適正位
置にクロスオーバーを結ばせるためには、Ｉａ磁界型レ
ンズ弱励磁にしなければならない。そのため、球面収差
等の収差が急激に増大し、それによってスポット径が大
きくなり、磁界型レンズを使用する意味がなくなってく
るわけである。従って、収差の影響をなくするために、
エミッタ先端とレンズ中心との距離をできるだけ短くし
て磁界型レンズを強励磁の状態で使用する必要がある。
実際にはエミッタ先端とレンズ中心との距離を数ｍｍ程
度に設定し、そのときの設定精度は０．１〜０．２１１
１ｍ程度が要求される。
度に設定し、そのときの設定精度は０．１〜０．２１１
１ｍ程度が要求される。
しかしながら、エミッタの先端は細すぎて目で判断する
ことができにくいと共に、エミッタの長さにもバラツキ
があるため、組立精度によってエミッタ先端とレンズ中
心とを上記Ｏ１１〜０．２ｍｍ程度の精度でもって所望
の値に設定することは困難である。そこで、エミッタを
磁界型レンズに対して移動させる、つまりエミッタを電
子線光軸方向に移動させながらクロスオーバー像を観察
してエミッタ先端とレンズ中心とを最適な位置にセット
できることが要求される。
ことができにくいと共に、エミッタの長さにもバラツキ
があるため、組立精度によってエミッタ先端とレンズ中
心とを上記Ｏ１１〜０．２ｍｍ程度の精度でもって所望
の値に設定することは困難である。そこで、エミッタを
磁界型レンズに対して移動させる、つまりエミッタを電
子線光軸方向に移動させながらクロスオーバー像を観察
してエミッタ先端とレンズ中心とを最適な位置にセット
できることが要求される。
一方、エミッタ先端から放出される電子の放出面の中心
を光軸に一致させてビーム電流を増大させるために、エ
ミッタを光軸と直交する方向に前記エミッタの光軸方向
の移動機構とは独立して移動させる必要がある。
を光軸に一致させてビーム電流を増大させるために、エ
ミッタを光軸と直交する方向に前記エミッタの光軸方向
の移動機構とは独立して移動させる必要がある。
そこで、本発明はかかる要求を満足することのできる装
置を提供することを目的とするものである。
置を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明の電界放出型電子銃は
エミッタ先端に強電界を印加することにより発生した電
子を磁界型レンズで集束するようにした装置において、
前記エミッタを電子線光軸方向に移動させて該エミッタ
先端と磁界型レンズとの間の距離を変化させるだめの垂
直移動機構と、前記エミッタを光軸と直交する方向に移
動させるための水平移動線溝とを独立に設けたことを特
徴とするものである。
エミッタ先端に強電界を印加することにより発生した電
子を磁界型レンズで集束するようにした装置において、
前記エミッタを電子線光軸方向に移動させて該エミッタ
先端と磁界型レンズとの間の距離を変化させるだめの垂
直移動機構と、前記エミッタを光軸と直交する方向に移
動させるための水平移動線溝とを独立に設けたことを特
徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図はその
ＡＡ拡大断面図であり、１は電子銃室である。この電子
銃室の内部は図示外のイオンポンプ等により超高真空に
保たれる。２はこの電子銃室１の上端に固定された蓋体
で、中心部に穴３が形成しである。４はこの蓋体の下面
（内側）に穴３と略同芯状に固定された筒状の支持体で
、この支持体は例えば碍子のような電気絶縁物質で形成
されている。
ＡＡ拡大断面図であり、１は電子銃室である。この電子
銃室の内部は図示外のイオンポンプ等により超高真空に
保たれる。２はこの電子銃室１の上端に固定された蓋体
で、中心部に穴３が形成しである。４はこの蓋体の下面
（内側）に穴３と略同芯状に固定された筒状の支持体で
、この支持体は例えば碍子のような電気絶縁物質で形成
されている。
５はこの支持体の中間部の内側に金属ベローズ６を介し
て移動可能に取付けられた板体で、この板体の中心部に
は電気絶縁体７を介して電極棒８ａ、８ｂが取付けられ
ており、また、この板体の上端には円筒状の突出部９が
形成しである。１０は前記各電極棒８ａ、８ｂの下端に
着脱可能に取付けられたエミッタで、その先端は尖鋭に
加工されている。
て移動可能に取付けられた板体で、この板体の中心部に
は電気絶縁体７を介して電極棒８ａ、８ｂが取付けられ
ており、また、この板体の上端には円筒状の突出部９が
形成しである。１０は前記各電極棒８ａ、８ｂの下端に
着脱可能に取付けられたエミッタで、その先端は尖鋭に
加工されている。
１１は前記蓋体の穴３に上下動可能に嵌合された上下動
部材で、この上下動部材は例えばゴムのような電気絶縁
物質で形成されており、また、この上下動部材の下面に
は多数のボールを介在して前記板体５の突出部９が前記
金属ベローズの収縮力によって当接している。さらに、
この上下動部材の中心部には前記エミッタ１０に加速電
圧等を供給するための高圧ケーブル１２が装着しである
。
部材で、この上下動部材は例えばゴムのような電気絶縁
物質で形成されており、また、この上下動部材の下面に
は多数のボールを介在して前記板体５の突出部９が前記
金属ベローズの収縮力によって当接している。さらに、
この上下動部材の中心部には前記エミッタ１０に加速電
圧等を供給するための高圧ケーブル１２が装着しである
。
１３はこの上下動部材１１を上下動させるためのナツト
で、このナツトは前記蓋体の上面に形成した雄ネジ１４
に螺合されている。
で、このナツトは前記蓋体の上面に形成した雄ネジ１４
に螺合されている。
１５ａ、１５ｂ、１５ｃは前記上下動部材１１に回転可
能に貫通して取付けられた回転軸で、この各回転軸は前
記突出部９の中心に対して回転対称に配置されている。
能に貫通して取付けられた回転軸で、この各回転軸は前
記突出部９の中心に対して回転対称に配置されている。
また、この各回転軸の下端には第２図に示すように円盤
１６ａ、１６ｂ、１６Ｃが偏心した状態で固定されてお
り、この各円盤が夫々前記突出部９の外周部に当接して
いる。
１６ａ、１６ｂ、１６Ｃが偏心した状態で固定されてお
り、この各円盤が夫々前記突出部９の外周部に当接して
いる。
１７は前記エミッタ１０に接近して配置された励磁コイ
ル１８と磁路を形成するヨーク１９とからなる磁界型レ
ンズで、前記支持体４に保持されている。また、ヨーク
１９には前記高圧ケーブル１２を介してエミッタ１０に
対して正の引出電圧が印加されている。
ル１８と磁路を形成するヨーク１９とからなる磁界型レ
ンズで、前記支持体４に保持されている。また、ヨーク
１９には前記高圧ケーブル１２を介してエミッタ１０に
対して正の引出電圧が印加されている。
２０は前記エミッタ１０から放出された電子を加速する
ための陽極である。尚、前記支持体４と上下動部材１１
との空間にはフレオンガス等の絶縁ガスが満たしである
。
ための陽極である。尚、前記支持体４と上下動部材１１
との空間にはフレオンガス等の絶縁ガスが満たしである
。
かかる構成において、ナツト１３を回して上下動部材１
１を下方に移動させれば、板体５が金属ベローズ６の収
縮力に抗して降下するため、エミツタ１０が電子線光軸
Ｚに沿って降下する、つまり磁界型レンズ１７のレンズ
中心に向って移動する。また、ナツト１３を前述とは逆
の方向に回して上下動部材１１を上方に移動させれば、
板体５が金属ベローズ６の収縮力によって上昇するため
、エミッタ１０が光軸Ｚに沿って上昇する、つまりエミ
ッタが磁界型レンズ１７から離れる向きに移動する。従
って、ナツト１３を任意に操作することによりエミッタ
１０の先端と磁界型レンズのレンズ中心との間の距離を
任意に変化させることができるため、磁界型レンズに対
しエミッタ先端を最適な位置にセットすることができる
。
１を下方に移動させれば、板体５が金属ベローズ６の収
縮力に抗して降下するため、エミツタ１０が電子線光軸
Ｚに沿って降下する、つまり磁界型レンズ１７のレンズ
中心に向って移動する。また、ナツト１３を前述とは逆
の方向に回して上下動部材１１を上方に移動させれば、
板体５が金属ベローズ６の収縮力によって上昇するため
、エミッタ１０が光軸Ｚに沿って上昇する、つまりエミ
ッタが磁界型レンズ１７から離れる向きに移動する。従
って、ナツト１３を任意に操作することによりエミッタ
１０の先端と磁界型レンズのレンズ中心との間の距離を
任意に変化させることができるため、磁界型レンズに対
しエミッタ先端を最適な位置にセットすることができる
。
一方、各回転軸１５ａ、１５ｂ、１５ｃには円盤１６ａ
、１６ｂ、１６ｃが夫々偏心して固定されているため、
この各回転軸を回すことにより板体５が前記偏心量の長
さだけ上下動部材１１の下面に沿って移動される。従っ
て、３本の回転軸を任意に操作することによりエミッタ
１０を光軸２と直交した平面内で水平移動させることが
できるため、エミッタの電子の放出面の中心を磁界型レ
ンズ１７のレンズ中心に合わせることができる。
、１６ｂ、１６ｃが夫々偏心して固定されているため、
この各回転軸を回すことにより板体５が前記偏心量の長
さだけ上下動部材１１の下面に沿って移動される。従っ
て、３本の回転軸を任意に操作することによりエミッタ
１０を光軸２と直交した平面内で水平移動させることが
できるため、エミッタの電子の放出面の中心を磁界型レ
ンズ１７のレンズ中心に合わせることができる。
このとき、各回転軸は上下動部材１１に取付けられてい
るため、エミッタの水平移動はこのエミッタの垂直方向
の移動に関係なく行なわれる。
るため、エミッタの水平移動はこのエミッタの垂直方向
の移動に関係なく行なわれる。
［効果］
以上詳述したように本発明によれば、エミッタを光軸方
向及び光軸と直交した方向に独立して移動させることが
可能な装置を提供することができる。
向及び光軸と直交した方向に独立して移動させることが
可能な装置を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図のＡＡ拡大断面図、第３図は従来例を説明するための
グラフである。 １：電子銃室 ２：蓋体 ３：穴 ４：支持体 ５：板体 ６：金属ベローズ７：電気絶縁
体 ８ａ、８ｂ：電極棒９：突出部
１０：エミッタ１１：上下動部材 １２：高圧ケー
ブル１３：ナツト １４：雄ネジ １５ａ、１５ｂ、１５ｃ：回転軸 １６ａ、１６ｂ、１６ｃ：円盤 １７：磁界型レンズ ２０：陽極
図のＡＡ拡大断面図、第３図は従来例を説明するための
グラフである。 １：電子銃室 ２：蓋体 ３：穴 ４：支持体 ５：板体 ６：金属ベローズ７：電気絶縁
体 ８ａ、８ｂ：電極棒９：突出部
１０：エミッタ１１：上下動部材 １２：高圧ケー
ブル１３：ナツト １４：雄ネジ １５ａ、１５ｂ、１５ｃ：回転軸 １６ａ、１６ｂ、１６ｃ：円盤 １７：磁界型レンズ ２０：陽極
Claims (1)
- エミッタ先端に強電界を印加することにより発生した電
子を磁界型レンズで集束するようにした装置において、
前記エミッタを電子線光軸方向に移動させて該エミッタ
先端と磁界型レンズとの間の距離を変化させるための垂
直移動機構と、前記エミッタを光軸と直交する方向に移
動させるための水平移動機構とを独立に設けたことを特
徴とする電界放出型電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286626A JPH0754679B2 (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 電界放出型電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286626A JPH0754679B2 (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 電界放出型電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130454A true JPH01130454A (ja) | 1989-05-23 |
| JPH0754679B2 JPH0754679B2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=17706847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62286626A Expired - Fee Related JPH0754679B2 (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 電界放出型電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754679B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49131075A (ja) * | 1973-04-16 | 1974-12-16 | ||
| JPS54136170A (en) * | 1978-04-14 | 1979-10-23 | Hitachi Ltd | Field radiation electronic gun |
| JPS5516321A (en) * | 1978-07-21 | 1980-02-05 | Hitachi Ltd | Electrostatic radiant type electronic gun |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP62286626A patent/JPH0754679B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49131075A (ja) * | 1973-04-16 | 1974-12-16 | ||
| JPS54136170A (en) * | 1978-04-14 | 1979-10-23 | Hitachi Ltd | Field radiation electronic gun |
| JPS5516321A (en) * | 1978-07-21 | 1980-02-05 | Hitachi Ltd | Electrostatic radiant type electronic gun |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0754679B2 (ja) | 1995-06-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |