JPH01131139U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01131139U JPH01131139U JP2787788U JP2787788U JPH01131139U JP H01131139 U JPH01131139 U JP H01131139U JP 2787788 U JP2787788 U JP 2787788U JP 2787788 U JP2787788 U JP 2787788U JP H01131139 U JPH01131139 U JP H01131139U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- substrate
- pressure sensor
- surface provided
- capacitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図で
、Ａは正面図、Ｂは平面図、第２図は第１図の電
気的等価回路、第３図は従来より一般に使用され
ている従来例の構成説明図、第４図は従来より一
般に使用されている他の従来例の構成説明図であ
る。 １……第一基板、１３……凹部、１３１……ダ
イアフラム、２……第二基板、２１……凹部、２
２……室、２５……導圧孔、２６……配線、３１
……第一電極、３２……第二電極、３３……第三
電極、３４，３５……リード。
、Ａは正面図、Ｂは平面図、第２図は第１図の電
気的等価回路、第３図は従来より一般に使用され
ている従来例の構成説明図、第４図は従来より一
般に使用されている他の従来例の構成説明図であ
る。 １……第一基板、１３……凹部、１３１……ダ
イアフラム、２……第二基板、２１……凹部、２
２……室、２５……導圧孔、２６……配線、３１
……第一電極、３２……第二電極、３３……第三
電極、３４，３５……リード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 第一基板と第二基板とにそれぞれ設けられた対
向する電極面を有する静電容量形圧力センサにお
いて、 前記第一基板に設けられた一方の電極面を二個
に分割して形成された第一電極と第二電極と、前
記第一基板に対向する面が該第一基板より小さい
第二の基板に設けられた他方の電極面よりなる第
三電極と、前記第一電極あるいは前記第二電極に
それぞれ一端が接続されたリードとを具備し、前
記第一電極と前記第二電極と前記第三電極とによ
り直列静電容量形電極が構成されたことを特徴と
する静電容量形圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2787788U JPH01131139U (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2787788U JPH01131139U (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01131139U true JPH01131139U (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=31250757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2787788U Pending JPH01131139U (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01131139U (ja) |
-
1988
- 1988-03-02 JP JP2787788U patent/JPH01131139U/ja active Pending
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