JPH01132933U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01132933U JPH01132933U JP2540988U JP2540988U JPH01132933U JP H01132933 U JPH01132933 U JP H01132933U JP 2540988 U JP2540988 U JP 2540988U JP 2540988 U JP2540988 U JP 2540988U JP H01132933 U JPH01132933 U JP H01132933U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- beam splitter
- sensors arranged
- optical
- reflected
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
第１図ないし第３図はこの考案の第１実施例に
係り、第１図はエキシマレーザのパワーモニタ装
置の要部の構成図、第２図は全体の概略構成図、
第３図はパワーモニタ装置の制御系の構成を示す
ブロツク図である。第４図は第２実施例に係る制
御系の一部分のブロツク図である。第５図は従来
例の概略構成図である。 ＬＢ……レーザビーム、４ａ，４ｂ，４ｃ……
ビームスプリツタ、５……反射光路変換器、６ａ
，６ｂ，６ｃ……光センサ、７ａ，７ｂ，７ｃ…
…減光用フイルタ、１６……モニタデイスプレイ
、１７……インジケータ。
係り、第１図はエキシマレーザのパワーモニタ装
置の要部の構成図、第２図は全体の概略構成図、
第３図はパワーモニタ装置の制御系の構成を示す
ブロツク図である。第４図は第２実施例に係る制
御系の一部分のブロツク図である。第５図は従来
例の概略構成図である。 ＬＢ……レーザビーム、４ａ，４ｂ，４ｃ……
ビームスプリツタ、５……反射光路変換器、６ａ
，６ｂ，６ｃ……光センサ、７ａ，７ｂ，７ｃ…
…減光用フイルタ、１６……モニタデイスプレイ
、１７……インジケータ。
Claims (1)
- レーザビームの光路に対する角度を互いに異に
する複数のビームスプリツタを取り付けた回転型
の反射光路変換器と、各ビームスプリツタによる
反射光路上に配置された複数の光センサと、各光
センサの前部に各々配置された波長特性が互いに
異なる複数種類の減光用フイルタとを備えたレー
ザのパワーモニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2540988U JPH01132933U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2540988U JPH01132933U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01132933U true JPH01132933U (ja) | 1989-09-11 |
Family
ID=31246120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2540988U Pending JPH01132933U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01132933U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003204099A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-18 | Nidek Co Ltd | レーザ装置 |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP2540988U patent/JPH01132933U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003204099A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-18 | Nidek Co Ltd | レーザ装置 |