JPH01138656U - - Google Patents

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JPH01138656U
JPH01138656U JP3544888U JP3544888U JPH01138656U JP H01138656 U JPH01138656 U JP H01138656U JP 3544888 U JP3544888 U JP 3544888U JP 3544888 U JP3544888 U JP 3544888U JP H01138656 U JPH01138656 U JP H01138656U
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JP
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runner
polishing
surface plate
polishing surface
polishing machine
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図aは本考案に係る研磨定盤の一部断面斜
視図、同bは芯材を用いた駆動ピンの側面図、同
cは合成樹脂等よりなる駆動ピンの側面図、同d
はランナの一部断面斜視図。第2図は本考案に係
る研磨機の略線断面図。第3図aは従来例の研磨
定盤の一部断面斜視図、同bは駆動ピンの側面図
、同cはランナの一部断面斜視図。第4図は従来
例の駆動力伝達構成を組み込んだ研磨機の略線断
面図。 4……軸受、5a,5b……ランナ、6……駆
動シヤフト、7……ロータ、8……ステータ、9
……センサハウジング、14a,14b……研磨
定盤、15a,15b……駆動ピン、19a,1
9b……ガイド孔、a,b……対向孔、6a……
シヤフト端部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 駆動シヤフトにより回転自在の研磨定盤とラ
    ンナとを具えた研磨機において、前記ランナとそ
    の上に載置した研磨定盤との接触面に少なくとも
    1対以上の対向孔を設け、この孔に研磨定盤及び
    ランナより硬度の低い物質よりなる駆動ピンを収
    納したことを特徴とする研磨機の研磨定盤とラン
    ナの構成。 2 前記駆動ピンは合成樹脂よりなる請求項1記
    載の研磨機の研磨定盤とランナの構成。 3 前記駆動ピンの芯材として研磨定盤及びラン
    ナと硬度が同等以上の材質よりなる部材を使用し
    てなる請求項1記載の研磨機の研磨定盤とランナ
    の構成。 4 前記駆動ピンの芯材として金属棒を用いてな
    る請求項3記載の研磨機の研磨定盤とランナの構
    成。
JP3544888U 1988-03-17 1988-03-17 Pending JPH01138656U (ja)

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JP3544888U JPH01138656U (ja) 1988-03-17 1988-03-17

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JPH01138656U true JPH01138656U (ja) 1989-09-21

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