JPH01140101A - カラー固体撮像素子 - Google Patents
カラー固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH01140101A JPH01140101A JP62298636A JP29863687A JPH01140101A JP H01140101 A JPH01140101 A JP H01140101A JP 62298636 A JP62298636 A JP 62298636A JP 29863687 A JP29863687 A JP 29863687A JP H01140101 A JPH01140101 A JP H01140101A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- color
- pattern
- light shielding
- color solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野］
本発明は色分解フィルターの周縁に形成された連光部を
改良してなるカラー固体撮像索子に関する。
改良してなるカラー固体撮像索子に関する。
（従来の技術）
カラー固体撮像素子において、色分解フィルターの周縁
に設けられる遮光部は従来、以下のようにしてつくられ
ていた。すなわち、ゼラチン又はカゼインを主成分とす
る重クロム酸系レジスト等の易染色性感光性樹脂を全面
に塗布したのち、遮光部のみが残るようにマスキングし
、ついで露光、現像をおこない、全体的にペタの遮光部
を形成していた。
に設けられる遮光部は従来、以下のようにしてつくられ
ていた。すなわち、ゼラチン又はカゼインを主成分とす
る重クロム酸系レジスト等の易染色性感光性樹脂を全面
に塗布したのち、遮光部のみが残るようにマスキングし
、ついで露光、現像をおこない、全体的にペタの遮光部
を形成していた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、このようＫして形成されたベタ状の遮光部は遮
光部を構成するレジスト膜がこの下の基板との熱膨張率
の差、その他の原因によシストレスが溜シ、遮光部の山
部、特に角部に亀裂が生じ易く、この亀裂部分から光が
洩れ、撮縁時の偽信号の原因となるという問題があった
。 □したがって、本発明は遮光部の亀裂の発生のお
それのない力２−固体撮像素子を提供するととを目的と
する。
光部を構成するレジスト膜がこの下の基板との熱膨張率
の差、その他の原因によシストレスが溜シ、遮光部の山
部、特に角部に亀裂が生じ易く、この亀裂部分から光が
洩れ、撮縁時の偽信号の原因となるという問題があった
。 □したがって、本発明は遮光部の亀裂の発生のお
それのない力２−固体撮像素子を提供するととを目的と
する。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題を解決するため、色分解フィルター領
域周辺の遮光部も１色分解フィルターの色素パターンと
同様に分割したパターン形状に形成し、遮光部に加わる
ストレスの分散を図シ、遮光部の亀裂の発生を防止する
という手段を講じた。
域周辺の遮光部も１色分解フィルターの色素パターンと
同様に分割したパターン形状に形成し、遮光部に加わる
ストレスの分散を図シ、遮光部の亀裂の発生を防止する
という手段を講じた。
すなわち、本発明は、色分解フィルターの周縁に沿って
遮光部を形成してなるカラー固体撮像素子において、該
遮光部がスリット巾が１８０＃以下になるように予め分
割して形成されたレジストパターンＫｊｌ光用染色を施
したものからなることを特徴とするカラー固体撮像素子
を提供するものである。
遮光部を形成してなるカラー固体撮像素子において、該
遮光部がスリット巾が１８０＃以下になるように予め分
割して形成されたレジストパターンＫｊｌ光用染色を施
したものからなることを特徴とするカラー固体撮像素子
を提供するものである。
なお、レジストパターンは一辺が１５μｌ以下の四角形
ブロックを並列させたものが好ましい。よ）好ましくは
、レジストパターンは色分解フィルターの主パターンと
同一形状、同一寸法のものとなるように形成する。
ブロックを並列させたものが好ましい。よ）好ましくは
、レジストパターンは色分解フィルターの主パターンと
同一形状、同一寸法のものとなるように形成する。
（作用ン
本発明の力２−固体撮鐵素子によれば、遮光部が当初に
おいて分割されたレジストパターンから −構成されて
いるから、遮光部に対するストレスが分散されるため、
遮光部に亀裂を生じさせるおそれがない、又、レジスト
パターンは分１１ＪＪれたスリット巾が１．０μｍ以下
であるので染色工程におけ−るパターンの膨１１によシ
その隙間は自然に埋まシ、その間から光が洩れるおそれ
は全くない。
おいて分割されたレジストパターンから −構成されて
いるから、遮光部に対するストレスが分散されるため、
遮光部に亀裂を生じさせるおそれがない、又、レジスト
パターンは分１１ＪＪれたスリット巾が１．０μｍ以下
であるので染色工程におけ−るパターンの膨１１によシ
その隙間は自然に埋まシ、その間から光が洩れるおそれ
は全くない。
レジストパターンを色分解フィルターの主パターンと同
一形状、°同一寸法とすることによシ、色分解フィルタ
ーの形成のための７オトリングラフイ条件をそのまま採
用すればよく、これら条件を遮光部形成のために再度検
討する必要がなくなるという利点が得られる。
一形状、°同一寸法とすることによシ、色分解フィルタ
ーの形成のための７オトリングラフイ条件をそのまま採
用すればよく、これら条件を遮光部形成のために再度検
討する必要がなくなるという利点が得られる。
（実施例）
以下、本発明を図示の実施例を参照して説明する。
第１図は本発明に係わるカラー固体撮慮装置の色分解フ
ィルター領域１と、その周辺く形成された遮光領域２の
、それぞれ一部を示している。色分解フィルター領域１
は図示の如く各色素パターン、例えばシアン（Ｃｙ）、
イエ四−（Ｙ・）、グリーン（Ｇ）、マゼンタ（Ｍ）を
格子状に配列したものからなる。！！光領域２はレジス
ト膜を色分解フィルター領域１の色素パターンと同一形
状、同一寸法のパターンに当初形成した分割パターン領
域２ａと、この当初のレゾスト膜をのちに黒色に染色す
ることによシ膨潤し、領域２ａ相互間を埋めつくした膨
潤領域２ｂとから構成されてｂる。
ィルター領域１と、その周辺く形成された遮光領域２の
、それぞれ一部を示している。色分解フィルター領域１
は図示の如く各色素パターン、例えばシアン（Ｃｙ）、
イエ四−（Ｙ・）、グリーン（Ｇ）、マゼンタ（Ｍ）を
格子状に配列したものからなる。！！光領域２はレジス
ト膜を色分解フィルター領域１の色素パターンと同一形
状、同一寸法のパターンに当初形成した分割パターン領
域２ａと、この当初のレゾスト膜をのちに黒色に染色す
ることによシ膨潤し、領域２ａ相互間を埋めつくした膨
潤領域２ｂとから構成されてｂる。
この当初に形成される分割パターン領域２ａ相互間のス
リット巾＠ａ”は１．０μｍ以下とすることが好ましい
、もし、このスリット巾＠ａ”が１．０μｍを超えると
、のちの通光用染色工程による膨［Ｋよっても分割パタ
ーン領域２ａ相互間が埋め尽くされずに、隙間が残る可
能性がＴｏシ好ましくない。
リット巾＠ａ”は１．０μｍ以下とすることが好ましい
、もし、このスリット巾＠ａ”が１．０μｍを超えると
、のちの通光用染色工程による膨［Ｋよっても分割パタ
ーン領域２ａ相互間が埋め尽くされずに、隙間が残る可
能性がＴｏシ好ましくない。
このよりな遮光領域２を形成する方法としては、例えば
ゼラチン、カゼイン等を主成分とする重クロム酸系レゾ
スト膜を全面塗布したのち、第２図に示すような分割パ
ターン領域２１に相当する開口部３ａを設けたマスク３
を重ね、ついで露光、現像することＫよって分割パター
ン領域２鳳（例えば１３μｍＸ８μｍの四角形ブロック
からなる）を形成し、ついで染料としてＭＣＦ人−００
１（三菱化成製、商品名）ｔたはＣＦＴダイワＢｌａｃ
ｋ （ダイワ化成製、商品名）を用い、従来と同様にし
て湿式で分割パターン領域２ａを染色することによシ分
割パターン領域２ａが膨潤した膨潤領域２ｂを形成させ
ることができる。
ゼラチン、カゼイン等を主成分とする重クロム酸系レゾ
スト膜を全面塗布したのち、第２図に示すような分割パ
ターン領域２１に相当する開口部３ａを設けたマスク３
を重ね、ついで露光、現像することＫよって分割パター
ン領域２鳳（例えば１３μｍＸ８μｍの四角形ブロック
からなる）を形成し、ついで染料としてＭＣＦ人−００
１（三菱化成製、商品名）ｔたはＣＦＴダイワＢｌａｃ
ｋ （ダイワ化成製、商品名）を用い、従来と同様にし
て湿式で分割パターン領域２ａを染色することによシ分
割パターン領域２ａが膨潤した膨潤領域２ｂを形成させ
ることができる。
（発明の効果）
以上詳述したように、本発明のカラー固体撮像素子によ
れば色分解フィルター周縁の遮光部が予め分割して形成
されたレノストパターンに遮光用染色を施して形成され
たものからなるから、遮光部の温度等による膨縮に基づ
く亀裂、破損等の発生を効果的に防止することができる
。
れば色分解フィルター周縁の遮光部が予め分割して形成
されたレノストパターンに遮光用染色を施して形成され
たものからなるから、遮光部の温度等による膨縮に基づ
く亀裂、破損等の発生を効果的に防止することができる
。
なお、本発明は色分解フィルターをガラス等の透明基板
に予め形成し、これを固体撮像素子上に貼シ合せる場合
、又は固体撮像素子上に色分解フィルターを直接形成す
る場合のいずれに対して適用し得る。
に予め形成し、これを固体撮像素子上に貼シ合せる場合
、又は固体撮像素子上に色分解フィルターを直接形成す
る場合のいずれに対して適用し得る。
第１図は本発明に係わるカラー固体撮朦素子の一部を示
す平面図、第２図は第１図のカラー固体撮像素子の遮光
部を形成するために用いられるマスクの一部を示す平面
図である。 図中、１・・・色分解フィルター領域、２・・・遮光領
域、２ｍ・・・分割パターン領域、２ｂ・・・膨潤領域
、３・・・マスク、３ａ・・・開口部。 出願人代理人 弁理土鈴江武 彦 イ２−ｔめ
す平面図、第２図は第１図のカラー固体撮像素子の遮光
部を形成するために用いられるマスクの一部を示す平面
図である。 図中、１・・・色分解フィルター領域、２・・・遮光領
域、２ｍ・・・分割パターン領域、２ｂ・・・膨潤領域
、３・・・マスク、３ａ・・・開口部。 出願人代理人 弁理土鈴江武 彦 イ２−ｔめ
Claims (3)
- （１）色分解フィルターの周縁に沿って遮光部を形成し
てなるカラー固体撮像素子において、該遮光部がスリッ
ト巾が１．０μｍ以下になるように予め分割して形成さ
れたレジストパターンに遮光用染色を施したものからな
ることを特徴とするカラー固体撮像素子。 - （２）レジストパターンが一辺１５μｍ以下の四角形ブ
ロックを並列させたものからなる特許請求の範囲第１項
記載のカラー固体撮像素子。 - （３）レジストパターンが色分解フィルターの主パター
ンと同一形状、同一寸法のものからなる特許請求の範囲
第２項のカラー固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29863687A JPH0638123B2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | カラー固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29863687A JPH0638123B2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | カラー固体撮像素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01140101A true JPH01140101A (ja) | 1989-06-01 |
| JPH0638123B2 JPH0638123B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=17862303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29863687A Expired - Lifetime JPH0638123B2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | カラー固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638123B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022026007A (ja) * | 2020-07-30 | 2022-02-10 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 検出装置及び光フィルタ |
-
1987
- 1987-11-26 JP JP29863687A patent/JPH0638123B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022026007A (ja) * | 2020-07-30 | 2022-02-10 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 検出装置及び光フィルタ |
| CN114068596A (zh) * | 2020-07-30 | 2022-02-18 | 株式会社日本显示器 | 检测装置和滤光器 |
| CN114068596B (zh) * | 2020-07-30 | 2024-11-08 | 株式会社日本显示器 | 检测装置和滤光器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0638123B2 (ja) | 1994-05-18 |
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Legal Events
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