JPH01140800U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01140800U JPH01140800U JP3720288U JP3720288U JPH01140800U JP H01140800 U JPH01140800 U JP H01140800U JP 3720288 U JP3720288 U JP 3720288U JP 3720288 U JP3720288 U JP 3720288U JP H01140800 U JPH01140800 U JP H01140800U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- wheel
- coil
- attached
- magnetic field
- Prior art date
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- Pending
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- Plasma Technology (AREA)
Description
第１図は本考案の電子サイクロトロン共鳴プラ
ズマ装置の磁界発生用コイルの移動装置の斜視図
である。 １……加工室、２……コイル、３……第１車輪
、４……前後レール（第１レール）、５……台板
、６……第２車輪、７……左右レール（第２レー
ル）。
ズマ装置の磁界発生用コイルの移動装置の斜視図
である。 １……加工室、２……コイル、３……第１車輪
、４……前後レール（第１レール）、５……台板
、６……第２車輪、７……左右レール（第２レー
ル）。
Claims (1)
- 電子サイクロトロン共鳴プラズマ装置の磁界発
生用コイルの移動装置において、コイルに取付け
た第１車輪と、この第１車輪を案内する第１レー
ルと、第１レールに取り付けられ、第２車輪を有
する台板と、第１レールとは直交する方向に設け
られ第２車輪を案内する第２レールと、を有する
ことを特徴とする磁界発生用コイルの移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3720288U JPH01140800U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3720288U JPH01140800U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01140800U true JPH01140800U (ja) | 1989-09-27 |
Family
ID=31263782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3720288U Pending JPH01140800U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01140800U (ja) |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP3720288U patent/JPH01140800U/ja active Pending