JPH01141274U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01141274U JPH01141274U JP3647088U JP3647088U JPH01141274U JP H01141274 U JPH01141274 U JP H01141274U JP 3647088 U JP3647088 U JP 3647088U JP 3647088 U JP3647088 U JP 3647088U JP H01141274 U JPH01141274 U JP H01141274U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gasket
- lid
- mouth
- container
- airtightly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す部分断面側
面図、第２図は従来装置の部分断面側面図である
。 図中、１はガロンビン、２，３はホース、５は
薬液、６はフタ、７はキヤツプ、８はパツキンで
ある。なお、各図中同一符号は同一又は相当部分
を示す。
面図、第２図は従来装置の部分断面側面図である
。 図中、１はガロンビン、２，３はホース、５は
薬液、６はフタ、７はキヤツプ、８はパツキンで
ある。なお、各図中同一符号は同一又は相当部分
を示す。
Claims (1)
- 薬液を収容し、口部を有する容器、上記口部の
開口を封止するパツキン、このパツキンを覆うフ
タ、このフタと上記パツキンを気密に貫通し、上
記容器内にエアを導入する第１のホース、上記フ
タと上記パツキンを気密に貫通し、上記容器の液
内に一端が開口する第２のホース、及び両端が開
口されて上記口部外周に螺合され、上記フタと上
記パツキンを上記口部の開口端に圧接する筒状の
キヤツプを備えたレジスト塗布装置の薬液供給瓶
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3647088U JPH01141274U (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3647088U JPH01141274U (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141274U true JPH01141274U (ja) | 1989-09-27 |
Family
ID=31263072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3647088U Pending JPH01141274U (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01141274U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008006325A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Tokyo Electron Ltd | 加圧式処理液供給装置 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP3647088U patent/JPH01141274U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008006325A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Tokyo Electron Ltd | 加圧式処理液供給装置 |
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