JPH0114181B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0114181B2 JPH0114181B2 JP23210483A JP23210483A JPH0114181B2 JP H0114181 B2 JPH0114181 B2 JP H0114181B2 JP 23210483 A JP23210483 A JP 23210483A JP 23210483 A JP23210483 A JP 23210483A JP H0114181 B2 JPH0114181 B2 JP H0114181B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- gas
- target rod
- optical fiber
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の背景と目的〕
本発明は光フアイバ母材の製造装置に係り、特
に、高周波プラズマを熱源としてターゲツト棒の
外周にガラス膜を形成させる光フアイバ母材の製
造装置に関するものである。
に、高周波プラズマを熱源としてターゲツト棒の
外周にガラス膜を形成させる光フアイバ母材の製
造装置に関するものである。
現在行なわれている光フアイバ母材の製造方法
は、MCVD法とVAD法とが主流である。これら
に用いられる反応熱源は酸水素バーナ炎である。
そして熱源に高周波プラズマを用いる場合に、一
般には、回転させながら一定速度で引き下げられ
るターゲツトの先端にガラスを堆積させてコアロ
ツドを形成する方法や、コア材となるターゲツト
棒の外周表面に、均一にクラツド材となるガラス
膜を形成させる方法等があるが、後者の方法で、
高周波プラズマ発生装置を移動させながら行うこ
とは、プラズマ炎が安定性を欠き、また、プラズ
マ炎のジエツト先端は周囲の雰囲気で不安定とな
り、ターゲツト棒の温度が長手方向に変動するな
どして均一な屈折率を有するガラス膜を形成する
ことは困難であり、このようにしてガラス膜を形
成した後にそのガラス膜を純化することは容易で
ない。ガラス膜形成時に、特に、空気中に含まれ
る湿分を混合させることは、その母材により製造
される光フアイバの性能を低下させることにな
る。
は、MCVD法とVAD法とが主流である。これら
に用いられる反応熱源は酸水素バーナ炎である。
そして熱源に高周波プラズマを用いる場合に、一
般には、回転させながら一定速度で引き下げられ
るターゲツトの先端にガラスを堆積させてコアロ
ツドを形成する方法や、コア材となるターゲツト
棒の外周表面に、均一にクラツド材となるガラス
膜を形成させる方法等があるが、後者の方法で、
高周波プラズマ発生装置を移動させながら行うこ
とは、プラズマ炎が安定性を欠き、また、プラズ
マ炎のジエツト先端は周囲の雰囲気で不安定とな
り、ターゲツト棒の温度が長手方向に変動するな
どして均一な屈折率を有するガラス膜を形成する
ことは困難であり、このようにしてガラス膜を形
成した後にそのガラス膜を純化することは容易で
ない。ガラス膜形成時に、特に、空気中に含まれ
る湿分を混合させることは、その母材により製造
される光フアイバの性能を低下させることにな
る。
本発明の目的は、上記の難点を解決し、性能の
すぐれた光フアイバを得ることができる光フアイ
バ母材の製造装置を提供することにある。
すぐれた光フアイバを得ることができる光フアイ
バ母材の製造装置を提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は、反応チヤンバーを貫通し、回転と横
移動とを可能にガラス旋盤に装着したコア材のタ
ーゲツト棒、該ターゲツト棒が反応チヤンバー内
に位置する部分の外周に、高周波プラズマを熱源
とし原料ガスを反応させながらクラツド材のガラ
ス膜を形成させる光フアイバ母材の製造装置にお
いて、前記反応チヤンバーの前記ターゲツト棒の
貫通孔に不活性ガスを送入するガスシール手段
と、前記反応チヤンバー内の圧力を圧力センサに
より検出しながら排気バルブに連動させる手段と
を備え、反応チヤンバー内のガスをバツフアタン
ク並びに熱交換器を経て排気することを特徴とす
るものである。
移動とを可能にガラス旋盤に装着したコア材のタ
ーゲツト棒、該ターゲツト棒が反応チヤンバー内
に位置する部分の外周に、高周波プラズマを熱源
とし原料ガスを反応させながらクラツド材のガラ
ス膜を形成させる光フアイバ母材の製造装置にお
いて、前記反応チヤンバーの前記ターゲツト棒の
貫通孔に不活性ガスを送入するガスシール手段
と、前記反応チヤンバー内の圧力を圧力センサに
より検出しながら排気バルブに連動させる手段と
を備え、反応チヤンバー内のガスをバツフアタン
ク並びに熱交換器を経て排気することを特徴とす
るものである。
以下本発明の位置実施例を図面に基づいて説明
する。図は本発明の光フアイバ母材の製造装置の
構成図で、１は高周波プラズマ発生装置，２はク
ラツド材となるガラス膜７の原料ガス導入管，３
は反応チヤンバー４の両端のガスシールキヤツ
プ，５はガラス旋盤，６はコア材となるターゲツ
ト棒，８はリミツトスイツチ，９はベツド，１０
はバツフアタンク，１１は排気管，１２は熱交換
器，１３はスクラバー，１４は排気フアン，１５
は排気バルブ，１６は圧力センサである。
する。図は本発明の光フアイバ母材の製造装置の
構成図で、１は高周波プラズマ発生装置，２はク
ラツド材となるガラス膜７の原料ガス導入管，３
は反応チヤンバー４の両端のガスシールキヤツ
プ，５はガラス旋盤，６はコア材となるターゲツ
ト棒，８はリミツトスイツチ，９はベツド，１０
はバツフアタンク，１１は排気管，１２は熱交換
器，１３はスクラバー，１４は排気フアン，１５
は排気バルブ，１６は圧力センサである。
この装置により光フアイバ母材を製造するに
は、先ず、高周波プラズマ発生装置１にアルゴン
ガスを流しプラズマ炎を発生させ、しかる後、ア
ルゴンプラズマ炎から酸素プラズマ炎に切り換え
る。そして、原料ガス導入管２から、四塩化珪素
（SiCl42000mg／min）とハロゲン化炭素
（CF2Cl2500c.c.／min）との原料混合ガスを酸素を
キヤリアガスとしてプラズマ炎の下方に送り込ん
で反応させ、ターゲツト棒６（石英ガラス）の外
周表面にガラス膜７を堆積させる。このときのタ
ーゲツト棒６の温度は1450℃で、このターゲツト
棒６はガラス旋盤５に装着されて回転し、同時に
ガラス旋盤５はヘツド９上を左右に移動しながら
ターゲツト棒６の長手方向にガラス膜７を形成さ
せる。この場合ガスシールキヤツプ３のターゲツ
ト棒６の貫通孔には高純度の窒素ガスの送入が続
けられ、そのガスカーテン作用により湿気を含ん
だ外気が反応チヤンバー４内に侵入するのを防止
している。反応チヤンバー４は、高温となるため
石英ガラスを用い、内部圧力は圧力センサ１６に
よりモニターし、排気バルブ１５で自動調整し―
３mmAgに保ちながら、未反応ガスおよび排ガス
を排気管１１，バツフアタンク１０，冷却用熱交
換器１２，スクラバー１３を経て排気フアン１４
により吸引し、バルブ１５を通じて排気する。
は、先ず、高周波プラズマ発生装置１にアルゴン
ガスを流しプラズマ炎を発生させ、しかる後、ア
ルゴンプラズマ炎から酸素プラズマ炎に切り換え
る。そして、原料ガス導入管２から、四塩化珪素
（SiCl42000mg／min）とハロゲン化炭素
（CF2Cl2500c.c.／min）との原料混合ガスを酸素を
キヤリアガスとしてプラズマ炎の下方に送り込ん
で反応させ、ターゲツト棒６（石英ガラス）の外
周表面にガラス膜７を堆積させる。このときのタ
ーゲツト棒６の温度は1450℃で、このターゲツト
棒６はガラス旋盤５に装着されて回転し、同時に
ガラス旋盤５はヘツド９上を左右に移動しながら
ターゲツト棒６の長手方向にガラス膜７を形成さ
せる。この場合ガスシールキヤツプ３のターゲツ
ト棒６の貫通孔には高純度の窒素ガスの送入が続
けられ、そのガスカーテン作用により湿気を含ん
だ外気が反応チヤンバー４内に侵入するのを防止
している。反応チヤンバー４は、高温となるため
石英ガラスを用い、内部圧力は圧力センサ１６に
よりモニターし、排気バルブ１５で自動調整し―
３mmAgに保ちながら、未反応ガスおよび排ガス
を排気管１１，バツフアタンク１０，冷却用熱交
換器１２，スクラバー１３を経て排気フアン１４
により吸引し、バルブ１５を通じて排気する。
このように、反応チヤンバー４内には湿気を含
んだ外気の侵入が防止され、しかも、反応チヤン
バー４内は、圧力センサ１６と排気バルブとの連
動作用、さらに、バツフアタンク１０並びに熱交
換器１２の緩衝作用とによつて、反応チヤンバー
４内の雰囲気の変動が緩和され、安定したプラズ
マ炎を接続させることができる。
んだ外気の侵入が防止され、しかも、反応チヤン
バー４内は、圧力センサ１６と排気バルブとの連
動作用、さらに、バツフアタンク１０並びに熱交
換器１２の緩衝作用とによつて、反応チヤンバー
４内の雰囲気の変動が緩和され、安定したプラズ
マ炎を接続させることができる。
従つて、ターゲツト棒６の温度が安定し、均質
なガラス膜７が均一な層状に形成され、不純物を
含有しない均質な光フアイバ母材を製造すること
ができる。
なガラス膜７が均一な層状に形成され、不純物を
含有しない均質な光フアイバ母材を製造すること
ができる。
以上説明したように、本発明の光フアイバ母材
の製造装置によれば、コア材となるターゲツト棒
の外周に、不純物を含有しない均質なクラツド材
となるガラス膜を均一に形成させることができ、
この光フアイバ母材を用いることにより、性能の
すぐれた光フアイバの製造が容易になるという工
業的効果を奏することができる。
の製造装置によれば、コア材となるターゲツト棒
の外周に、不純物を含有しない均質なクラツド材
となるガラス膜を均一に形成させることができ、
この光フアイバ母材を用いることにより、性能の
すぐれた光フアイバの製造が容易になるという工
業的効果を奏することができる。
図は本発明の一実施例の光フアイバ母材の製造
装置の構成図である。 １：高周波プラズマ発生装置、２：原料ガス導
入管、４：反応チヤンバー、５：ガラス旋盤、
６：ターゲツト棒、７：ガラス膜、１０：バツフ
アタンク、１２：熱交換器。
装置の構成図である。 １：高周波プラズマ発生装置、２：原料ガス導
入管、４：反応チヤンバー、５：ガラス旋盤、
６：ターゲツト棒、７：ガラス膜、１０：バツフ
アタンク、１２：熱交換器。
Claims (1)
- １ 反応チヤンバーを貫通し、回転と横移動とを
可能にガラス旋盤に装着したコア材のターゲツト
棒、該ターゲツト棒が反応チヤンバー内に位置す
る部分の外周に、高周波プラズマを熱源とし原料
ガスを反応させながらクラツド材のガラス膜を形
成させる光フアイバ母材の製造装置において、前
記反応チヤンバーの前記ターゲツト棒の貫通孔に
不活性ガスを送入するガスシール手段と、前記反
応チヤンバー内の圧力を圧力センサにより検出し
ながら排気バルブに連動させる手段とを備え、反
応チヤンバー内のガスをバツフアタンク並びに熱
交換器を経て排気することを特徴とする光フアイ
バ母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23210483A JPS60122742A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23210483A JPS60122742A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60122742A JPS60122742A (ja) | 1985-07-01 |
| JPH0114181B2 true JPH0114181B2 (ja) | 1989-03-09 |
Family
ID=16934065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23210483A Granted JPS60122742A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60122742A (ja) |
-
1983
- 1983-12-07 JP JP23210483A patent/JPS60122742A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60122742A (ja) | 1985-07-01 |
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