JPH01142149U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01142149U JPH01142149U JP3865788U JP3865788U JPH01142149U JP H01142149 U JPH01142149 U JP H01142149U JP 3865788 U JP3865788 U JP 3865788U JP 3865788 U JP3865788 U JP 3865788U JP H01142149 U JPH01142149 U JP H01142149U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- spring
- built
- cylinder
- ion gun
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の正面図、第２図は
第１図の治具Ａのａ―ａ′線断面図、第３図は従
来の電子銃の一例の正面図である。 １……イオン銃本体、２……外周リング、３，
５……ナツト、７……シリンダ、９……ピストン
、１０……ねじ、１１，１２……パルスモータ、
１３……インターフエイス、１４……入力装置、
１５……ＣＰＵ、１７……スプリング、１８……
ねじ。
第１図の治具Ａのａ―ａ′線断面図、第３図は従
来の電子銃の一例の正面図である。 １……イオン銃本体、２……外周リング、３，
５……ナツト、７……シリンダ、９……ピストン
、１０……ねじ、１１，１２……パルスモータ、
１３……インターフエイス、１４……入力装置、
１５……ＣＰＵ、１７……スプリング、１８……
ねじ。
Claims (1)
- イオン銃本体の外側にリングを有し、該リング
には少くとも４つのねじ穴を設け、該ねじ穴には
該ねじ穴に適合するねじが外周に切られ、かつ、
内部が中空のシリンダ状で該シリンダ内部にスプ
リングを内蔵し該シリンダの両端部の内径は中央
部の内径よりも細く前記シリンダの外側の一端に
ねじを備え該ねじの先端は前記シリンダに内蔵さ
れた前記スプリングの一端に接し、かつ、内蔵さ
れた前記スプリングのもう一方の側にはピストン
を備え該ピストンの先端が前記イオン銃本体に接
する前記スプリングを内蔵する治具と、外側にケ
ーブルによりインターフエイスを介して制御用の
コンピユータに接続され、かつ、該コンピユータ
には入力装置が接続され該入力装置から入力され
たデータにより回転を制御するパルスモータを備
えたねじが前記リングの前記スプリングを内蔵す
る治具と対称の位置にあるねじ穴に備えられ、前
記スプリングを内蔵する治具と、外部に前記パル
スモータを備えたねじにより前記イオン銃本体を
支える構造を有することを特徴とするイオン銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3865788U JPH01142149U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3865788U JPH01142149U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01142149U true JPH01142149U (ja) | 1989-09-28 |
Family
ID=31265203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3865788U Pending JPH01142149U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01142149U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019167165A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリング装置及びイオンミリング装置のイオン源調整方法 |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP3865788U patent/JPH01142149U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019167165A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリング装置及びイオンミリング装置のイオン源調整方法 |
| JPWO2019167165A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2021-02-04 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング装置及びイオンミリング装置のイオン源調整方法 |
| US11244802B2 (en) | 2018-02-28 | 2022-02-08 | Hitachi High-Tech Corporation | Ion milling device and ion source adjusting method for ion milling device |
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