JPH01143906A - 不透明体表裏面の平行度測定装置 - Google Patents
不透明体表裏面の平行度測定装置Info
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- JPH01143906A JPH01143906A JP30249787A JP30249787A JPH01143906A JP H01143906 A JPH01143906 A JP H01143906A JP 30249787 A JP30249787 A JP 30249787A JP 30249787 A JP30249787 A JP 30249787A JP H01143906 A JPH01143906 A JP H01143906A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 20
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の目的）
この発明は物体の機械的精度の光学的測定手段に関する
ｌ２ので、特に不透明な板状の物体の表裏両面の平ξ度
を３速、簡便かつ精密に測定できる手段を提供するのが
この発明の第１の目的である。
ｌ２ので、特に不透明な板状の物体の表裏両面の平ξ度
を３速、簡便かつ精密に測定できる手段を提供するのが
この発明の第１の目的である。
この発明の第２の目的は、透明体の表裏両面の平后度を
測定する場合にも同様手段で簡便に使用できる装置を提
供するのにある。
測定する場合にも同様手段で簡便に使用できる装置を提
供するのにある。
不透明物体の表裏両面の平后度の精密な測定を欲する場
合、たとえば秒速のオーダーで迅速、簡便に使用できる
装置は全く知られていない。この発明はこのような使用
目的Ｑこ確実に対処できる手段を研究工夫したｌ２ので
、以下、図示した一実施例につきこの発明を説明する。
合、たとえば秒速のオーダーで迅速、簡便に使用できる
装置は全く知られていない。この発明はこのような使用
目的Ｑこ確実に対処できる手段を研究工夫したｌ２ので
、以下、図示した一実施例につきこの発明を説明する。
（発明の構成）
囲み鎖線によりＱで表示したのはレーサーの平２テ光束
を射出する投光装置である。図示の実施例によれば、図
示を省略したが光源にはヘリウム・ネオンレーザ−光発
生装置が使用されている。なお、図示の例によれば集光
されたレーザー光束は２面反射プリズムＰｌにより光路
を変換するとともにコリメーターレンズに１により平行
光束への射出が可能になっている。
を射出する投光装置である。図示の実施例によれば、図
示を省略したが光源にはヘリウム・ネオンレーザ−光発
生装置が使用されている。なお、図示の例によれば集光
されたレーザー光束は２面反射プリズムＰｌにより光路
を変換するとともにコリメーターレンズに１により平行
光束への射出が可能になっている。
Ｂはビームスプリッタ−で、前記した投光装置ｑから射
出された平行光束４を受け、プリズム境界面Ｇにおいて
反射光束と透明光束に分割するｌ２のである。
出された平行光束４を受け、プリズム境界面Ｇにおいて
反射光束と透明光束に分割するｌ２のである。
Ｍｌは第１の反射鏡で、ビームスプリッタ−Ｂのプリズ
ム境界面Ｇの反射光束１１の光路Ｌ１に設けられている
。
ム境界面Ｇの反射光束１１の光路Ｌ１に設けられている
。
誠２は第２の反射鏡で、ビームスプリッタ−Ｂのプリズ
ム境界面Ｇの透過光束りの光ｗ！ＩＬ２に設けられてい
る。
ム境界面Ｇの透過光束りの光ｗ！ＩＬ２に設けられてい
る。
凹み鎖線によりＲで表示したのは受光装置で、前記した
光路Ｌ１の前記プリズム境界面Ｇの背後への延長光路Ｌ
５にそい、前記プリズム境界面Ｇから射出する光束へを
受光し、集光投映するｌ２ので、図示例によれば、前記
した光束へをコリメーターレンズに２で受け、２面反射
プリズムＰ２で方向変換して集光し、ターゲットＴに投
映できるようになっている。
光路Ｌ１の前記プリズム境界面Ｇの背後への延長光路Ｌ
５にそい、前記プリズム境界面Ｇから射出する光束へを
受光し、集光投映するｌ２ので、図示例によれば、前記
した光束へをコリメーターレンズに２で受け、２面反射
プリズムＰ２で方向変換して集光し、ターゲットＴに投
映できるようになっている。
この発明によれば、前記した光路Ｌ３および前記した光
路Ｌ４はたがいに一致させなければならない。
路Ｌ４はたがいに一致させなければならない。
図示例によれば、反射鏡１１１および反射鏡Ｍ２にはそ
れぞれ鏡面の角度調整具（ｒＭ示は省略した）を設け、
容易に光路Ｌ３および光路Ｌ４．）一致カ得うれるよう
になっている。
れぞれ鏡面の角度調整具（ｒＭ示は省略した）を設け、
容易に光路Ｌ３および光路Ｌ４．）一致カ得うれるよう
になっている。
Ｓはたがいに一致させた光路Ｌ３および光路Ｌ４に挿入
した被検試料で、このように被検試料Ｓを挿入すること
により、前記光路Ｌ１および前記光路Ｌ３からなる被検
試料Ｓへの第１の投射光路と、前記光路Ｌ２および前記
光路Ｌ４からなる被検試料Ｓへの＄２の投射光路が形成
されている。なお、図示において、被検試料ＳはＮ１の
反射鏡町およびＩＥ２の反射１１Ｍ２からほぼ等距離の
位置に描かれているけれども、この発明によれば、被検
試料Ｓの位置は後述するように、一致させた前記光路Ｌ
３ Ｔ Ｌ４上の任意の位１１１Ｇこ選定することがで
きる。
した被検試料で、このように被検試料Ｓを挿入すること
により、前記光路Ｌ１および前記光路Ｌ３からなる被検
試料Ｓへの第１の投射光路と、前記光路Ｌ２および前記
光路Ｌ４からなる被検試料Ｓへの＄２の投射光路が形成
されている。なお、図示において、被検試料ＳはＮ１の
反射鏡町およびＩＥ２の反射１１Ｍ２からほぼ等距離の
位置に描かれているけれども、この発明によれば、被検
試料Ｓの位置は後述するように、一致させた前記光路Ｌ
３ Ｔ Ｌ４上の任意の位１１１Ｇこ選定することがで
きる。
この発明は１記のようにしてなり、第１の反射鏡町をビ
ームスプリッタ−Ｂのプリズム境界面Ｇの反射光束１１
の光路Ｌ１に設け、第２の反射ｍに２をビームスプリッ
タ−Ｂのプリズム境界面Ｇの透過光束への光路Ｌ２に設
け、かつ前記光路Ｌ３と、前記光路Ｌ４とをたがいに一
致させであるので、前記プリズム境界面Ｇを起点とし、
反射１１１ＭＩから反射鏡Ｍ２をへて再びプリズム境界
面Ｇに戻る、すなわち、図示では左回りの光束の光路長
と、同様Ｅ１プリズム境界面Ｇを起点とし、反射鏡Ｍ２
から反射Ｉｌｌ、をへてプリズム境界面Ｇに戻る石回り
の光束の光路長とは、プリズム境界面Ｇのどの点を起点
とする場合でもたがいに等しい。
ームスプリッタ−Ｂのプリズム境界面Ｇの反射光束１１
の光路Ｌ１に設け、第２の反射ｍに２をビームスプリッ
タ−Ｂのプリズム境界面Ｇの透過光束への光路Ｌ２に設
け、かつ前記光路Ｌ３と、前記光路Ｌ４とをたがいに一
致させであるので、前記プリズム境界面Ｇを起点とし、
反射１１１ＭＩから反射鏡Ｍ２をへて再びプリズム境界
面Ｇに戻る、すなわち、図示では左回りの光束の光路長
と、同様Ｅ１プリズム境界面Ｇを起点とし、反射鏡Ｍ２
から反射Ｉｌｌ、をへてプリズム境界面Ｇに戻る石回り
の光束の光路長とは、プリズム境界面Ｇのどの点を起点
とする場合でもたがいに等しい。
いま、被検試料Ｓの未挿入状態において、プリズム境界
面Ｇに戻った前記左回りの光束は、プリズム境界面Ｇに
おいて反射し、前記光路Ｌ１の前記プリズム境界面Ｇの
背後への延長光路Ｌ５をへて受光装置１Ｈに達し、一方
、プリズム境界面Ｇに戻った前記右回りの光束はプリズ
ム境界面Ｇを透過し、同様に前記延長光路Ｌ５をへて受
光装置Ｒに達する。
面Ｇに戻った前記左回りの光束は、プリズム境界面Ｇに
おいて反射し、前記光路Ｌ１の前記プリズム境界面Ｇの
背後への延長光路Ｌ５をへて受光装置１Ｈに達し、一方
、プリズム境界面Ｇに戻った前記右回りの光束はプリズ
ム境界面Ｇを透過し、同様に前記延長光路Ｌ５をへて受
光装置Ｒに達する。
すなわち、投光装置Ｑの射出光束ちのビームスプリッタ
−Ｂによる反射光束と、同じく透過光束とは同一位相に
おいて受光装＠Ｒに達するので、受光ＷｇＩＲによって
観測される視野には干渉舗がなく、明または暗の、いわ
ゆるワンカラーの視野が尋られる。
−Ｂによる反射光束と、同じく透過光束とは同一位相に
おいて受光装＠Ｒに達するので、受光ＷｇＩＲによって
観測される視野には干渉舗がなく、明または暗の、いわ
ゆるワンカラーの視野が尋られる。
そこで、前記した光路Ｌ３＋Ｌ４に不透明体の被検試ａ
Ｓを挿入すれば、前記した光路Ｌ１および光路Ｌ３から
なる被検試料Ｓへの第１の投射光路と、前記した光路Ｌ
２および光路Ｌ４からなる被検試料Ｓへの第２の投射光
路がそれぞれ別個に光学系を形成する。そして、前記第
１の投射光路にかかる光束の被検試ＢＳによる反射光束
は反射ｌ１１Ｍ１およびビームスプリッタ−Ｂをへて受
光装！ｌｌＲに達する一方、前記＠２の投射光路にかか
る光束の被検試料Ｓによる反射光束は反射ｗＡ−および
ビームスプリッタ−Ｂをへて受光装置１Ｒに達する。
Ｓを挿入すれば、前記した光路Ｌ１および光路Ｌ３から
なる被検試料Ｓへの第１の投射光路と、前記した光路Ｌ
２および光路Ｌ４からなる被検試料Ｓへの第２の投射光
路がそれぞれ別個に光学系を形成する。そして、前記第
１の投射光路にかかる光束の被検試ＢＳによる反射光束
は反射ｌ１１Ｍ１およびビームスプリッタ−Ｂをへて受
光装！ｌｌＲに達する一方、前記＠２の投射光路にかか
る光束の被検試料Ｓによる反射光束は反射ｗＡ−および
ビームスプリッタ−Ｂをへて受光装置１Ｒに達する。
いま、表裏の両面が平行な被検試Ｂｓを反射鏡Ｍ１と反
射鏡賛２間の距離の２分の１の箇所に挿入しだとすれば
、光路Ｌ３と光路Ｌ４の光路長とは等しくなるので、前
記第１の投射光路にかかる光束の被検試料Ｓによる反射
光束が反射鏡Ｍ１およびビームスプリッタ＝Ｂをへて受
光装＠已に達した光束と、前記第２の投射光路にかかる
光束の被検試料Ｓによる反射光束が反射鏡Ｍ２およびビ
ームスプリッタ−Ｂをへて受光装ｆａＲに達した光束と
は光波の位相が一致するので、前記のように被検試料Ｓ
の未挿入状態と同様、ワンカラーの視野が受光装置Ｒに
より観測される。
射鏡賛２間の距離の２分の１の箇所に挿入しだとすれば
、光路Ｌ３と光路Ｌ４の光路長とは等しくなるので、前
記第１の投射光路にかかる光束の被検試料Ｓによる反射
光束が反射鏡Ｍ１およびビームスプリッタ＝Ｂをへて受
光装＠已に達した光束と、前記第２の投射光路にかかる
光束の被検試料Ｓによる反射光束が反射鏡Ｍ２およびビ
ームスプリッタ−Ｂをへて受光装ｆａＲに達した光束と
は光波の位相が一致するので、前記のように被検試料Ｓ
の未挿入状態と同様、ワンカラーの視野が受光装置Ｒに
より観測される。
ところで、平行な表裏面をもつ前記した被検試料Ｓを、
不平ｄな表裏面をもつ被検試料ＳＧこ置き換えた場合は
、前記した光路Ｌ３と光路Ｌ４の光路長に差異があるの
で、前記のようにして受′に装置Ｒに達したふたつの光
束間に位相差が発生し、そのため、受光装置ＩＨにより
光の干＃鳩が観測される。
不平ｄな表裏面をもつ被検試料ＳＧこ置き換えた場合は
、前記した光路Ｌ３と光路Ｌ４の光路長に差異があるの
で、前記のようにして受′に装置Ｒに達したふたつの光
束間に位相差が発生し、そのため、受光装置ＩＨにより
光の干＃鳩が観測される。
第２図を参照し、いま、干渉縞が観測される方＠（こお
ける被検試ＵＳの長さ（被検試料Ｓが円板である場合に
ついては前記した方同の直径）を！、端部の厚みをｈｌ
、ｈ２、表裏面の平行度を！とすれば
ｈ １ ｈ ２ ＝Δｈ！＝Δｂ／ｌ・・・・・・
・・・・・・（１）である。−万、前記した位相差は 電入 ＝２Δｈ 従って、 △ト１λ／２・・・・・・・・・・・・・・（２）が湿
られる。ただし、λは光の波長、■は干渉鳴の次数（シ
フト量）である。
ける被検試ＵＳの長さ（被検試料Ｓが円板である場合に
ついては前記した方同の直径）を！、端部の厚みをｈｌ
、ｈ２、表裏面の平行度を！とすれば
ｈ １ ｈ ２ ＝Δｈ！＝Δｂ／ｌ・・・・・・
・・・・・・（１）である。−万、前記した位相差は 電入 ＝２Δｈ 従って、 △ト１λ／２・・・・・・・・・・・・・・（２）が湿
られる。ただし、λは光の波長、■は干渉鳴の次数（シ
フト量）である。
ゆえに、式（２）を式（１）に代入すれば、平行度デは
ｆ ＝、＾ ／２２・・・・
・・・・・・・・ （３）である。
ｆ ＝、＾ ／２２・・・・
・・・・・・・・ （３）である。
以下、数値例を掲げると、光＠Ｑに波長０．６３３ｍｍ
のＨｅ−Ｎｅレーザーを用い、ｌは５０ ｍ＋ａとする
。
のＨｅ−Ｎｅレーザーを用い、ｌは５０ ｍ＋ａとする
。
！！測視野における干渉鳩が１本、すなわちｍ＝１とす
れば、式（３）は Ｌ；６．３３Ｘ １０ ’ Ｒａｄ すなわち、表裏平面間の傾き角をθとすればθ ＝ ｔ
ａｎ ’６．３３Ｘ １０−６幻１．３秒 の測定値が得られる。
れば、式（３）は Ｌ；６．３３Ｘ １０ ’ Ｒａｄ すなわち、表裏平面間の傾き角をθとすればθ ＝ ｔ
ａｎ ’６．３３Ｘ １０−６幻１．３秒 の測定値が得られる。
ところで、観測視野における干渉縞の本数については１
／２本の判定が可能であるから、傾き角θが帆６５秒ま
での平行度の測定が容易に可能である。
／２本の判定が可能であるから、傾き角θが帆６５秒ま
での平行度の測定が容易に可能である。
なお、観測視野における干渉栖の本数の判定については
第３図を膠原されたい。
第３図を膠原されたい。
以上の説明においては、説明の便宜上被検試料Ｓの挿入
位置を反射鏡Ｍ１と反射鏡１１１２の丁度中央とし、被
検試料Ｓの表裏両面がたがいに平行である場合について
は１記光路Ｌ３および光路Ｌ４の光路長に差がない場合
をｎ提にした。事実、光源光がインコヒーレントな普通
光の場合は、被検試料Ｓの挿入位置の誤差が１μ麺を超
える場合は表裏両面が不平オテな場合の干渉惰の観測は
困難となるのである。しかしながら、この発明によれば
光源光（こコヒーレンシーの高いレーザー光を用いてい
るので、前記した被検試料Ｓの挿入位置や、反射鏡Ｍ１
、反射鏡Ｍ２間に形成される光路に対する被検試料Ｓの
直交性の誤差は問題にならず、反射鏡に１、反射鏡Ｍ２
間の適当な箇所に被検試料を挿入すれば、容易に前記干
渉偽を観測し、被検試料Ｓの両面間の平行度を相当の高
精度で測定できる。
位置を反射鏡Ｍ１と反射鏡１１１２の丁度中央とし、被
検試料Ｓの表裏両面がたがいに平行である場合について
は１記光路Ｌ３および光路Ｌ４の光路長に差がない場合
をｎ提にした。事実、光源光がインコヒーレントな普通
光の場合は、被検試料Ｓの挿入位置の誤差が１μ麺を超
える場合は表裏両面が不平オテな場合の干渉惰の観測は
困難となるのである。しかしながら、この発明によれば
光源光（こコヒーレンシーの高いレーザー光を用いてい
るので、前記した被検試料Ｓの挿入位置や、反射鏡Ｍ１
、反射鏡Ｍ２間に形成される光路に対する被検試料Ｓの
直交性の誤差は問題にならず、反射鏡に１、反射鏡Ｍ２
間の適当な箇所に被検試料を挿入すれば、容易に前記干
渉偽を観測し、被検試料Ｓの両面間の平行度を相当の高
精度で測定できる。
さらに、この発明によれば、不透明体と同様、透明体に
ついても表裏面の平行度を簡単に測定することができる
。すなわち、透明体の被検試料Ｓを反射境町、反射鏡Ｍ
２の中間に挿入するとともに、被検試料Ｓへの前記した
第１の投射光路または第２の投射光路に遮光板りを挿入
して使用する。すなわち、図示例によれば、前記投射光
路における光路Ｌ１に遮光板りが表示されているが、こ
のような遮光板りは光路Ｌｌのほか光路Ｌ３、または前
記第２の投射光路中の光路Ｌ２または光路Ｌ４に設けて
もよい。
ついても表裏面の平行度を簡単に測定することができる
。すなわち、透明体の被検試料Ｓを反射境町、反射鏡Ｍ
２の中間に挿入するとともに、被検試料Ｓへの前記した
第１の投射光路または第２の投射光路に遮光板りを挿入
して使用する。すなわち、図示例によれば、前記投射光
路における光路Ｌ１に遮光板りが表示されているが、こ
のような遮光板りは光路Ｌｌのほか光路Ｌ３、または前
記第２の投射光路中の光路Ｌ２または光路Ｌ４に設けて
もよい。
いま、−例として前記例のように光路Ｌ１に遮光板りを
挿入したｌ２のとすれば、被検試料Ｓに入射する光束は
光路Ｌ４を経由する。第４図を参照し、この大割光束ｌ
ａから、被検試料Ｓの表面による反射光束へと同じく底
面による反射光束ｔｃが生じ、これら２皿類の反射光束
は反射鏡Ｍ２およびビームスプリッターＢをへて受光装
！Ｈに達し、それら２種類の反射光束間の光路差により
第３図と同様な干渉ｉが観測される。
挿入したｌ２のとすれば、被検試料Ｓに入射する光束は
光路Ｌ４を経由する。第４図を参照し、この大割光束ｌ
ａから、被検試料Ｓの表面による反射光束へと同じく底
面による反射光束ｔｃが生じ、これら２皿類の反射光束
は反射鏡Ｍ２およびビームスプリッターＢをへて受光装
！Ｈに達し、それら２種類の反射光束間の光路差により
第３図と同様な干渉ｉが観測される。
この場合、
型入 ＝２ｎΔｈ
（ただしｎは被検試＠Ｓの屈折率）
が成立するので、
が得られる。そこで、式（４）による△ｈの計算値およ
び被検試料Ｓの長さノを式（１）に代入すれば表裏面の
平行度ｒの値または表裏面間の傾き角θが容易に計算さ
れる。
び被検試料Ｓの長さノを式（１）に代入すれば表裏面の
平行度ｒの値または表裏面間の傾き角θが容易に計算さ
れる。
（発明の効果）
かくして、この発明によれば、不透明体の表裏両面の平
行度が相当に高い精度をもって測定できるのみならず、
被検試料への投射光路への被検試料の挿入には厳密な位
置ぎめが不要であるから測定操作が容易簡便、かつきわ
めて迅速に行うことができるので、学術研究においては
もちろん、生産現場における使用にも最適である。さら
に、この発明によれば、光学ガラスその他透明材料の表
裏面の平行度の測定においても、同様に迅速正確にこれ
を行うことが可能であることも大きい特長である。
行度が相当に高い精度をもって測定できるのみならず、
被検試料への投射光路への被検試料の挿入には厳密な位
置ぎめが不要であるから測定操作が容易簡便、かつきわ
めて迅速に行うことができるので、学術研究においては
もちろん、生産現場における使用にも最適である。さら
に、この発明によれば、光学ガラスその他透明材料の表
裏面の平行度の測定においても、同様に迅速正確にこれ
を行うことが可能であることも大きい特長である。
第１図はこの発明にかかる装置の光路図、第２図は不透
明な被検試料の縦断面図、第３図は受光装置の観測視野
における干渉ｉの数の判定の解説図、第４図は透明な被
検試料の測定における光路ａ明図である。 Ｂはビームスプリッタ−１Ｇはプリズム境界面、ｑは投
光装置、Ｒは受光装置、Ｐｌ、Ｐ２は２面反射プリズム
、Ｋｌ、ＩＣ２はコリメーターレンズ、Ｍ１＋Ｈ２は反
射鏡、Ｓは被検試料、Ｄは遮光板、τはタープ”／ ト
ｓ Ｌ１１Ｌ２１Ｌ３１Ｌ４１Ｌ５ ｉａ光路ｓ ４
＋ Ｊｌ ｒ ／２ ＋ １３ ＋ １４ ＋４＋ ｌ
、ｔｂ＋ ｌｃは光束である。 特許出願人 株式会社 溝尻光学工業所第２図 第３ａｍ −ｌ −／ −１７−４−１−１１４図
明な被検試料の縦断面図、第３図は受光装置の観測視野
における干渉ｉの数の判定の解説図、第４図は透明な被
検試料の測定における光路ａ明図である。 Ｂはビームスプリッタ−１Ｇはプリズム境界面、ｑは投
光装置、Ｒは受光装置、Ｐｌ、Ｐ２は２面反射プリズム
、Ｋｌ、ＩＣ２はコリメーターレンズ、Ｍ１＋Ｈ２は反
射鏡、Ｓは被検試料、Ｄは遮光板、τはタープ”／ ト
ｓ Ｌ１１Ｌ２１Ｌ３１Ｌ４１Ｌ５ ｉａ光路ｓ ４
＋ Ｊｌ ｒ ／２ ＋ １３ ＋ １４ ＋４＋ ｌ
、ｔｂ＋ ｌｃは光束である。 特許出願人 株式会社 溝尻光学工業所第２図 第３ａｍ −ｌ −／ −１７−４−１−１１４図
Claims (1)
- レーザーの平行光束を射出する投光装置Ｑと、投光装置
Ｑの射出光束ｌ＿０を受けて反射光束と透過光束に分割
するビームスプリッターＢと、ビームスプリッターＢの
プリズム境界面Ｇの反射光束ｌ＿１の光路Ｌ＿１に設け
た第１の反射鏡Ｍ＿１と、ビームスプリッターＢのプリ
ズム境界面Ｇの透過光束ｌ＿２の光路Ｌ＿２に設けた第
２の反射鏡Ｍ＿２と、前記光路Ｌ＿１の前記プリズム境
界面Ｇの背後への延長光路Ｌ＿５にそい前記プリズム境
界面Ｇから射出する光束ｌ＿５を受光して集光投映する
受光装置Ｒとを有し、前記光束ｌ＿１の反射鏡Ｍ＿１の
反射光束ｌ＿３の光路Ｌ＿３および前記光路Ｌ＿２の反
射鏡Ｍ＿２の反射光束ｌ＿４の光路Ｌ＿４をたがいに一
致させるとともに前記光路Ｌ＿３、Ｌ＿４に被検試料Ｓ
を挿入することにより、前記光路Ｌ＿１および前記光路
Ｌ＿３からなる被検試料Ｓへの第１の投射光路と、前記
光路Ｌ＿２および前記光路Ｌ＿４からなる被検試料Ｓへ
の第２の投射光路とを形成してなる不透明体表裏面の平
行度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30249787A JPH01143906A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 不透明体表裏面の平行度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30249787A JPH01143906A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 不透明体表裏面の平行度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143906A true JPH01143906A (ja) | 1989-06-06 |
Family
ID=17909670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30249787A Pending JPH01143906A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | 不透明体表裏面の平行度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143906A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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