JPH01145581A - 誘電体膜の静電容量測定方法 - Google Patents
誘電体膜の静電容量測定方法Info
- Publication number
- JPH01145581A JPH01145581A JP62305044A JP30504487A JPH01145581A JP H01145581 A JPH01145581 A JP H01145581A JP 62305044 A JP62305044 A JP 62305044A JP 30504487 A JP30504487 A JP 30504487A JP H01145581 A JPH01145581 A JP H01145581A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はプラスチックコンデンサなどの誘電体膜の両面
間の静電容量や、電子複写機の転写材搬送ベルトのよう
な片面に導体電極を存する誘電体膜の静電容量測定方法
に関するものである。
間の静電容量や、電子複写機の転写材搬送ベルトのよう
な片面に導体電極を存する誘電体膜の静電容量測定方法
に関するものである。
従来の技術
誘電体板や膜の両面間の静電容量を測定する方法として
、前記誘電体板や膜の両面に、たとえば真空蒸着のよう
な方法で導体電極を設け、この電極間の静電容量を測定
する方法はよく知られている。また、コンデンサ用プラ
スチックフィルムの静電容量を測定する方法として、平
滑電極面の間にプラスチックフィルムを挟んで、電極間
に静電容量計を接続する方法がＪＩＳ規格に記載されて
いる。コンデンサ材料に限らなくても、たとえば、片面
に導体電極を持つところの、誘電体と導体との複合体に
おける誘電体層の静電容量を測定するのに、前記の方法
が通用される。
、前記誘電体板や膜の両面に、たとえば真空蒸着のよう
な方法で導体電極を設け、この電極間の静電容量を測定
する方法はよく知られている。また、コンデンサ用プラ
スチックフィルムの静電容量を測定する方法として、平
滑電極面の間にプラスチックフィルムを挟んで、電極間
に静電容量計を接続する方法がＪＩＳ規格に記載されて
いる。コンデンサ材料に限らなくても、たとえば、片面
に導体電極を持つところの、誘電体と導体との複合体に
おける誘電体層の静電容量を測定するのに、前記の方法
が通用される。
誘電体の静電容量を測定する目的は、誘電体間に蓄えら
れる電荷量を知って、その誘電体を用いて作られるデバ
イスの特性を所望のものとするためである。たとえば、
コンデンサフィルム材料においては、完成品のコンデン
サの静電容量を所定の値に的中させるためである。
れる電荷量を知って、その誘電体を用いて作られるデバ
イスの特性を所望のものとするためである。たとえば、
コンデンサフィルム材料においては、完成品のコンデン
サの静電容量を所定の値に的中させるためである。
発明が解決しようとする問題点
上記の真空蒸着を用いる方法は、測定値の精度は高いが
、測定に用いた誘電体から蒸着電極を除去しない限り、
他に使用することができないので、いわば破壊試験であ
る。また、測定の試料準備に多大の労力と蒸着設備を必
要とする。誘電体フィルムの両面から平滑な電極を接触
させて静電容量を測定する方法は、簡便ではあるが誘電
体と電極との間にどうしても空隙がありこの空隙の静電
容量が直列に挿入されるために測定誤差が生じることは
避けがたい。
、測定に用いた誘電体から蒸着電極を除去しない限り、
他に使用することができないので、いわば破壊試験であ
る。また、測定の試料準備に多大の労力と蒸着設備を必
要とする。誘電体フィルムの両面から平滑な電極を接触
させて静電容量を測定する方法は、簡便ではあるが誘電
体と電極との間にどうしても空隙がありこの空隙の静電
容量が直列に挿入されるために測定誤差が生じることは
避けがたい。
問題点を解決するための手段
本発明における誘電体膜の静電容量の測定では、誘電体
に接触させる電極と前記誘電体との間に電導性水溶液を
介在させるものである。
に接触させる電極と前記誘電体との間に電導性水溶液を
介在させるものである。
作用
測定すべき誘電体と導体電極との間の空隙に介−在させ
た電導性水溶液が誘電体に接する測定電気回路上の電極
の作用をする。前記導体電極は測定電気回路上では集電
極の作用をする。前記電導性水溶液電極は液体であるの
で、測定すべき誘電体膜に凹凸があっても被測定物と測
定電極との間に測定誤差を生じさせるような余計な誘電
体成分は存在しない。
た電導性水溶液が誘電体に接する測定電気回路上の電極
の作用をする。前記導体電極は測定電気回路上では集電
極の作用をする。前記電導性水溶液電極は液体であるの
で、測定すべき誘電体膜に凹凸があっても被測定物と測
定電極との間に測定誤差を生じさせるような余計な誘電
体成分は存在しない。
静電容量の測定は交流ブリッジで行われる。この場合、
被測定物である誘電体の交流インピーダンスに対して電
導性水溶液電極のインピーダンスが十分に小さいことが
必要な条件であるが、水溶液の電導度を高めること、測
定周波数を低くすることによって前記条件は満たされる
。
被測定物である誘電体の交流インピーダンスに対して電
導性水溶液電極のインピーダンスが十分に小さいことが
必要な条件であるが、水溶液の電導度を高めること、測
定周波数を低くすることによって前記条件は満たされる
。
実施例
以下本発明の一実施例について図面を用いて説明する。
第１図において静電容量の被測定試料１ （誘電体）を
十分な電導性水溶液４を介在させて下部集電極３のうえ
に置き、さらに被測定試料の上に十分な電導性水溶液４
を介在させて、その上に上部集電極である測定電極２を
乗せる。被測定試料と測定電極との間からはみ出した余
分の水溶液を乾布かティッシェペーパーで拭い去った後
、画電極に交流ブリッジまたはＬＣＲメーターを接続し
て、静電容量の測定を行う。
十分な電導性水溶液４を介在させて下部集電極３のうえ
に置き、さらに被測定試料の上に十分な電導性水溶液４
を介在させて、その上に上部集電極である測定電極２を
乗せる。被測定試料と測定電極との間からはみ出した余
分の水溶液を乾布かティッシェペーパーで拭い去った後
、画電極に交流ブリッジまたはＬＣＲメーターを接続し
て、静電容量の測定を行う。
被測定試料の単位面積込りの静電容量を求めるには測定
電極の試料接触部の面積を求めておく必要がある。下部
の集電極の接触部は測定電極より大きければよく面積が
既知である必要はない。
電極の試料接触部の面積を求めておく必要がある。下部
の集電極の接触部は測定電極より大きければよく面積が
既知である必要はない。
電導性水溶液の比抵抗が１０６以下であれば５μｍ以上
の厚みの常誘電体膜の測定が可能である。
の厚みの常誘電体膜の測定が可能である。
したがって、放置により炭酸ガスを吸収した純水や水道
水が使用できる。測定精度向上のためやさらに薄い誘電
体膜の静電容量測定に対しては揮発性の電解質、たとえ
ば炭酸アンモニュウム、酢酸。
水が使用できる。測定精度向上のためやさらに薄い誘電
体膜の静電容量測定に対しては揮発性の電解質、たとえ
ば炭酸アンモニュウム、酢酸。
酢酸アンモニウムの水溶液を用いることにより、測定後
放置するだけで容易に除去されるので測定試料をそのま
ま他の用途に供することができる。
放置するだけで容易に除去されるので測定試料をそのま
ま他の用途に供することができる。
第１図の場合において、測定面が直径５ｃｍの銅製の測
定電極を用いて、電極と誘電体の間に電導性水溶液とし
て水道水を介在させて測定した。
定電極を用いて、電極と誘電体の間に電導性水溶液とし
て水道水を介在させて測定した。
１００μｍ厚の延伸ポリエステルフィルムの静電容量は
２９．６μＦ ／ ｃ−であった、測定はＬＣＲメータ
でＩＫＨｚで行った。この試料の比誘電率は３．３５と
計算された。フィルムメーカーの公称の比誘電率値３．
３から計算される静電容量は２９．２μＦ／ａｄ
（でありよく一致している。
２９．６μＦ ／ ｃ−であった、測定はＬＣＲメータ
でＩＫＨｚで行った。この試料の比誘電率は３．３５と
計算された。フィルムメーカーの公称の比誘電率値３．
３から計算される静電容量は２９．２μＦ／ａｄ
（でありよく一致している。
なお、上記の測定において電解液を介在させないで測定
した場合の静電容量は、１７．８μＦ／−であった。
した場合の静電容量は、１７．８μＦ／−であった。
第２図は導体１ｂと誘電体１ａから成る測定試料の例を
示したものである。たとえば片面にアルミニニウムを蒸
着したポリエステルフィルムがこれに相当する。この場
合、当然、導体に接触する集電極には電導性水溶液を用
いる必要はない。
示したものである。たとえば片面にアルミニニウムを蒸
着したポリエステルフィルムがこれに相当する。この場
合、当然、導体に接触する集電極には電導性水溶液を用
いる必要はない。
発明の効果
以上述べたように、本発明の方法によれば、誘電体膜や
片面に導体を有する誘電体膜の静電容量を、試料を破壊
することなく簡便にしかも精度よく測定することができ
る。たとえば、複写機に用いられる内側が導体層、外側
が誘電体層からなるエンドレスの転写、＊送ベルトでは
誘電体層の静電容量が転写、および用紙の搬送に大きく
影響する。本発明の静電容量の測定法によりベルトを破
壊することなく検査できる。
片面に導体を有する誘電体膜の静電容量を、試料を破壊
することなく簡便にしかも精度よく測定することができ
る。たとえば、複写機に用いられる内側が導体層、外側
が誘電体層からなるエンドレスの転写、＊送ベルトでは
誘電体層の静電容量が転写、および用紙の搬送に大きく
影響する。本発明の静電容量の測定法によりベルトを破
壊することなく検査できる。
第１図は本発明における一実施例における誘電体の静電
容量の測定方法を示した電極構成を示した構成図、第２
図は本発明における一実施例における片面に導体層を有
する誘電体の静電容量の測定方法を示した電極構成を示
した構成図である。 １・・・・・・測定試料、１ａ・・・・・・誘電体、１
ｂ・・・・・・導体、２・・・・・・測定電極、３・・
・・・・下部集電極、２ａ。 ３ａ・・・・・・電極端子線、４・・・・・・電導性水
溶液。
容量の測定方法を示した電極構成を示した構成図、第２
図は本発明における一実施例における片面に導体層を有
する誘電体の静電容量の測定方法を示した電極構成を示
した構成図である。 １・・・・・・測定試料、１ａ・・・・・・誘電体、１
ｂ・・・・・・導体、２・・・・・・測定電極、３・・
・・・・下部集電極、２ａ。 ３ａ・・・・・・電極端子線、４・・・・・・電導性水
溶液。
Claims (2)
- （１）誘電体面に接する測定電極と前記誘電体面との間
に電導性水溶液を介在させることを特徴とする誘電体膜
の静電容量測定方法。 - （２）電導性水溶液が揮発性であることを特徴とする特
許請求の範囲第（１）項記載の誘電体膜の静電容量測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62305044A JPH01145581A (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 誘電体膜の静電容量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62305044A JPH01145581A (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 誘電体膜の静電容量測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145581A true JPH01145581A (ja) | 1989-06-07 |
Family
ID=17940432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62305044A Pending JPH01145581A (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 誘電体膜の静電容量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01145581A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015172546A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | リンテック株式会社 | 電気特性測定装置 |
| JPWO2023095303A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | ||
| JP2024023323A (ja) * | 2018-07-11 | 2024-02-21 | Ｎｅｘｔ Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎ合同会社 | 抵抗測定方法及び接合型整流素子 |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP62305044A patent/JPH01145581A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015172546A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | リンテック株式会社 | 電気特性測定装置 |
| JP2024023323A (ja) * | 2018-07-11 | 2024-02-21 | Ｎｅｘｔ Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎ合同会社 | 抵抗測定方法及び接合型整流素子 |
| JPWO2023095303A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | ||
| WO2023095303A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | 国立大学法人東北大学 | 静電容量測定装置、誘電率測定装置および誘電率の測定方法 |
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