JPH01146566U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01146566U JPH01146566U JP4335288U JP4335288U JPH01146566U JP H01146566 U JPH01146566 U JP H01146566U JP 4335288 U JP4335288 U JP 4335288U JP 4335288 U JP4335288 U JP 4335288U JP H01146566 U JPH01146566 U JP H01146566U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- bulb
- gas
- inert gas
- small tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すガスレーザ装
置のウインド装置の概念図、第２図は従来の実施
例を示すガスレーザ装置のウインド装置の概念図
。 １…レーザチヤンバ、２…チヤンバ内部、３…
バルブ、４…ウインド、５…ホルダ、６…空間、
７…吸排気口、８…排気ポンプ、９，１３…バル
ブ、１０…不活性ガスタンク、１１…圧力計、１
２…タンク。
置のウインド装置の概念図、第２図は従来の実施
例を示すガスレーザ装置のウインド装置の概念図
。 １…レーザチヤンバ、２…チヤンバ内部、３…
バルブ、４…ウインド、５…ホルダ、６…空間、
７…吸排気口、８…排気ポンプ、９，１３…バル
ブ、１０…不活性ガスタンク、１１…圧力計、１
２…タンク。
Claims (1)
- 光軸上に、ホルダによつてレーザ容器本体に接
続されたウインド等の光学素子を備え、上記ホル
ダとレーザ容器との間を自由に遮蔽できるバルブ
と、上記バルブとホルダとの間にできる空間を排
気し、不活性ガスを導入できる吸排気機構とを設
けたガスレーザにおいて、不活性ガスの配管途中
に小タンクを設け、その前後にバルブを配置した
ことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4335288U JPH01146566U (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4335288U JPH01146566U (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01146566U true JPH01146566U (ja) | 1989-10-09 |
Family
ID=31269751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4335288U Pending JPH01146566U (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01146566U (ja) |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP4335288U patent/JPH01146566U/ja active Pending