JPH01149346A

JPH01149346A - 電子銃装置

Info

Publication number: JPH01149346A
Application number: JP62308258A
Authority: JP
Inventors: Takashi Watanabe; 隆渡辺
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1987-12-04
Filing date: 1987-12-04
Publication date: 1989-06-12
Anticipated expiration: 2009-07-20
Also published as: JPH0654641B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、電子銃装置に関するものであり、詳しくはラ
イン状の電子ビームを出力する電子銃装置のカソードの
支持構造に関するものである。

（従来の技術）電子銃装置の一種に、ライン状の電子ビームを出力する
ように構成されたものがある。

第６図は、このような電子銃装置の概念構成図である。

図において、１はライン状に形成されたフィラメントで
あり、通電に応じて第１の熱電子２を放出する。３は例
えば１００リミ程度の長さのライン状に形成されたカソ
ードであり、一定の間隔を保ってフィラメント１と対向
するように配置されている。該カソード３はコの字状に
形成され、カソード支持体３ａによって支持されている
。カソード３はフィラメント１に対して所定の電位差を
持っている。フィラメント１から放出される第１の熱電
子２は電位差に引かれてカソード３に衝突し、カソード
３を加熱する。カソード３は加熱に応じて第２の熱電子
４を放出する。

５はグリッドであり、フィラメント１を内包する第１の
カバー６の端面に固定されている。グリッド５は、カソ
ード３から出力される第２の熱電子４を集束形成する。

７は７ノードであり、第２のカバー８の開口部の内周に
固定されている。アノード７は、グリッド５で集束形成
された第２の熱電子４を電子ビーム９として引き出す。

尚、例えばカソード３に加速電圧を印加しない時、フィ
ラメント１には一２ＫＶが加えられ、カソード３は○Ｖ
に保たれ、グリッド５には一６ＫＶが加えられる。これ
により、フィラメント１とカソード３の電位差は２ＫＶ
になり、カソード３とグリッド５の電位差は一６ＫＶに
なり、フィラメント１とグリッド５の電位差は４ＫＶに
なる。

そして、カソード３は、フィラメント１から放出される
第１の熱電子の衝撃により２０００’″に以上の高温に
加熱されることになる。

（発明が解決しようとする問題点）上述した構造では、主に設計の単純さから、同一平面上
にコの字状フィラメント１とカソード３とが配置されて
おり、該カソードはフィラメントを覆うように設けられ
ている。この結果、フィラメント１の長手方向の長さが
、カソード３の長手方向の長さよりも短くなり、該カソ
ード端部はフィラメントからの電子衝撃を受けにくくな
る。第５図＜ａ　＞は、このようなフィラメント１とカ
ソード３の良さとカソード３の温度分布の関係を示して
おり、カソードがフィラメントより長い場合には、カソ
ード端部の温度が低く、この端部からの電子ビームの放
出量が必然的に中央部に比べ著しく低くなる。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、カ
ソードの温度分布の均一化が図られ、均一で安定な電子
ビームが１ｑられる電子銃装置を提供することにある。

（問題点を解決するための手段）前記した問題点を解決する本発明は、ライン状のフィラ
メントから出力される第１の熱電子をライン状のカソー
ドに衝突させて第２の熱電子を発生させ、この第２の熱
電子をカソードを両側から挟むようにカソードと平行に
対向配置されたグリッドで集束形成し、集束形成された
熱電子をアノードを介して電子ビームとして取り出すよ
うに構成された電子銃装置において、前記カソードの両端部を前記グリッドによって支持する
ように構成したことを特徴とするものである。

（作用）本発明は電子銃装置におけるカソードとグリッドは、カ
ソードの両端に設けられた突起体とグリッドの両端部に
配置されたサポートとで一体化される。そして、フィラ
メントをカソードよりも長く形成することができ、カソ
ードと略同じ長さの均一で且つ安定した電子ビームが得
られる。

（実施例）以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。

第１図は本発明の一実施例の要部の部分省略正面図、第
２図は第１図の側面図、第３図は第１図及び第２図の要
部の拡大図、第４図は第３図の要部の拡大図であり、第
６図と同一の部分には同一の符号を付けている。

これら図において、ライン状に形成されたグリッド５は
ライン状に形成されたカソード３を両側から挟むように
カソード３と平行に対向配置されている。カソード３の
両端面にはビン状の突起体１５が設けられている。１６
はサポートであり、略Ｖ字形に形成されている。このサ
ポート１６の端部はＶ字形の谷部がカソード３の取り付
は位置に位置するようにしてそれぞれ絶縁碍子１７を介
してグリッド５の各端部近傍間に固定されている。

サポート１６の谷部にはカソード３の端面に設けられた
突起体１５が嵌め合う取り付は穴１８が設けられている
。尚、このサポート１６の端部は、フィラメント１から
放出される第１の熱電子２の影響を小さくするためのフ
ィラメント１とカソード３との距離よりも離している。

１つはフィラメント１に電流を加えるための電流導入端
子、２０はケースである。

このような構成において、カソード３に設けられた突起
体くビン）１５をサポート１６の取り付け穴１８に着脱
可能に嵌め合わせる。この結果、カソード３とグリッド
５は、突起体１５とサポート１６を介して一体化される
ことになる。

このように構成することにより、従来の保持構造に比べ
て取り付はスペースを小さくすることができ、簡単にカ
ソード３を着脱交換できる。カソード３が高温で加熱さ
れることによって熱膨張して伸びた場合には突起体１５
のスライドによって吸収され、カソード３とグリッド５
との相対的な位置関係を常に略一定に保つことができる
。カソード３からの熱の流出は、サポート１６の肉厚を
できる限り薄くしたり、絶縁碍子１７でサポート１６と
グリッド５との間を熱絶縁して温度勾配を小さくするこ
とによりかなり少なくでき、温度安定度を高めることが
できる。

又、このように構成することにより、フィラメント１を
カソード３よりも長くすることができ、カソード３の温
度の均一化を高めることができる。

第５図（ｂ）に示すようにフィラメント１がカソード３
よりも長く形成された場合には温度分布の均一範囲はカ
ソード３の長さと略等しくなり、広い範囲に渡って均一
で有効な電子ビームを得ることができる。

更に、カソード３をグリッド５によって支持するように
構成したので、カソードとグリッドを高精度で位置決め
することができ、電子ビームを所望の形状に均一に集束
することができる。

（発明の効果）以上詳細に説明したように、本発明によれば、比較的小
さな取り付はスペースでカソードを簡単に着脱交換でき
、カソードの高精度の位置決めが行え、温度分布の均一
化が図れ、均一で且つ安定な電子ビームが得られる電子
銃装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部の部分省略正面図、第
２図は第１図の側面図、第３図は第１図及び第２図の要
部の拡大図、第４図は第３図の要部の拡大図、第５図は
フィラメント１とカソード３の長さ及びカソードの温度
分布の関係説明図、第６図は電子銃装置の概念構成図で
ある。１・・・フィラメント　　２・・・第１の熱電子３・・
・カソード　　　　４・・・第２の熱電子５・・・グリ
ッド　　　　７・・・アノード９・・・電子ビーム　　
　１５・・・ビン（突起体）１６・・・サポート　　　
１７・・・絶縁碍子１８・・・取り付は穴特許出願人　　日　　本　　電　　子　　株　　式　　
会　　社代　　理　　人　　　弁理士　　井　　島　　
藤　　治外１名第１図第２図筒３図第４図第５図（ａ）（ｂ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ライン状のフィラメントから出力される第１の熱
電子をライン状のカソードに衝突させて第２の熱電子を
発生させ、この第２の熱電子をカソードを両側から挟む
ようにカソードと平行に対向配置されたグリッドで集束
形成し、集束形成された熱電子をアノードを介して電子
ビームとして取り出すように構成された電子銃装置にお
いて、前記カソードの両端部を前記グリッドによつて支持するように構成したことを特徴とする電子銃装
置。
（２）フィラメントがカソードよりも長く形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子銃装置
。