JPH01151002A - 光磁気記録用電磁コイル - Google Patents
光磁気記録用電磁コイルInfo
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- JPH01151002A JPH01151002A JP30969587A JP30969587A JPH01151002A JP H01151002 A JPH01151002 A JP H01151002A JP 30969587 A JP30969587 A JP 30969587A JP 30969587 A JP30969587 A JP 30969587A JP H01151002 A JPH01151002 A JP H01151002A
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- JP
- Japan
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- magneto
- optical recording
- core
- electromagnetic coil
- magnetic
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10532—Heads
- G11B11/10534—Heads for recording by magnetising, demagnetising or transfer of magnetisation, by radiation, e.g. for thermomagnetic recording
Landscapes
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光磁気記録用電磁コイルに係り、特にコアの
先端部の構成に関する。
先端部の構成に関する。
近年、ｍ気記録媒体と同様に、情報の消去と再書き込み
とを繰り返し行うことが可能な記録媒体として、光磁気
記録媒体が注目されている。
とを繰り返し行うことが可能な記録媒体として、光磁気
記録媒体が注目されている。
光磁気記録媒体の記録膜は垂直磁化膜から成り。
デ２ｒジタル化された情報信号のＬ ｌ ＃ｌ、 ”
Ｑ Ｉｆに対応して残留磁化の向きが相反する向きに反
転した小磁区（磁化ドメイン）を形成することによって
情報を記録するようになっている。すなわち、光磁気記
録膜に高集約化された記録用レーザビームを照射すると
、光磁気記録膜が局部的にキュリー温度以上に昇温され
、該部のＭ（ヒが失われる。そこで、光磁気？ｉ１１！
録媒体に近接して配置された電磁コイルによって光磁気
記録膜に外部磁界を印加することによって、当該記録用
レーザビーム照射部を所望の向きに磁化することができ
る。従って、その磁化ドメインを情報信号の１ビツトに
対応することによって、情報を記録することができる。
Ｑ Ｉｆに対応して残留磁化の向きが相反する向きに反
転した小磁区（磁化ドメイン）を形成することによって
情報を記録するようになっている。すなわち、光磁気記
録膜に高集約化された記録用レーザビームを照射すると
、光磁気記録膜が局部的にキュリー温度以上に昇温され
、該部のＭ（ヒが失われる。そこで、光磁気？ｉ１１！
録媒体に近接して配置された電磁コイルによって光磁気
記録膜に外部磁界を印加することによって、当該記録用
レーザビーム照射部を所望の向きに磁化することができ
る。従って、その磁化ドメインを情報信号の１ビツトに
対応することによって、情報を記録することができる。
第９図に、従来より提案されている光磁気記録用電磁コ
イルの一例を示す。
イルの一例を示す。
この因に示すように、非磁性材にて形成さ汎たスラ・ｆ
ダ１の一端に、磁性材料から成るコア２が取り付けられ
ており、このコア２の基端部にコイル３が巻回されてい
る。スライダ１は所謂浮動式に構成されており、光磁気
１ｔＩｌ！録媒体（光磁気デーｆスク）４の回転駆動に
伴って発生する空気流の粘性によって光磁気記録媒体４
上から浮上し、コア２の先端部を光磁気記録媒体４の表
面からやや離隔した位置に保持する。コア２の先端部の
断面積Ｓは、所望とする磁束投影面積（磁化トメ−イン
５の大きさ）に応じて形成される。
ダ１の一端に、磁性材料から成るコア２が取り付けられ
ており、このコア２の基端部にコイル３が巻回されてい
る。スライダ１は所謂浮動式に構成されており、光磁気
１ｔＩｌ！録媒体（光磁気デーｆスク）４の回転駆動に
伴って発生する空気流の粘性によって光磁気記録媒体４
上から浮上し、コア２の先端部を光磁気記録媒体４の表
面からやや離隔した位置に保持する。コア２の先端部の
断面積Ｓは、所望とする磁束投影面積（磁化トメ−イン
５の大きさ）に応じて形成される。
【発明が解決しようとする問題点Ｊ
ところで、前記した光磁気記録媒体においては。
他の記録媒体と同様に、？Ｉ′ｉｉ録密度および記録容
量の向上が最も重要な技術的課題の１つになっており、
これに伴って、光磁気記録膜に対する磁束の投影面積を
小さくする研究がなされている。
量の向上が最も重要な技術的課題の１つになっており、
これに伴って、光磁気記録膜に対する磁束の投影面積を
小さくする研究がなされている。
この場合、第１θ図に、示すように、コア２の先端部を
細径化すれば、光磁気記録膜に対する磁束の投影面積を
小さくすることができる。しかしながら、コア２は一般
にセラミックスのような脆性材料にて形成されるので、
このような形状に形成すると、製造時および使用時に先
端部が欠は易く、歩留りが悪い、あるいは耐久性に劣る
といった問題がある。
細径化すれば、光磁気記録膜に対する磁束の投影面積を
小さくすることができる。しかしながら、コア２は一般
にセラミックスのような脆性材料にて形成されるので、
このような形状に形成すると、製造時および使用時に先
端部が欠は易く、歩留りが悪い、あるいは耐久性に劣る
といった問題がある。
本発明は、前にｄした従来技術の問題点を解決するため
になされたものであって１Ｍｉ束の投影面積が小さく、
かつ製造が容易で耐久性に優れた光磁気記録用？！電磁
コイル提供することを目的とするものである。
になされたものであって１Ｍｉ束の投影面積が小さく、
かつ製造が容易で耐久性に優れた光磁気記録用？！電磁
コイル提供することを目的とするものである。
本発明は、前記の目的を達成するため、コアの先端外周
部に非磁性材料から成る磁気遮蔽体を被着し、コアの光
磁気記録媒体との対向面の一部をこの磁気遮蔽体から露
出したことを特徴とするものである。
部に非磁性材料から成る磁気遮蔽体を被着し、コアの光
磁気記録媒体との対向面の一部をこの磁気遮蔽体から露
出したことを特徴とするものである。
〔作用」
コアの先端外周部を磁気遮蔽体にて包被すると。
包被部分からの漏れ磁束が減少され、光磁気記録媒体と
の対向面に形成されたコアの露出部に磁束を集中するこ
とができる。よって、その露出部の大きさを所望とする
磁束投影面積に応じた適宜の小径に形成しておくことに
よって、記録密度の向上および記録容量の増大を図るこ
と゛ができる。
の対向面に形成されたコアの露出部に磁束を集中するこ
とができる。よって、その露出部の大きさを所望とする
磁束投影面積に応じた適宜の小径に形成しておくことに
よって、記録密度の向上および記録容量の増大を図るこ
と゛ができる。
また、露出部の大きさによって磁束投影面積を規制する
ことができるので、コア自体の大きさを大型に形成する
ことは自由であり、よって、製造時や使用時における欠
けが防止され、製造の容易化および耐久性の改善を図る
ことができる。
ことができるので、コア自体の大きさを大型に形成する
ことは自由であり、よって、製造時や使用時における欠
けが防止され、製造の容易化および耐久性の改善を図る
ことができる。
第１図は本発明の第１実施例を示す要部側面図であって
、６は磁気遮蔽体を示し、その他第１図に示したと同様
の部材については、それと同一の符号をもって表示され
ている。
、６は磁気遮蔽体を示し、その他第１図に示したと同様
の部材については、それと同一の符号をもって表示され
ている。
スライダ１は、例えばチタン酸バリウム系セラミックス
、チタン酸カルシウム系セラミックス、フォルステライ
ト系セラミックス、ジルコニウム系セラミックスなど、
非磁性にして滑性に優九たセラミックスによって、所謂
浮動式に形成されている。
、チタン酸カルシウム系セラミックス、フォルステライ
ト系セラミックス、ジルコニウム系セラミックスなど、
非磁性にして滑性に優九たセラミックスによって、所謂
浮動式に形成されている。
一方、コア２は、高透磁率材料、あるいは高飽和磁束密
度かつ高透磁率の結晶質合金や非晶質合金によって形成
される。高透磁率材料としては。
度かつ高透磁率の結晶質合金や非晶質合金によって形成
される。高透磁率材料としては。
例えばマンガン−亜鉛系フェライトやニッケルー亜鉛系
フエラーｒトなどがある。また、高飽和磁束密度かつ筋
透磁率の結晶質合金としては、鉄−アルミニウムーケ、
ｒ素合金、鉄−ケ、ｒ素合金、ならびに鉄−ニッケル合
金などがある６また。非晶質合金としては、鉄、ニッケ
ル、コバルトのグループから選択さ九た１種以上の元素
と、リン、炭素。
フエラーｒトなどがある。また、高飽和磁束密度かつ筋
透磁率の結晶質合金としては、鉄−アルミニウムーケ、
ｒ素合金、鉄−ケ、ｒ素合金、ならびに鉄−ニッケル合
金などがある６また。非晶質合金としては、鉄、ニッケ
ル、コバルトのグループから選択さ九た１種以上の元素
と、リン、炭素。
ホウ素、ケイ素のグループから選択された１種以上の元
素とからなる合金、またはこれらを主成分として、アル
ミニウム、ゲルマニウム、ベリリウム、スズ、モリブデ
ン、インジウム、タングステン、チタン、マンガン、ク
ロム、ジルコニウム。
素とからなる合金、またはこれらを主成分として、アル
ミニウム、ゲルマニウム、ベリリウム、スズ、モリブデ
ン、インジウム、タングステン、チタン、マンガン、ク
ロム、ジルコニウム。
ハフニウム、ニオブなどの元素を添加した合金、あるい
はコバルト、ジルコニウムを主成分として前記の各添加
元素を含んだ合金などがある。
はコバルト、ジルコニウムを主成分として前記の各添加
元素を含んだ合金などがある。
このコア２の先端部は、所望とする磁束投影面積よりも
大きく形成されており、光磁気記録媒体４との対向面に
、所望とする磁束投影面積と略等しい面積を有する透孔
７が開設された磁気遮蔽体６が被着さ九ている。透孔７
の大きさ（直径ンは、磁ｆヒトメイン５の大きさＤを１
０μｍ〜２００μｍとした場合、１０μｍ〜２００μｍ
に形成される。
大きく形成されており、光磁気記録媒体４との対向面に
、所望とする磁束投影面積と略等しい面積を有する透孔
７が開設された磁気遮蔽体６が被着さ九ている。透孔７
の大きさ（直径ンは、磁ｆヒトメイン５の大きさＤを１
０μｍ〜２００μｍとした場合、１０μｍ〜２００μｍ
に形成される。
磁気遮蔽体６は１例えば銅やオーステナイト系ステンレ
スなどの非磁性金属材料、あるいは合成樹脂などの非磁
性非金属材料から選択された任意の非磁性材料にて形成
される。この磁気遮蔽体６の形成手段としては、例えば
真空蒸着あるいはスパッタリングなどの薄膜形成手段を
用いてコア２の先端部に非磁性材料から成る薄膜状の磁
気遮蔽体６を形成することもできるし、また、コア２の
先端部に、これとは別体に形成された磁気遮蔽体６を被
着するようにすることもできる。
スなどの非磁性金属材料、あるいは合成樹脂などの非磁
性非金属材料から選択された任意の非磁性材料にて形成
される。この磁気遮蔽体６の形成手段としては、例えば
真空蒸着あるいはスパッタリングなどの薄膜形成手段を
用いてコア２の先端部に非磁性材料から成る薄膜状の磁
気遮蔽体６を形成することもできるし、また、コア２の
先端部に、これとは別体に形成された磁気遮蔽体６を被
着するようにすることもできる。
磁気遮蔽体６の厚さは、厚いほど漏れ磁束の減少に有効
であるが１反面あまり厚くすると重量が大きくなる等の
問題を生じるので、両者を勘案して０．０２ｍｍ〜０．
２０ｍｍ程度に形成することが好ましい。
であるが１反面あまり厚くすると重量が大きくなる等の
問題を生じるので、両者を勘案して０．０２ｍｍ〜０．
２０ｍｍ程度に形成することが好ましい。
前記実施例の光磁気記録用電磁コイルは、コア２の先端
外周部を磁気遮蔽体６にて包被したので、磁気遮蔽体６
の包被部分からの漏れ磁束が減少され、透孔７の開設部
に磁束を集中することができる。そして、その透孔７の
直径を加減することによって光磁気記録媒体に印加され
る磁束投影面積＠：副調整ることができるので、透孔７
を小径化することによって適宜記録密度の向上および記
録容量の増大を図ることができる。また、コア２を所望
とする露出部の大きさに比べて大型に形成したので、製
造時や使用時における欠けが防止され。
外周部を磁気遮蔽体６にて包被したので、磁気遮蔽体６
の包被部分からの漏れ磁束が減少され、透孔７の開設部
に磁束を集中することができる。そして、その透孔７の
直径を加減することによって光磁気記録媒体に印加され
る磁束投影面積＠：副調整ることができるので、透孔７
を小径化することによって適宜記録密度の向上および記
録容量の増大を図ることができる。また、コア２を所望
とする露出部の大きさに比べて大型に形成したので、製
造時や使用時における欠けが防止され。
製造の容易化および耐久性の改善を図ることができる。
なお１本発明の要旨は、コアの先端外周部に非磁性材料
から成る磁気遮蔽体を被着し、コアの光磁気ｔｄ録媒体
との対向面の一部をこの磁気遮蔽体から露出したことを
特徴とするものであって、コア２の形状が前記実施例の
ものに限定されるものではない。例えば、？；２図に示
すように、コア２の先端部に斜面８を形成し、その先端
部９の直径を所望とする磁束投影面積に応じた大きさに
形成することもできるし、また、第３図に示すように。
から成る磁気遮蔽体を被着し、コアの光磁気ｔｄ録媒体
との対向面の一部をこの磁気遮蔽体から露出したことを
特徴とするものであって、コア２の形状が前記実施例の
ものに限定されるものではない。例えば、？；２図に示
すように、コア２の先端部に斜面８を形成し、その先端
部９の直径を所望とする磁束投影面積に応じた大きさに
形成することもできるし、また、第３図に示すように。
コア２の先端部に所望とする磁束投影面積に応じた直径
を有する突起１０を突設するようにすることもできる。
を有する突起１０を突設するようにすることもできる。
このようにすると、コア２の先端部が磁気遮蔽体６の外
部に露出され、光磁気配８媒体４との設定距離を小さく
することができるので、信号の変調効率を一層向上する
ことができるという効果がある。
部に露出され、光磁気配８媒体４との設定距離を小さく
することができるので、信号の変調効率を一層向上する
ことができるという効果がある。
次に、本発明に係る光磁気記録用電磁コイルの製造方法
の一例を第４図ないし第８図に基づいて説明する。
の一例を第４図ないし第８図に基づいて説明する。
まず、第４図に示すように、断面形がコア２と略同等で
、幅広のブロック１１を作製する。
、幅広のブロック１１を作製する。
次いで、第５図に示すように、ブロック１１の先端部に
所望とする磁束投影面積に応じた大きさの突起１０を等
間隔に形成するとともに、相隣接する突起１０．１０の
間にやや幅広の溝１２を凹設する。
所望とする磁束投影面積に応じた大きさの突起１０を等
間隔に形成するとともに、相隣接する突起１０．１０の
間にやや幅広の溝１２を凹設する。
次いで、第６図に示すように、ブロック１１の先端部の
前記突起１０および溝１２を包被するように、非磁性体
から成る薄膜１３を形成する。
前記突起１０および溝１２を包被するように、非磁性体
から成る薄膜１３を形成する。
さらに、第７図に示すように、突起１０の上面に堆積さ
れた薄膜１３を研摩し、突起１０を露出する。
れた薄膜１３を研摩し、突起１０を露出する。
最後に、第８図に示すように、ブロック１１を＃１２の
中間部よりスライスし、所望の光磁気記録用電磁コイル
を得る。
中間部よりスライスし、所望の光磁気記録用電磁コイル
を得る。
以上のようにすると、多数の光磁気記録用ｔ！！磁コ磁
片イル率よく量産することができる。
片イル率よく量産することができる。
以上説明したように１本発明の光磁気記録用電磁コイル
は、コアの先端外周部を磁気遮蔽体にて包被し、光磁気
記録媒体との対向面の一部にコアを露出するようにした
ので、その露出部の大きさを小径化することによって、
記録密度の向上および記録容量の増大を図ることができ
る。また、露出部の大きさによって磁束投影面積を規制
することができるので、コア自体の大きさを大型に形成
することができ、よって、製造時や使用時における欠け
が防止され、製造の容易化および耐久性の改善を図るこ
とができる。
は、コアの先端外周部を磁気遮蔽体にて包被し、光磁気
記録媒体との対向面の一部にコアを露出するようにした
ので、その露出部の大きさを小径化することによって、
記録密度の向上および記録容量の増大を図ることができ
る。また、露出部の大きさによって磁束投影面積を規制
することができるので、コア自体の大きさを大型に形成
することができ、よって、製造時や使用時における欠け
が防止され、製造の容易化および耐久性の改善を図るこ
とができる。
第１（ｉ！Ｉは第１実施例に係る光磁気記録用電磁コイ
ルの要部正面図、第２図は第２実施例に係る光磁気記録
用電磁コイルの要部正面図、第３図は第３実施例に係る
光磁気記録用電磁コイルの要部正面図、第４図ないし第
８図は本発明に係る光磁気記録用電磁コイルの製造工程
の一例を示す説明図、第９図は従来知られている光磁気
記録用電磁コイルの一例を示す要部正面図、第１０図は
本発明に先立って検討された光磁気記録用電磁コイルの
一例とその問題点を示す要部正面図である。 ｌニスライダ、２：コア、３：コイル、４：光磁気記録
媒体、５：磁化ドメイン、６：磁気遮蔽体、７：透孔、
８：斜面、９：先端部、ｌＯ：突起。 第１図 ！ ・ スフ４７パ ２：コア ３ ； コ’ｌＩし ４４Ｊう【１こ４ピ取“り着イ４＼ ５ｉ！イヒＦメづン ６：広気遮奴儂 ／’、ＡＬ 第２図 第３図 第４図 第６図 第７図 第８図
ルの要部正面図、第２図は第２実施例に係る光磁気記録
用電磁コイルの要部正面図、第３図は第３実施例に係る
光磁気記録用電磁コイルの要部正面図、第４図ないし第
８図は本発明に係る光磁気記録用電磁コイルの製造工程
の一例を示す説明図、第９図は従来知られている光磁気
記録用電磁コイルの一例を示す要部正面図、第１０図は
本発明に先立って検討された光磁気記録用電磁コイルの
一例とその問題点を示す要部正面図である。 ｌニスライダ、２：コア、３：コイル、４：光磁気記録
媒体、５：磁化ドメイン、６：磁気遮蔽体、７：透孔、
８：斜面、９：先端部、ｌＯ：突起。 第１図 ！ ・ スフ４７パ ２：コア ３ ； コ’ｌＩし ４４Ｊう【１こ４ピ取“り着イ４＼ ５ｉ！イヒＦメづン ６：広気遮奴儂 ／’、ＡＬ 第２図 第３図 第４図 第６図 第７図 第８図
Claims (6)
- （１）光磁気記録媒体と対向に配置される磁性のコアに
コイルを巻回して成る光磁気記録用電磁コイルにおいて
、前記コアの先端外周部に磁気遮蔽体を被着し、前記コ
アの前記光磁気記録媒体との対向面の一部をこの磁気遮
蔽体から露出したことを特徴とする光磁気記録用電磁コ
イル。 - （２）特許請求の範囲第（１）項記載の光磁気記録用電
磁コイルにおいて、前記磁気遮蔽体を、銅やオーステナ
イト系ステンレスなどの非磁性金属材料、または合成樹
脂樹脂などの非磁性非金属材料から選択された物質にて
形成したことを特徴とする光磁気記録用電磁コイル。 - （３）特許請求の範囲第（１）項記載の光磁気記録用電
磁コイルにおいて、前記コアの先端部に非磁性材料から
成る薄膜状の磁気遮蔽体を形成したことを特徴とする光
磁気記録用電磁コイル。 - （４）特許請求の範囲第（１）項記載の光磁気記録用電
磁コイルにおいて、前記コアの先端部に、これとは別体
に形成された磁気遮蔽体を被着したことを特徴とする光
磁気記録用電磁コイル。 - （５）特許請求の範囲第（１）項記載の光磁気記録用電
磁コイルにおいて、前記コアの先端部の断面積を所望と
する磁束投影面積よりも大きく形成し、このコアの光磁
気記録媒体との対向面に所望とする磁束投影面積と略等
しい面積を有する透孔が開設された磁気遮蔽体を被着し
たことを特徴とする光磁気記録用電磁コイル。 - （６）特許請求の範囲第（１）項記載の光磁気記録用電
磁コイルにむいて、所望とする磁束投影面積よりも大き
く形成されたコアの先端部に、所望とする磁束投影面積
と略等しい面積を有する突部を形成し、この突部の前記
光磁気記録媒体との対向面を除く部分に前記磁気遮蔽体
を被着したことを特徴とする光磁気記録用電磁コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30969587A JPH01151002A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 光磁気記録用電磁コイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30969587A JPH01151002A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 光磁気記録用電磁コイル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01151002A true JPH01151002A (ja) | 1989-06-13 |
Family
ID=17996170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30969587A Pending JPH01151002A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 光磁気記録用電磁コイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01151002A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0279201A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-19 | Hitachi Ltd | 光磁気記録装置 |
| US5293359A (en) * | 1990-08-10 | 1994-03-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording and reproducing apparatus having a ferrimagnetic recording medium, a magnetic head and first and second light sources |
| US5402397A (en) * | 1992-10-14 | 1995-03-28 | Sony Corporation | Electromagnetic shield device for magneto-optical recording apparatus |
| JP2017152471A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置 |
-
1987
- 1987-12-09 JP JP30969587A patent/JPH01151002A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0279201A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-19 | Hitachi Ltd | 光磁気記録装置 |
| US5293359A (en) * | 1990-08-10 | 1994-03-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording and reproducing apparatus having a ferrimagnetic recording medium, a magnetic head and first and second light sources |
| US5402397A (en) * | 1992-10-14 | 1995-03-28 | Sony Corporation | Electromagnetic shield device for magneto-optical recording apparatus |
| JP2017152471A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置 |
| US10933507B2 (en) | 2016-02-23 | 2021-03-02 | Ebara Corporation | Polishing apparatus |
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