JPH01153636U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01153636U JPH01153636U JP4519888U JP4519888U JPH01153636U JP H01153636 U JPH01153636 U JP H01153636U JP 4519888 U JP4519888 U JP 4519888U JP 4519888 U JP4519888 U JP 4519888U JP H01153636 U JPH01153636 U JP H01153636U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- semiconductor manufacturing
- air cleaning
- attachment part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の一実施
例を示すＬＰＥ装置の炉芯管の取り付け状態の要
部断面図、第２図は本考案に係るスペーサの断面
図、第３図は従来のＬＰＥ装置の一具体例を示す
概略平面図、第４図は第３図の炉芯管に炉体を外
嵌した状態を示す正面図、第５図は第３図のＬＰ
Ｅ装置の炉芯管取り付け状態を示す一部断面側面
図、第６図は第５図の炉芯管の取り付け部分の側
断面図、第７図は第３図のＬＰＥ装置の炉芯管内
に収納される半導体基板とソースとそれらの収納
治具を示す断面図である。 ３……炉芯管、２１……スペーサ、７ｃ……取
り付け部。
例を示すＬＰＥ装置の炉芯管の取り付け状態の要
部断面図、第２図は本考案に係るスペーサの断面
図、第３図は従来のＬＰＥ装置の一具体例を示す
概略平面図、第４図は第３図の炉芯管に炉体を外
嵌した状態を示す正面図、第５図は第３図のＬＰ
Ｅ装置の炉芯管取り付け状態を示す一部断面側面
図、第６図は第５図の炉芯管の取り付け部分の側
断面図、第７図は第３図のＬＰＥ装置の炉芯管内
に収納される半導体基板とソースとそれらの収納
治具を示す断面図である。 ３……炉芯管、２１……スペーサ、７ｃ……取
り付け部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 空気清浄室外壁面に穿設した開口面の周囲に環
状取り付け部を穿設し、該取り付け部に炉芯管の
開口部を嵌入して取り付けると共に炉芯管に炉体
を外嵌し、かつ、上記空気清浄室より炉芯管内に
半導体基板とソースを収納して液相エピタキシヤ
ル成長させる半導体製造装置において、 上記炉芯管を嵌入する筒状でその嵌入孔が筒状
外周面に対し若干、傾斜しているスペーサを、上
記取り付け部と炉芯管の間に介挿し、炉芯管の傾
きを調整するようにしたことを特徴とする半導体
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4519888U JPH01153636U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4519888U JPH01153636U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153636U true JPH01153636U (ja) | 1989-10-23 |
Family
ID=31271514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4519888U Pending JPH01153636U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01153636U (ja) |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP4519888U patent/JPH01153636U/ja active Pending
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