JPH01156632A - 多分力センサ - Google Patents
多分力センサInfo
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- JPH01156632A JPH01156632A JP62315144A JP31514487A JPH01156632A JP H01156632 A JPH01156632 A JP H01156632A JP 62315144 A JP62315144 A JP 62315144A JP 31514487 A JP31514487 A JP 31514487A JP H01156632 A JPH01156632 A JP H01156632A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、多分力センサに係り、特に例えばロボットの
指先部に作用する力やモーメントを同時に検出するのに
好適な力測定装置に関する。
指先部に作用する力やモーメントを同時に検出するのに
好適な力測定装置に関する。
〈従来の技術〉
例えば、産業用ロボットにおいては、ロボットの手先の
動作を制御するために、ロボットの指先に作用する力や
モーメントを検出するための力検小装置が必要となる。
動作を制御するために、ロボットの指先に作用する力や
モーメントを検出するための力検小装置が必要となる。
産業用ロボットの一例として、第8図に示すように複数
の関節を有するロボットアーム51の先端につかみ機構
57により開閉動作するロボット手先部56が取付けら
れている。このロボットは、ロボット手先部56で部品
54をつかみ、基台52上へ供給された物体53の内孔
へこの部品54を挿入する作業を繰り返し実行する。こ
のロボット手先部56とロボットアーム51との間には
力検出装置55が取付けられ、作業中に部品54と物体
53との間に作用する力やモーメントを検出し、検出情
報をコンピュータを用いた制御回路へ入力してロボット
の作業状態を修正制御する。
の関節を有するロボットアーム51の先端につかみ機構
57により開閉動作するロボット手先部56が取付けら
れている。このロボットは、ロボット手先部56で部品
54をつかみ、基台52上へ供給された物体53の内孔
へこの部品54を挿入する作業を繰り返し実行する。こ
のロボット手先部56とロボットアーム51との間には
力検出装置55が取付けられ、作業中に部品54と物体
53との間に作用する力やモーメントを検出し、検出情
報をコンピュータを用いた制御回路へ入力してロボット
の作業状態を修正制御する。
従来の力検出装置としては、例えば特開昭61−500
30号公報に開示されているような複数のT塑弾性ビー
ムを用いるものや、特開昭60−62497号公報に開
示されているような多軸力センサなどが提案されている
。
30号公報に開示されているような複数のT塑弾性ビー
ムを用いるものや、特開昭60−62497号公報に開
示されているような多軸力センサなどが提案されている
。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、前者の特開昭61−50030号公報に
記載されている検出方法は、構成する弾性ビームが一方
向にのみ反応するのではなく多方向の力に反応するため
に、弾性ビームに接着された歪みゲージの歪み量から直
ちに力の検出を行うことができず、6元1次方程式を解
く形でしか求められないという欠点を有する。
記載されている検出方法は、構成する弾性ビームが一方
向にのみ反応するのではなく多方向の力に反応するため
に、弾性ビームに接着された歪みゲージの歪み量から直
ちに力の検出を行うことができず、6元1次方程式を解
く形でしか求められないという欠点を有する。
一方、後者の特開昭60−62497号公報では、機械
構造的に決められた方向以外の力による干渉を防いでい
るので検、出性能は高いと想定されるが、構造が複雑で
機械加工上コストが高くつくことおよび弾性ビームに均
一な歪みを発生させるためには有限長さを必要とするの
で、半径方向に3箇所の弾性部を設けると小型化を図る
ことができず、重量も大きくなるといった欠点を有して
いる。
構造的に決められた方向以外の力による干渉を防いでい
るので検、出性能は高いと想定されるが、構造が複雑で
機械加工上コストが高くつくことおよび弾性ビームに均
一な歪みを発生させるためには有限長さを必要とするの
で、半径方向に3箇所の弾性部を設けると小型化を図る
ことができず、重量も大きくなるといった欠点を有して
いる。
本発明は、上記のような問題点を解決すべくなされたも
のであって、機械構造的に干渉を受けない構造であって
、かつ製造コストの安い小型で軽量な多分力センサを提
供することを目的とする。
のであって、機械構造的に干渉を受けない構造であって
、かつ製造コストの安い小型で軽量な多分力センサを提
供することを目的とする。
〈問題点を解決するための手段〉
本発明者は、上記問題点を解決すべく鋭意研究した結果
、力を検出する弾性ビームを2層、2分割化するように
すれば、弾性ビームの長さを短くし、かつ検出装置の外
径を小さくすることが可能であることを見出し、この知
見に基づいて本発明を完成させるに至った。
、力を検出する弾性ビームを2層、2分割化するように
すれば、弾性ビームの長さを短くし、かつ検出装置の外
径を小さくすることが可能であることを見出し、この知
見に基づいて本発明を完成させるに至った。
すなわち、本発明は、測定対象物である2つの剛体の間
に結合され、これら剛体に作用する力やモーメントを検
出する多分力センサであって、前記2つの剛体と連結す
る上下2個の連結部材の間に中間連結部材を介して十字
状の第1と第2の2個の弾性ビームが一体的に構成され
、前記第1の弾性ビームを形成する十字の両側面の長手
方向にそれぞれ2個の歪み検出器が取付けられるととも
に、この十字の一方の直線部分の両端部と前記上部連結
部材とが結合され、さらにこの直線部分と直角をなすも
う一方の直線部分の両端部と前記中間連結部材の一方の
面とが結合され、一方、前記第2の弾性ビームを形成す
る十字の両表面の長手方向にそれぞれ2個の歪み検出器
が取付けられるとともに、この第2の弾性ビームを形成
する十字のそれぞれの端部と前記中間連結部材の他方の
面とが前記第1の弾性ビームと位相を合わせるようにし
て結合されることを特徴とする多分力センサである。
に結合され、これら剛体に作用する力やモーメントを検
出する多分力センサであって、前記2つの剛体と連結す
る上下2個の連結部材の間に中間連結部材を介して十字
状の第1と第2の2個の弾性ビームが一体的に構成され
、前記第1の弾性ビームを形成する十字の両側面の長手
方向にそれぞれ2個の歪み検出器が取付けられるととも
に、この十字の一方の直線部分の両端部と前記上部連結
部材とが結合され、さらにこの直線部分と直角をなすも
う一方の直線部分の両端部と前記中間連結部材の一方の
面とが結合され、一方、前記第2の弾性ビームを形成す
る十字の両表面の長手方向にそれぞれ2個の歪み検出器
が取付けられるとともに、この第2の弾性ビームを形成
する十字のそれぞれの端部と前記中間連結部材の他方の
面とが前記第1の弾性ビームと位相を合わせるようにし
て結合されることを特徴とする多分力センサである。
なお、前記十字状の弾性ビームは、ビームの表面または
側面から穴ぐりされて形成された平行ビームとしてもよ
く、また力やモーメントを受けて変形し易い方向と変形
し難い方向とを有する異方性のある矩形断面をもつ単一
ビームとしてもよい。
側面から穴ぐりされて形成された平行ビームとしてもよ
く、また力やモーメントを受けて変形し易い方向と変形
し難い方向とを有する異方性のある矩形断面をもつ単一
ビームとしてもよい。
〈作用〉
本発明によれば、中間連結部材を間に介装した2個の十
字状の弾性ビームと上部連結部材とを一体的に構成する
ようにして、歪み検出部を半径方向に2箇所にのみ設け
るようにしたので、弾性ビームの平行ビーム部分の長さ
を短くすることができ、かついずれの方向からの歪みで
あっても正確に検出することが可能である。
字状の弾性ビームと上部連結部材とを一体的に構成する
ようにして、歪み検出部を半径方向に2箇所にのみ設け
るようにしたので、弾性ビームの平行ビーム部分の長さ
を短くすることができ、かついずれの方向からの歪みで
あっても正確に検出することが可能である。
〈実施例〉
以下に、本発明の実施例について、図面に基づいて詳し
く説明する。
く説明する。
第1図は、本発明に係る多分力センサの(a)正面図、
(b)側面図、(C)平面図、(d)A−A矢視断面図
である。
(b)側面図、(C)平面図、(d)A−A矢視断面図
である。
図において、1は、例えばフランジのような円板状の上
部連結部であって、図示しない一方の剛体例えばロボッ
トの手と連結可能とされる。2は、円板状の中間連結部
材であって、この中間連結部材2と上部連結部1との間
に第1の゛弾性ビーム3が介装され、また、中間連結部
材2の他方の面には第2の弾性ビーム4が取付けられる
。ここで、4aは、第2の弾性ビーム4の下部中央に突
起して設けられた下部連結部であって、図示しない他方
の剛体例えばロボットの腕と連結可能とされる。
部連結部であって、図示しない一方の剛体例えばロボッ
トの手と連結可能とされる。2は、円板状の中間連結部
材であって、この中間連結部材2と上部連結部1との間
に第1の゛弾性ビーム3が介装され、また、中間連結部
材2の他方の面には第2の弾性ビーム4が取付けられる
。ここで、4aは、第2の弾性ビーム4の下部中央に突
起して設けられた下部連結部であって、図示しない他方
の剛体例えばロボットの腕と連結可能とされる。
なお、ロボットの腕との接合手段の関係で、この下部連
結部4aとロボットの腕との間にフランジを介装させて
もよい。
結部4aとロボットの腕との間にフランジを介装させて
もよい。
第2図は、第1の弾性ビーム3を示す平面図であり、第
3図は、第2の弾性ビーム4を示す平面図である。
3図は、第2の弾性ビーム4を示す平面図である。
第1の弾性ビーム3は、第2図に示すように、上下左右
対称な4個の平行ビーム5.5’、6゜6′で十字状に
構成され、平行ビーム5.5′のそれぞれの端部に設け
られた取付は穴7.7′と上部連結部材1に設けられた
取付は穴9,9′とによって上部連結部材1に固定結合
され、また平行ビーム6.6′のそれぞれの端部に設け
られた取付は六8.8′と中間連結部材2に設けられた
取付は穴10.10”とによって中間連結部材2に固定
結合される。
対称な4個の平行ビーム5.5’、6゜6′で十字状に
構成され、平行ビーム5.5′のそれぞれの端部に設け
られた取付は穴7.7′と上部連結部材1に設けられた
取付は穴9,9′とによって上部連結部材1に固定結合
され、また平行ビーム6.6′のそれぞれの端部に設け
られた取付は六8.8′と中間連結部材2に設けられた
取付は穴10.10”とによって中間連結部材2に固定
結合される。
また、これら平行ビーム5.5’、6.6’の表面の中
央部には、それぞれ穴ぐり部11.11’ 。
央部には、それぞれ穴ぐり部11.11’ 。
12、12’がその直角方向に貫通して設けられ、検出
しようとする方向の力やモーメントに対して変形しやす
いように構成される。そして、これら穴ぐり部11.1
1’ 、 12.12’に対応する平行ビーム5.5’
、6.6’の左右両側面には、長手方向にそれぞれ2個
ずつの例えばストレンゲージなどの歪み検出器20〜3
5が接着される。
しようとする方向の力やモーメントに対して変形しやす
いように構成される。そして、これら穴ぐり部11.1
1’ 、 12.12’に対応する平行ビーム5.5’
、6.6’の左右両側面には、長手方向にそれぞれ2個
ずつの例えばストレンゲージなどの歪み検出器20〜3
5が接着される。
一方、第2の弾性ビーム4は、第3図に示すように、第
1の弾性ビーム3と同様な上下左右対称な4個の平行ビ
ーム13.13’ 、 14.14’で十字状に構成さ
れ、平行ビーム13.13’ 、 14.14’のそれ
ぞれの端部に設けられた取付は穴15.15’ 、16
゜16′と中間連結部材2に設けられた取付は穴17゜
17’ 、 10.10’とによって中間連結部材2に
固定結合される。
1の弾性ビーム3と同様な上下左右対称な4個の平行ビ
ーム13.13’ 、 14.14’で十字状に構成さ
れ、平行ビーム13.13’ 、 14.14’のそれ
ぞれの端部に設けられた取付は穴15.15’ 、16
゜16′と中間連結部材2に設けられた取付は穴17゜
17’ 、 10.10’とによって中間連結部材2に
固定結合される。
また、これらの平行ビーム13.13’ 、 14.1
4’の側面の中央部には、それぞれ穴ぐり部18.1B
’ 。
4’の側面の中央部には、それぞれ穴ぐり部18.1B
’ 。
19、19’がその直角方向に貫通して設けられ、さら
にこれら穴ぐり部1B、 18’ 、 19.19’に
対応する平行ビーム13.13’ 、 14.14’の
上下両表面には、第1の弾性ビームと同様に長手方向に
それぞれ2個ずつの例えばストレンゲージなどの歪み検
出器36〜51が接着される。
にこれら穴ぐり部1B、 18’ 、 19.19’に
対応する平行ビーム13.13’ 、 14.14’の
上下両表面には、第1の弾性ビームと同様に長手方向に
それぞれ2個ずつの例えばストレンゲージなどの歪み検
出器36〜51が接着される。
上記のように多分力センサを構成することによって、上
部連結部材1に作用する力やモーメントは、上部連結部
材1→第1の弾性ビーム3→中間連結部材2→第2の弾
性ビーム4→下部連結部材4aへと伝わるのである。
部連結部材1に作用する力やモーメントは、上部連結部
材1→第1の弾性ビーム3→中間連結部材2→第2の弾
性ビーム4→下部連結部材4aへと伝わるのである。
つぎに、作用する力やモーメントを検出する歪み検出器
による測定の回路構成について、第4図を用いて説明す
る。
による測定の回路構成について、第4図を用いて説明す
る。
X軸方向の力(F、);第4図(a)に示す−ように、
歪み検出器25.27.32.34でホイートストンブ
リッジ回路を構成する。
歪み検出器25.27.32.34でホイートストンブ
リッジ回路を構成する。
y軸方向の力(Fア);第4図Φ)に示すように、歪み
検出器21.23.28.30でホイートストンブリッ
ジ回路を構成する。
検出器21.23.28.30でホイートストンブリッ
ジ回路を構成する。
Z軸方向の力(F、);第4図(C)に示すように、歪
み検出器37.39.41.43.44.46.48.
50でホイートストンブリッジ回路を構成する。
み検出器37.39.41.43.44.46.48.
50でホイートストンブリッジ回路を構成する。
X軸方向のモーメント(M、)i第4図(d)に示すよ
うに、歪み検出器40.42.49.51でホイートス
トンブリッジ回路を構成する。
うに、歪み検出器40.42.49.51でホイートス
トンブリッジ回路を構成する。
y軸方向のモーメント(My);第4図(e)に示すよ
うに、歪み検出器36.38.45.47でホイートス
トンブリッジ回路を構成する。
うに、歪み検出器36.38.45.47でホイートス
トンブリッジ回路を構成する。
Z軸方向のモーメント(M、);第4図(f)に示すよ
うに、歪み検出器20.22.24.26.29.31
゜33、35でホイートストンブリッジ回路を構成する
。
うに、歪み検出器20.22.24.26.29.31
゜33、35でホイートストンブリッジ回路を構成する
。
ここで、検出する方向の力やモーメントが、他の方向の
力やモーメントの干渉を受けない理由について、第4図
(C)の2軸方向に作用する力F、の場合を例に説明す
る。
力やモーメントの干渉を受けない理由について、第4図
(C)の2軸方向に作用する力F、の場合を例に説明す
る。
X軸方向の力F8作用時;歪み検出器37.39と44
、46とは絶対値の等しい圧縮歪みおよび引張り歪みを
発生し、他の歪み検出器41.43.48.50は平行
ビーム16.16’の中立軸上であるから歪みを発生し
ないので、第4図(C)のホイートストンブリッジ回路
から出力は発生しない。
、46とは絶対値の等しい圧縮歪みおよび引張り歪みを
発生し、他の歪み検出器41.43.48.50は平行
ビーム16.16’の中立軸上であるから歪みを発生し
ないので、第4図(C)のホイートストンブリッジ回路
から出力は発生しない。
y軸方向の力F、作用時;X軸方向の力Fヨと直角方向
の力であるので、F、作用時と同様に第4図(C)のホ
イートストンブリッジ回路の出力としては発生しない。
の力であるので、F、作用時と同様に第4図(C)のホ
イートストンブリッジ回路の出力としては発生しない。
X軸方向のモーメントM、作用時;歪み検出器41、5
1と43.49とは絶対値の等しい圧縮曲げ歪みおよび
引張り曲げ歪みを発生し、他の歪み検出器37、39.
44.46には微小な捩じり歪みを発生するが、第4図
(C)のホイートストンブリッジ回路から出力は発生し
ない。
1と43.49とは絶対値の等しい圧縮曲げ歪みおよび
引張り曲げ歪みを発生し、他の歪み検出器37、39.
44.46には微小な捩じり歪みを発生するが、第4図
(C)のホイートストンブリッジ回路から出力は発生し
ない。
y軸方向のモーメントMy作用時;X軸方向のモーメン
トM8と直角方向のモーメントであるので、M、作用時
と同様にホイートストンブリッジ回路からの出力として
は発生しない。
トM8と直角方向のモーメントであるので、M、作用時
と同様にホイートストンブリッジ回路からの出力として
は発生しない。
y軸方向のモーメントM、1作用時;歪み検出器はすべ
て平行ビーム13.13’ 、 14.14’の中立軸
上であるから、曲げ歪みを発生しない。
て平行ビーム13.13’ 、 14.14’の中立軸
上であるから、曲げ歪みを発生しない。
上記の説明から明らかなように、Z軸方向に作用する力
Fヨを検出する場合は、検出しようとするZ軸方向の力
のみに感知し、他の方向の力やモーメントの影響を受け
ずに検出することができるのである。
Fヨを検出する場合は、検出しようとするZ軸方向の力
のみに感知し、他の方向の力やモーメントの影響を受け
ずに検出することができるのである。
このように、本発明の多分力センサを用いることにより
、他の方向の力やモーメントの干渉を受けずに検出しよ
うとする方向の力やモーメントのみを高精度で測定する
ことが可能である。
、他の方向の力やモーメントの干渉を受けずに検出しよ
うとする方向の力やモーメントのみを高精度で測定する
ことが可能である。
なお、本発明は、産業用ロボットへの適用のみに限らず
、工作機械などの工具に作用する力やモーメントの測定
にも用いることが可能であることはいうまでもない。
、工作機械などの工具に作用する力やモーメントの測定
にも用いることが可能であることはいうまでもない。
第5図は、本発明に係る多分力センサの他の実施例を示
す(a)正面図、(b)側面図である。
す(a)正面図、(b)側面図である。
第1の弾性ビーム3Aは、第6図に詳しく示すように単
一ビーム5a、5a’ 、6a、6a’で構成され、ま
た、第2の弾性ビーム4Aは、第7図に詳しく示すよう
に単一ビーム13a 、 13a ’ 。
一ビーム5a、5a’ 、6a、6a’で構成され、ま
た、第2の弾性ビーム4Aは、第7図に詳しく示すよう
に単一ビーム13a 、 13a ’ 。
14a、14a’で構成される。このように弾性ビーム
を構成すれば、第1の弾性ビーム3Aにおいては、X軸
およびy軸方向から作用する力やモーメントに対して鋭
敏に変形するが、y軸方向からの力やモーメントに対し
ては変形し難く、また第2の弾性ビーム4Aにおいては
、Z軸方向に対して鋭敏に変形するが、X軸およびy軸
方向に対しては変形し難いのである。さらに、このよう
な形状は、機械加工が容易である。なお、歪み検出器の
接着1組立は、前記した手法と同様である。
を構成すれば、第1の弾性ビーム3Aにおいては、X軸
およびy軸方向から作用する力やモーメントに対して鋭
敏に変形するが、y軸方向からの力やモーメントに対し
ては変形し難く、また第2の弾性ビーム4Aにおいては
、Z軸方向に対して鋭敏に変形するが、X軸およびy軸
方向に対しては変形し難いのである。さらに、このよう
な形状は、機械加工が容易である。なお、歪み検出器の
接着1組立は、前記した手法と同様である。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によれば、中間板状部材を
間に介装した2Nの十字状の弾性ビームと上部連結部材
とを一体的に構成するようにしたので、いずれの方向か
らの力やモーメントであっても正確に検出することがで
き、かつ小型化、軽量化を実現することが可能であり、
さらに機械加工費の低廉化を図ることが可能である。し
たがって、今後におけるロボットの知能化の促進に貢献
することが大いに期待される。
間に介装した2Nの十字状の弾性ビームと上部連結部材
とを一体的に構成するようにしたので、いずれの方向か
らの力やモーメントであっても正確に検出することがで
き、かつ小型化、軽量化を実現することが可能であり、
さらに機械加工費の低廉化を図ることが可能である。し
たがって、今後におけるロボットの知能化の促進に貢献
することが大いに期待される。
第1図は、本発明に係る多分力センサの(a)正面図、
(ロ)側面図、(C)平面図、(d)A−A矢視断面図
、第2図は、第1の弾性ビームを示す(a)平面図、
(b)側面図、第3図は、第2の弾性ビームを示す(a
)平面図、(ロ)側面図、第4図は、歪み検出器の構成
を示す回路図、第5図は、本発明に係る多分力センサの
他の実施例を示す(a)正面図、し)側面図、第6図は
、第1の弾性ビームの他の実施例を示す(a)平面図、
(ハ)側面図、第7図は、第2の弾性ビームの他の実施
例を示す(a)平面図、Q))側面図、第8図は、産業
用ロボットの一例を示す正面図である。 1・・・上部連結部材、 2・・・中間連結部材。 3・・・第1の弾性ビーム、4・・・第1の弾性ビーム
。 4a・・・下部連結部材。 5、 6.13.14・・・平行ビーム。 ?、 8. 9.10.15.16.17・・・取付
は穴。 11、12.18.19・・・穴ぐり部。 20〜51・・・歪み検出器。 特許出願人 川崎製鉄株式会社 第1図 Cσノ (b)(
c) (d
) 、。 第2図 第3図 第4図 (a) (b)
(c)(’d) (e)
(f)第5図 第6図 第7図 r0ノ 16a a
(ロ)側面図、(C)平面図、(d)A−A矢視断面図
、第2図は、第1の弾性ビームを示す(a)平面図、
(b)側面図、第3図は、第2の弾性ビームを示す(a
)平面図、(ロ)側面図、第4図は、歪み検出器の構成
を示す回路図、第5図は、本発明に係る多分力センサの
他の実施例を示す(a)正面図、し)側面図、第6図は
、第1の弾性ビームの他の実施例を示す(a)平面図、
(ハ)側面図、第7図は、第2の弾性ビームの他の実施
例を示す(a)平面図、Q))側面図、第8図は、産業
用ロボットの一例を示す正面図である。 1・・・上部連結部材、 2・・・中間連結部材。 3・・・第1の弾性ビーム、4・・・第1の弾性ビーム
。 4a・・・下部連結部材。 5、 6.13.14・・・平行ビーム。 ?、 8. 9.10.15.16.17・・・取付
は穴。 11、12.18.19・・・穴ぐり部。 20〜51・・・歪み検出器。 特許出願人 川崎製鉄株式会社 第1図 Cσノ (b)(
c) (d
) 、。 第2図 第3図 第4図 (a) (b)
(c)(’d) (e)
(f)第5図 第6図 第7図 r0ノ 16a a
Claims (3)
- (1)測定対象物である2つの剛体の間に結合され、こ
れら剛体に作用する力やモーメントを検出する多分力セ
ンサであって、前記2つの剛体と連結する上下2個の連
結部材の間に中間連結部材を介して十字状の第1と第2
の2個の弾性ビームが一体的に構成され、前記第1の弾
性ビームを形成する十字の両側面の長手方向にそれぞれ
2個の歪み検出器が取付けられるとともに、この十字の
一方の直線部分の両端部と前記上部連結部材とが結合さ
れ、さらにこの直線部分と直角をなすもう一方の直線部
分の両端部と前記中間連結部材の一方の面とが結合され
、一方、前記第2の弾性ビームを形成する十字の両表面
の長手方向にそれぞれ2個の歪み検出器が取付けられる
とともに、この第2の弾性ビームを形成する十字のそれ
ぞれの端部と前記中間連結部材の他方の面とが前記第1
の弾性ビームと位相を合わせるようにして結合されるこ
とを特徴とする多分力センサ。 - (2)前記十字状の弾性ビームは、ビームの表面または
側面から穴ぐりされて形成された平行ビームであること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の多分力センサ
。 - (3)前記十字状の弾性ビームは、力やモーメントを受
けて変形し易い方向と変形し難い方向とを有する異方性
のある矩形断面をもつ単一ビームであることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の多分力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62315144A JPH01156632A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 多分力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62315144A JPH01156632A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 多分力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156632A true JPH01156632A (ja) | 1989-06-20 |
Family
ID=18061941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62315144A Pending JPH01156632A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 多分力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01156632A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007163405A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Showa Sokki:Kk | 多軸力ロードセル |
| JP2007187596A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Keitekku System:Kk | 3軸力覚センサ |
| CN107462352A (zh) * | 2017-07-12 | 2017-12-12 | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 | 一种温度自补偿的光纤光栅杆力传感器及测量方法 |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP62315144A patent/JPH01156632A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007163405A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Showa Sokki:Kk | 多軸力ロードセル |
| JP2007187596A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Keitekku System:Kk | 3軸力覚センサ |
| CN107462352A (zh) * | 2017-07-12 | 2017-12-12 | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 | 一种温度自补偿的光纤光栅杆力传感器及测量方法 |
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