JPH01157432U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01157432U JPH01157432U JP4632888U JP4632888U JPH01157432U JP H01157432 U JPH01157432 U JP H01157432U JP 4632888 U JP4632888 U JP 4632888U JP 4632888 U JP4632888 U JP 4632888U JP H01157432 U JPH01157432 U JP H01157432U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- rotation axis
- side wall
- movable side
- side walls
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は本考案のウエハ用キヤリアの一実施例
を示す斜視図、第２図はウエハセツト状況説明図
、第３図及び第４図は従来例を示す斜視図である
。 １：ウエハ、３：溝、６：固定側壁、７：可動
側壁、８：回転軸、９：支持枠、１０：操作つま
み、１１：回転停止機構、１２，１３：角形ウエ
ハ。
を示す斜視図、第２図はウエハセツト状況説明図
、第３図及び第４図は従来例を示す斜視図である
。 １：ウエハ、３：溝、６：固定側壁、７：可動
側壁、８：回転軸、９：支持枠、１０：操作つま
み、１１：回転停止機構、１２，１３：角形ウエ
ハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 対向して配置された多数の溝を有する二つの
側壁と該側壁を固定する支持枠とを具え、前記対
向する溝にウエハの緑辺部を差込んで収納するウ
エハ用キヤリアにおいて、前記側壁の一方が回転
軸を中心として移動する可動側壁に形成され、前
記支持枠には操作つまみと、該操作つまみと前記
回転軸とを連結して前記可動側壁をウエハサイズ
に合わせて移動、停止させる回転停止機構とが設
けてあることを特徴とするウエハ用キヤリア。 ２ 前記可動側壁は前記回転軸の回りに自由に回
転し、前記操作つまみは、前記可動側壁の変位を
停止させるストツパのみを駆動するものである実
用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ用キヤ
リア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4632888U JPH01157432U (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4632888U JPH01157432U (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01157432U true JPH01157432U (ja) | 1989-10-30 |
Family
ID=31272599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4632888U Pending JPH01157432U (ja) | 1988-04-06 | 1988-04-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01157432U (ja) |
-
1988
- 1988-04-06 JP JP4632888U patent/JPH01157432U/ja active Pending
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