JPH0115906Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、自由弁形の単動２段式往復動真空ポ
ンプに関する。

従来の単動２段式往復動真空ポンプは、第３図
に示す実公昭第30−15974号公報に記載されてい
るように、シリンダー内のピストン１により左側
及び右側の両室２及び３に区分され、これら両室
２及び３にはそれぞれ連通管６及び７により連通
された数個の吸入弁４，４′及び吐出弁５，５′を
具備する真空ポンプにおいて、吸入側及び吐出側
の連通管６及び７にそれぞれ１個の塞止弁８Ａ及
び８Ｂを設け、更に、塞止弁８Ａの右側と塞止弁
８Ｂの左側とをつなぎ、かつ中程に塞止弁８Ｃを
有する連通管９を設けてなるものがあつた。

このポンプは、塞止弁８Ａ及び８Ｂを開き、塞
止弁８Ｃを閉塞して運転（複動１段真空ポンプと
して動作）したのち、塞止弁８Ａ及び８Ｂを閉塞
し、塞止弁８Ｃを開いて運転すると、単動２段式
真空ポンプとなつて動作するもので、従つて、連
通管路が長いことや多くの塞止弁によつて管路断
面積が細くなることから通過するガスの流体抵抗
が増加して、吐出工程が終つたのち吸込工程が行
われるという時間的なずれによつて、単動２段式
往復動真空ポンプとして充分に作動できず、しか
もポンプ本体以外に多数の配管や塞止弁類が設け
られ、ポンプ全体が大型化する上にシール箇所が
多く、高真空になれば、それだけ漏洩の起る恐れ
があつた。

本考案は、塞止弁開閉の操作や、配管や接手類
の漏洩の心配もなく、塞止弁や細く長い配管は全
く不要とし、１シリンダ、１ピストンの押し行程
で１段の働き、ピストンの引き行程で２段の働き
を自動的に行い、構造簡単で小型設計ができ、製
作費の大巾低減をはかることができる単動２段式
往復動真空ポンプを提供するものである。すなわ
ち、本考案は、第１図、第２図、第４図及び第５
図に示すように、シリンダ１０の上部に自由弁形
上部吸込弁１１と自由弁形上部吐出弁１２とを設
けると共に下部に自由弁形下部吸込弁１３と自由
弁形下部吐出弁１４とを設け、上部吐出弁１２と
下部吸込弁１３を、ピストン２０の外径に対し広
い通路断面積で、かつ最短距離になるように、前
記シリンダ１０の外壁１０１を間隙をおいて被覆
囲繞した側壁１５１で形成したガス通路１５で連
通し、引き行程で上部吸込弁１１と下部吐出弁１
４を開くと共に上部吐出弁１２と下部吸込弁１３
を閉じ、押し行程で上部吐出弁１２と下部吸込弁
１３を開くと共に上部吸込弁１１と下部吐出弁１
４を閉じるようにしたものである。

本考案の実施例を第１図、第２図及び第４図に
基づいて説明する。

１０はシリンダ、１１はシリンダ１０上部に設
けた自由弁形の上部吸込弁、１２はシリンダ１０
上部に設けた自由弁形の上部吐出弁、１３はシリ
ンダ１０下部に設けた自由弁形の下部吸込弁、１
４はシリンダ１０下部に設けた自由弁形の下部吐
出弁、１５はシリンダ１０の外壁１０１を間隙を
おいて被覆囲繞した側壁１５１で形成したガス通
路で、上部吐出弁１２と下部吸込弁１３とをピス
トン２０の外径に対し広い通路断面積で、かつ最
短距離に連通するもの、２０はピストンである。
なお、１６は冷却水、１７は冷却水套である。な
お、第５図は、前記実施例において冷却水套１７
の代りに空冷フイン１８をつけた場合の別の実施
例を示すものである。

本考案は、第２図に示すように、引き行程で上
部吸込弁１１が開いて真空タンク（図示しない）
からガスを吸い込み、上部吐出弁１２と下部吸込
弁１３を閉じ、下部吐出弁１４を開いてピストン
２０下側のシリンダ１０内のガスを外部に吐き出
し、第１図に示すように、押し行程で、上部吐出
弁１２を開き、上部吸込弁１１と下部吐出弁１４
を閉じ、ピストン２０上側のシリンダ１０内のガ
スをガス通路１５に押し出し、下部吸込弁１３を
開いてピストン２０下側のシリンダ１０内に吸い
込むようになつている。すなわち、１シリンダ、
１ピストンの押し行程で１段の働き、引き行程で
２段の働きをするようにした。

従つて、本考案では、ピストン２０が押し行程
で上死点に達したときには、シリンダ１０の上部
とピストン２０の上部との間の残留ガスは、上部
吐出弁１２から下部吸込弁１３を通して可能な限
り吸引され、ピストン上部の残留ガス圧は大気圧
より相当に低くなつており、ピストン２０が押し
行程から引き行程に移れば、残留ガス圧は更に負
圧となつて、上部吸込弁１１を早く開くに至り、
吸込んだガスを更に高真空まで吸引することがで
きる。また、上部吐出弁１２と下部吸込弁１３と
を連通するガス通路１５は、ピストン２０の押し
行程のときガス通路として利用されるもので、シ
リンダ１０の外壁を利用しているので、シール箇
所が少くそれだけガス漏洩の心配もない上に、ピ
ストンの外径に対しかなり広い通路断面積をとる
ことができると共に、最短距離で連通することが
できるので、ガス通路におけるガスの吐出吸入に
伴う脈動圧を最大限に利用し、自由弁形の吐出弁
及び吸込弁を開き易くして、吐出行程から吸込行
程へ直ちに移ることができるようにしている。

本考案によれば、１つのピストンで２段の働き
をする真空ポンプとして、複雑な弁、配管及びシ
ール箇所を必要とせず、簡単小型な構造で自動的
に運転することができ、安価に製作しうる利点を
有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、本考案の各説明図であ
り、第３図は従来例の説明図、第４図は本考案の
実施例を示す要部横断面図、第５図は本考案の別
の実施例を示す要部横断面図である。 １０……シリンダ、１０１……シリンダの外
壁、１１……上部吸込弁、１２……上部吐出弁、
１３……下部吸込弁、１４……下部吐出弁、１５
……ガス通路、１５１……側壁、２０……ピスト
ン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. シリンダ１０の上部に自由弁形上部吸込弁１１
   と自由弁形上部吐出弁１２とを設けると共に下部
   に自由弁形下部吸込弁１３と自由弁形下部吐出弁
   １４とを設け、上部吐出弁１２と下部吸込弁１３
   を、ピストン２０の外径に対し広い通路断面積
   で、かつ最短距離になるように、前記シリンダ１
   ０の外壁１０１を間隙をおいて被覆囲繞した側壁
   １５１で形成したガス通路１５で連通し、引き行
   程で上部吸込弁１１と下部吐出弁１４を開くと共
   に上部吐出弁１２と下部吸込弁１３を閉じ、押し
   行程で上部吐出弁１２と下部吸込弁１３を開くと
   共に上部吸込弁１１と下部吐出弁１４を閉じるよ
   うにしたことを特徴とする単動２段式往復動真空
   ポンプ。