JPH01160305U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１〜３図は本考案の実施例を示しており、第
１図は縦断側面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面
図、第３図は平面図、第４〜５図は先考案の走査
型トンネル顕微鏡用探針の微動装置の実施例を示
しており、第４図は縦断面図、第５図は第４図の
側方から見た部分縦断面図、第６図Ａ〜Ｆは、こ
の微動装置の作用を順番に示す略図である。 １：本体、２：案内孔、３：第一の移動軸、４
：第二の移動軸、５：第一の圧電素子、６：第一
の側孔、７：第一の押圧片、８：空間部、９：蓋
体、１０：第二の圧電素子、１１：第二の側孔、
１２：第二の押圧片、１３：空間部、１４：蓋体
、１５：第三の圧電素子、１６：主体、１７：ガ
イド体、１８：凹溝、１９：Ｖ字溝、２０：直截
面、２１：摺接面、２２：凹溝、２３：保持空間
、２４：ローラ、２５：貫通孔、２６：支持ピン
、２７：小径部、２８：ベアリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 本体に設けた案内孔の長さ方向に亘る移動自在
   に嵌装された第一、第二の両移動軸と、この第一
   、第二の両移動軸を互いに結合し、電圧の印加に
   基づいて全長を変化させる第一の圧電素子と、上
   記案内孔の内周面で、第一の移動軸の外周面に整
   合する部分に開口した第一の側孔に、第一の移動
   軸に対する遠近動を自在に嵌装され、第二の圧電
   素子によつて上記第一の側孔の長さ方向に駆動さ
   れる第一の押圧片と、上記案内孔の内周面で、第
   二の移動軸の外周面に整合する部分に開口した第
   二の側孔に、第二の移動軸に対する遠近動を自在
   に嵌装され、第三の圧電素子によつて上記第二の
   側孔の長さ方向に駆動される第二の押圧片とから
   成る微動装置に於いて、上記案内孔の内周面で、
   第一、第二の両側孔と反対側部分にＶ字状溝部を
   形成すると共に、案内孔の内周面で、第一、第二
   の両側孔と同じ側に、それぞれ第一、第二の両移
   動軸を上記Ｖ字状溝部に押圧するローラを設けた
   事を特徴とする微動装置。