JPH01160700U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01160700U JPH01160700U JP5801388U JP5801388U JPH01160700U JP H01160700 U JPH01160700 U JP H01160700U JP 5801388 U JP5801388 U JP 5801388U JP 5801388 U JP5801388 U JP 5801388U JP H01160700 U JPH01160700 U JP H01160700U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- accelerating tube
- rod
- contactor
- circuiting
- stage
- Prior art date
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Description
第１図はこの考案の一実施例に係る加速管短絡
機構の要部を拡大して示すものであり、Ａはその
正面図、Ｂはその左側面図である。第２図は、従
来の加速管短絡機構を備えるイオン注入装置の一
例を部分的に示す概略図である。 １０……加速管、１２……均圧環、１６……駆
動部、１８……ロツド、２４……接触子、２６…
…磁石、２８……磁性体。
機構の要部を拡大して示すものであり、Ａはその
正面図、Ｂはその左側面図である。第２図は、従
来の加速管短絡機構を備えるイオン注入装置の一
例を部分的に示す概略図である。 １０……加速管、１２……均圧環、１６……駆
動部、１８……ロツド、２４……接触子、２６…
…磁石、２８……磁性体。
Claims (1)
- 複数段の加速管であつて各段の外周部に均圧環
が設けられたものを電気的に短絡する機構であつ
て、前記加速管の上方に設けられたロツドであつ
て加速管の一端側と電気的につながれたものと、
このロツドを加速管に沿つて伸縮させる駆動部と
、このロツドから揺動自在に吊り下げられた接触
子であつてその下部に磁石が装着されたものと、
前記均圧環の少なくとも一部のものの上部であつ
て前記接触子が吸着可能な位置に取り付けられた
磁性体とを備えることを特徴とする加速管短絡機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5801388U JPH0727600Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 加速管短絡機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5801388U JPH0727600Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 加速管短絡機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01160700U true JPH01160700U (ja) | 1989-11-08 |
| JPH0727600Y2 JPH0727600Y2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=31283848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5801388U Expired - Lifetime JPH0727600Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 加速管短絡機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727600Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP5801388U patent/JPH0727600Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0727600Y2 (ja) | 1995-06-21 |