JPH01163534U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案に係るガス供給装置の第１実
施例のフローシート、第２図は膜モジユールの説
明図、第３図は二重管式パージジヨイントの説明
図、第４図は二重管式パージジヨイントを設けた
第２実施例のフローシート、第５図は、膜モジユ
ールにリボンヒータが設置された第３実施例のフ
ローシート、第６図は溜め込みタンクを設けた第
４実施例のフローシート、第７図はバラストガス
の管路を備えた第５実施例のフローシートである
。 １：ガスボンベ、２：膜モジユール、３：真空
ポンプ、４：高圧用圧力調整器、５：低圧用圧力
調整器、１０：排気ダクト用ダンパ、９：二重管
式パージジヨイント、５２：リボンヒータ、５４
：溜め込みタンク、６７：バラストガス用管路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 水蒸気を選択透過する中空糸膜が多数本収
   納されたモジユールと、該モジユールの中空糸膜
   の外側を減圧にして、中空糸膜を透過してきた水
   蒸気を系外に排出するためのポンプと、液化ガス
   が充填されたボンベと、高圧用圧力調整器、及び
   低圧用圧力調整器とが排気ガスダクトが設けられ
   たケーシング内に一体的に配装されていることを
   特徴とするガス供給装置。 (2) 前記の液化ガスが充填されたボンベの交換
   時に空気中からの水分混入防止用不活性乾燥ガス
   でボンベ口金部を置換、パージ可能なパージジヨ
   イントを配設したことを特徴とする前記請求項(1
   )記載のガス供給装置。 (3) 前記モジユールに加熱ベーキングのための
   ヒータを装着したことを特徴とする前記請求項(1
   )又は(2)記載のガス供給装置。 (4) 前記モジユールよりの出口ガスの溜め込み
   用タンクを備えたことを特徴とする前記請求項(1
   )，(2)又は(3)の何れかに記載のガス供給装置。 (5) 前記中空糸膜を透過した水蒸気を系外に排
   出するポンプにバラストガスを導入するための配
   管を備えたことを特徴とする前記請求項(1)，(2)
   ，(3)又は(4)の何れかに記載のガス供給装置。