JPH01164414A

JPH01164414A - 気体濾過機の濾過洩れ検出装置

Info

Publication number: JPH01164414A
Application number: JP32279087A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Kishida; 岸田　和也; Takao Komatsu; 小松　隆夫
Original assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date: 1987-12-22
Filing date: 1987-12-22
Publication date: 1989-06-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉この発明は主として、クリーンルーム等空気中の微細な
塵埃を除去したり、微粒子の製造工程での飛散粒子を回
収したりするのに用いられる気体濾過機がフィルター破
損等により濾過洩れを生じたときにその破損部を検出す
る装置に関するものである。

〈従来技術と解決すべき問題点〉従来例えば１μｍ以下のような微細な粉塵を分離する空
気濾過機としては、硝子繊維不織布からなるシート状フ
ィルター材をプリーツ状に多数回折り曲げたものをセパ
レーターと共に四角形の器枠内に収納したフィルターユ
ニットを処理風量に応じて複数個容器内に配列して、空
気の流路を形成した濾過機が使用されている。そして使
用中にフィルター材の一部が破損して濾過洩れが生じた
場合は定期的に測定している出口側空気中の含塵量が増
加することにより検出されるが、微少な洩れは検出困難
であり、またフィルターユニットの何処が破損したかを
特定することができなかった。

個々のユニットを目視等で検査しても破損が軽微な場合
は抽出が困難であり、高価なフィルターユニットを全量
交換するか、−個ずつ交換してみる他なく、手数と費用
がかかる問題があった。

〈問題点を解決するための手段〉この発明は前記の問題点を解決するためにフィルターを
通過する気体の下流側の容器内にフィルターユニット表
面のＸ方向の全長に亘ってフィルターに向って開口し、
Ｘ方向と直交するＹ方向の全車に亘って移動可能な開口
巾の狭いフードと、Ｙ方向の全車に亘ってフィルターに
向って開口し、Ｘ方向の全車に亘って移動可能な開口巾
の狭いフードとを設け、更にこれらフードに連結され気
体を吸引する装置と吸引気体中の微粒子量を測定する機
構とを配設し、一方のフードを移動させながら吸引気体
中の含塵量を連続的に測定しておく、若しその測定値が
洩れが生じていると判断されたら他方のフードを前者と
直角方向に移動させながら測定し記録する。この両者の
記録から共通して測定値の高い箇所のフィルターの局部
が不良なことが判る。移動フードはＸ方向とＹ方向の２
組とし、吸引装置と測定装置は１組でもよい、またフー
ドも１組とし直角方向に方向転換して移動させることも
できる。またフードからフィルターに向って空気を高速
で吹出し逆洗を行うようにすることもできる。

く作　用〉このように直交する方向の狭い中白の濾過洩れを検出し
、その交点から不良箇所を正確に効率よく検知すること
ができるので、その部分のフィルターユニットを部分的
に補修するか、当該フィルターユニットのみを交換すれ
ばよい。

〈実施例〉本発明の装置の一実施例を図面に基いて説明する。第１
図は本発明装置全体の説明図であり第２図は第１図のＡ
−Ａ　’面の断面平面図である。無機繊維の不織布製の
濾材１をプリーツ状に多数回折り曲げ各プリーツの間は
セパレーター（図示せず）を挟んだ状態で直方体の囲枠
２に収納したフィルターユニット３が気体濾過材４の密
閉された画状の本体５の中に濾材１の上縁が水平になる
よう配設されている。そして処理気体ｌは、ケース５の
下方の入口６から流入し、フィルターユニット２を通過
する際に濾材ｌで濾過され清浄気体は、本体５の上端近
辺に設けられた出ロアから排出されるようになっている
。そしてフィルターユニット３の上方には相互に直交す
る２箇のフード８゜９が何れも下方に開口して配設され
ている。このフード８．９は長平方向の寸法はフィルタ
ーユニットの全長と略々等しく、長平方向に対して直角
方向の寸法は狭くなっている。また各フード８゜９の夫
々の長平方向の一方の下端にはローラーｉｏ、１０ａが
フィルターユニット３の囲枠との上縁に沿って転勤自在
になっている。他方の端部にはボールナツト１１が固着
されており、該ポールナツト１１は、両端部が本体５に
水平に軸支されているスクリュー軸１２．１２ａに噛合
している。このスクリュー軸１２，１２２の一方の端部
には駆動用モーター１３が係着されており、該モーター
１３がスクリュー軸１２を回転させることによりフード
８．９は、水平方向に移動可能になっている。この移動
範囲はフィルターユニット３の全幅より大きく、使用し
ないときは囲枠２の外側に退避するようになっている。

（第２図参照）また、２本のスクリュー軸１２．１２ａ
はフィルターユニット３の外方の違った高さで交差しフ
ード８，９の移動の際に他方の支障にならないようにな
っている。更に、ローラー１０．１０ａが設けられてい
る側の本体角部には囲枠２の上縁と同一な水平面で囲枠
２の角部の幅と稍々重複する寸法の受台１４が固着され
ており、フード８，９が待避する際にローラー１０．１
０２を支承するようになっている。一方のフード８の上
端は可撓性のホース１５を介して本体５の外側に配設さ
れている管路１６に接続されており、該管路１６は、弁
１７を介してコンプレッサー１８の吐出側に接続されて
いる。また他方のフード９の上端は可撓性のホース１５
ａを介して本体５の外側に配設されている管路１６ａに
接続されており、咳管路１６ａは、弁１７ａを介してダ
スＨＥを計測するカウンター１８の吸入側に接続されて
いる。また管路１６の弁１７の反コンプレッサー側と、
管路１６ａの弁１７ａのカウンター側とは弁２０を介し
て管路２１で接続されている。カウンター１８には計測
する気体を吸引するポンプ２２が内蔵されており、該ポ
ンプ２２で吸引した気体中のダスト数を計測するように
なっており、その計測値は電気的に接続された記録計２
３に記録される。

このように構成された本発明の装置の使用方法について
以下に説明する。気体濾過機４０本体内に配設されたフ
ード８，９はフィルターユニット３の蓋枠２の外側に待
機しておりバルブ１７゜１７ａ、２０は何れも閉じてい
る。またコンプレッサー１８、カウンター１９のポンプ
２２は停止している。この状態で処理気体は本体５の入
口６から吸入又は押し込まれて気体中の粉体はフィルタ
ーユニット３の濾材１に捕集される。そして濾過された
清浄気体は出ロアから排出される。時間が経過して濾材
１に付着した粉体のためフィルターユニット３の圧損が
所定値以上に高くなるとモーター１３とコンプレッサー
１８が始動し弁１７が開く。すると圧縮空気が弁１７、
管路１６、ホース１５を通ってフード８から下方のフィ
ルター１に向って吹き出し、この状態でフード８はフィ
ルターユニット３のＹ方向全巾に亘うて往復動し、濾材
１の上流面に付着したダストを吹き落す。フード８は所
定回数往復動した後元の待機位置に戻り停止する。同時
に弁１７は閉じ、コンプレッサー１日は停止して逆洗作
業が終了する。

次に濾過洩れを測定する場合には、カウンター１９のポ
ンプ２２を始動すると共に、弁２０を開き、モーター１
３を始動してフード８を一往復させる。このフードの移
動中連続的にポンプ２２で吸引した気体中の粉体数をカ
ウンター１９で測定すると共に測定値を記録計２３に記
録する。若し濾材１の何処かに疵があり濾過洩れが生じ
ていれば、洩れた粉体量とＹ方向の位置が記録され（第
３図（Ｂ）参照）必要に応じ警報を出す。次に弁２０を
閉じ弁１７ａを開きポンプ２２とモーター１３ａを始動
し、フード９をＸ方向に一往復させて気体中の粉体数の
変化を測定記録する。（第３図（Ａ）参照）その結果、
Ｙ方向とＸ方向の粉体数の多い場所の交点部分の部材１
ａが損傷していることが判る。その場所を点検して軽微
な損傷ならば部分補修又はコーキング材を充填すれば濾
過洩れを防止することができる。尚この実施例では直交
する２箇のフードを使用し、且っ逆洗も可能にしたが、
フィルターユニットの損傷場所を概略判別すればよい場
合は巾の狭いフード１個だけとし、逆洗機構も設けなく
てもよい。また、フードの移動機構を変えれば垂直なフ
ィルターユニットにも適用することができる。

〈発明の効果〉以上説明したように本発明は巾の狭いフードを気体の下
流側濾材全面に亘って移動しながら気体中の粉体量を測
定するようにしたので、濾材の微細な損傷を発見するこ
とができるし、更に相互に直交する２箇のフードを交互
に使用すれば損傷場所を容易に特定することができるの
で速かに対策を講することができる。従って気体濾過材
の稼働率が向上する他高価なフィルターユニットの交換
費用が節減できる。また逆洗機構を付加すれば逆洗も可
能となる。その結果フィルターユニットを長期内連続し
て使用可能となり且つ圧損を低く保てるので動力費も節
減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明図であり、第２図は第１図
のＡ−Ａ　’断面の平面図、第３図はフィルターユニッ
トが局部的に破損した場合の洩れ粉体数の測定例を示す
図である。ｌ・・・濾材、２・・・蓋枠、３・・・フィルターユニ
ット、４・・・気体濾過機、５・・・本体、６・・・入
口、７・・・出口、８・・・フード、９・・・フード、
１０・・・ローラー、１１・・・ボールナツト、１２・
・・スクリュー軸、１３・・・モーター、１４・・・受
台、１５・・・ホース、１６・・・管路、１７・・・弁
、１８・・・コンプレッサー、１９・・・カウンター、
２０・・・弁、２１・・・管路、２２・・・ポンプ、２
３・・・記録計。特許出願人　住友金属鉱山株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

　直方体のフィルターユニットで気体中の微粒子を分離
する気体濾過機において、フィルターを通過する気体の
下流側の容器内にフィルターユニット表面のＸ方向の全
長に亘ってフィルターに向って開口し、Ｘ方向と直交す
るＹ方向の全巾に亘って移動可能な開口巾の狭いフード
と、Ｙ方向の全巾に亘ってフィルターに向って開口し、
Ｘ方向の全巾に亘って移動可能な開口巾の狭いフードと
が配設され、これらフードに連結されて気体を吸引する
装置と、吸引気体中の微粒子量を測定する装置とが設け
られていることを特徴とする気体濾過機の濾過洩れ検出
装置。