JPH01164930A - 光レジスタメモリアレイ - Google Patents

光レジスタメモリアレイ

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JPH01164930A
JPH01164930A JP32345487A JP32345487A JPH01164930A JP H01164930 A JPH01164930 A JP H01164930A JP 32345487 A JP32345487 A JP 32345487A JP 32345487 A JP32345487 A JP 32345487A JP H01164930 A JPH01164930 A JP H01164930A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
semiconductor laser
memory array
bistable semiconductor
register memory
Prior art date
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Pending
Application number
JP32345487A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Kurokawa
隆志 黒川
Koichi Wakita
紘一 脇田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Publication of JPH01164930A publication Critical patent/JPH01164930A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/026Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光入力信号を一時的に記憶して光信号の形で
読み出す光レジスタメモリに関するものである。
〔従来技術〕
第14図(構成図)に示すように、従来の光レジスタメ
モリMは、光入力パルスPinを一定時間だけ記憶し、
光出力パルスPoutとして読み出すものである。従来
の一時的な光記憶素子としては。
例えば、一定長さの光ファイバ線を用い、第15図(入
出力パルスのタイミングチャート)に示すように、その
光フアイバ線中を光が伝搬する時間(遅延量τd)だけ
信号を遅延させることにより情報を記憶させる例が知ら
れている。
また、別の例として半導体レーザーの電極を共振器方向
に2分割することにより、光出力に双安定性を持たせる
ことが提案されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、前記前者の方法では、遅延時間を変える
ためには、長さの異なる光ファイバ線を複数本用意する
必要があり、記憶時間を任意にかつ容易に変えることが
困麺である。また、記憶時間を長くするためには、光フ
アイバ線長を極めて長くする必要があり(遅延時間τ=
1msecのとき200km)、信号の歪が生じるとと
もに、寸法も極めて大きくなるという問題があった。
また、後者の双方安定半導体レーザーでは入力信号光に
対して出力状態を保持記憶する機能を有しているが、任
意の時間に読み出すレジスタメモリ機能が無いという問
題があった。
本発明は、前記問題点を解消するためになされたもので
ある。
本発明の目的は、光レジスタメモリアレイにおいて、書
込み時間、記憶時間、読出し時間を種々の値に制御する
ことができる技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、光レジスタメモリアレイにおいて
、記憶時間の大小に関係なく波形歪の少ない出力光パル
スを得ることができる技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、集積化された小型の光レジスタメ
モリアレイを提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の光レジスタメモリアレイにおいては、双安定半
導体レーザー部の前部あるいは後部又は両方の部分に光
ゲート部が付加された光チャンネルが、複数個基板上に
アレイ状に集積化されて設けられた構造からなることを
最も主要な特徴とするものである。
また、複数個の双安定半導体レーザー部と光ゲート部と
を交互に縦続接続した光チャンネルが、複数個基板上に
アレイ状に集積化されて設けられた構造からなることを
主な特徴とする光レジスタメモリアレイである。
〔作用〕
前述の手段によれば、光双安定半導体レーザー部の前後
に光ゲート部を集積し、これらに印加する電圧又は電流
のタイミングパルスの設定により、書込み時間、記憶時
間、読出し時間を所望の値に容易に制御することができ
るとともに、歪の少ない増幅された出力光パルスを得る
ことができる。
また、光レジスタメモリをモジュール化することにより
、小型にすることができる。これにより、取扱も容易と
なるとともに、他の装置への組み込みも可能となる。
また、複数個の双安定半導体レーザー部と光ゲート部と
を交互に縦続接続した光チャンネルが、複数個基板上に
アレイ状に集積化されて設けられた構造にしたことによ
り、1フレ一ム周期以上の信号遅延が可能となる。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。
なお、実施例を説明するための全回において。
同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返し
の説明は省略する。
第1図は、本発明の第1の実施例の光レジスタメモリア
レイの概略構成を示す斜視図であり、第2図は、第1図
に示す■−■線で切断した断面図である。
第1図及び第2図において、G及びG′は光ゲート部、
BLは分布帰還形(D F B形)双安定半導体レーザ
ー部であり、それぞれがカスゲートに接続され、かつ、
アレイ状に基板11上にモノリシックに集積化されて設
けられた構造となっている。
12、12’ 、 12Aは光ゲート部の導波層であり
、双安定半導体レーザー部BLの活性層13と光学的に
接続されている。双安定半導体レーザー部BLは、DF
B形の多電極構造であり、周期構造(回折格子)15が
設けられている。光ゲート部の導波層12゜12′及び
活性層13は埋め込み層14によって埋め込まれており
、その上にゲート電極EG、EG’ と双安定半導体レ
ーザー部BLの前部電極EF、後部電極ERが付加され
る。基板11の背面に背面電極EEがつけられ、また、
各電極の電気的分離のために溝16.16’ 、 17
が設けられている。
光ゲート部G、G’は電圧印加により吸収係数を変化さ
せるフランツケルディツシュ効果又は多重量子井戸(M
 Q W : Multi−Quautum Well
)構造における量子閉じ込みシュタルク効果(QCSE
効果: Quantum−Confined 5tar
k Effect)を利用した構成である。なお、QC
8E効果を利用した光変調器に関する技術については、
「K。
Wakita et al、 Trans、 I E 
CE  Japan、 E70゜300 (1987)
 Jに記載されている。
前記双安定半導体レーザー部BLの光入出力特性を第3
図に示す。第3図において、双安定半導体レーザー部B
Lの2つの電極EF、ERに流す電流をそれぞれI、、
I2とし、電流工2を適当な値に設定してI工の電流を
大きな値H□に設定する(I、=I、の場合)と、第3
図に示すように光の入力に対し光出力に双安定性を持た
せることができる。即ちあるしきい値以上の光を入力す
るとその光入力を切っても双安定半導体レーザ部BLは
光を出力し続ける。またI工の電流を小さくした場合に
は(I、=I、の場合)光入力があっても全く光を出力
しない。
次に、本実施例における光レジスタメモリアレイのメモ
リ動作について説明する。
第4図は、第1図及び第2図に示す光レジスタメモリア
レイのメモリ動作における光ゲート部G。
G′への印加電圧V工、v2、双安定半導体レーザー部
BLへの注入電流11. I2のタイミングを示す図で
ある。なお、双安定半導体レーザー部BLの特性は第3
図のように設定されている。
第1図及び第2図において、まず、電流11を下げ、双
安定半導体レーザーをリセット状態にしたのち、信号光
Piが入射する。光ゲート部Gには通常逆バイアス電圧
viが印加され光をシャットしているが、メモリ書込み
のタイミングに応じて電圧をオフすると、その間だけ光
が透過し信号光は双安定半導体レーザー部BLに入射す
る。双安定半導体レーザー部BLは、第3図のような動
作モードに設定されているので、光ゲート部Gが閉じて
も電流工、かりセットされるまで発振光Pmを発振し続
ける。次に、双安定半導体レーザー部BLをリセットす
るまでの間に光ゲート部G′の印加電圧v2をオフすれ
ば、その間だけメモリ状態を光信号として読出すことが
できる。
すなわち、この第1の実施例の構成では、印加電圧V工
が書込み制御パルス、電流■□がリセットパルス、印加
電圧v2が読み出し制御パルスとして動作する。この場
合には印加電圧■、がオフされている時間のみ光入力を
受は付けるので、書込まれた後に再度入力があっても記
憶の状態は変化しない。なお、この構成においては、第
1図のごとく光レジスタメモリがアレイ化されており、
それぞれの光レジスタメモリのアレイに並列に信号光を
入出力させ、かつ制御パルスを独立に加えることにより
、複数ビット並列メモリとして動作させることができる
第5図は、本発明の第2の実施例の光レジスタメモリア
レイの概略構成を示す断面図である。
第2の実施例の光レジスタメモリアレイは、第1図及び
第2図に示す第1の実施例の構成にもう一段双安定半導
体レーザと光ゲート部を付加したものである。
第5図において、前記第1の実施例の各部に該当する付
加した部分にはそれぞれの符号にダッシュ(′)あるい
はツーダッシュ(′)を付けである。
そして、この第2の実施例の構成においては、第6図に
示すようなタイミング制御により、第1の実施例と同様
の動作をして1フレ一ム周期以上の信号遅延が可能とな
る。
次に、前記第1及び第2の実施例の光レジスタメモリ部
の具体的な構成を第7図に示す。
第7図において、例えばゴ・InPからなる基板11上
に、例えばInGaAsからなる活性層13が設けられ
、その上にInGaAsからなる光ゲート部の導波層1
2Aが設けられ、その上に周期構造15が構成され、前
記光ゲート部の導波層12Aと例えばInGaAsP光
ゲート部の導波層12.12’光学的に接続されてMQ
W構造の光ゲート部G、G’及び双安定半導体レーザー
部BLが構成される。そして、光ゲート部G、G’及び
双安定半導体レーザー部BLの上に例えばp・■nP、
p・■nGaAsPMからなる埋め込み層14が構成さ
れる。この埋め込み層14には、各素子を電気的に分離
するために、光ゲート部G、G’部と双安定半導体レー
ザー部BLの間には溝16.16’が堀られ、双安定半
導体レーザー部BLの2つの電極EF、ERの間には溝
17が堀られ、その上に例えばSiN膜等からなる保護
膜18がコートされている。
前記光ゲート部G、G’ と双安定半導体レーザー部B
Lの各素子の上には、例えばCr/Auからなる電極層
EG、EF、ER,EG’が設けられる。また、基板1
1の下部(裏面)に例えばCr/Auからなる背面電極
EEが設けられている。
そして、光ゲート部G、G’は、MQW構造で逆バイア
ス電圧を印加することによるQC8E効果を利用して光
をシャットする。双安定半導体レーザー部BLは、例え
ば、InGaAsPからなる活性層13のDFB形とな
っており、順バイアス電流を印加する。
次に、第7図に示す光レジスタメモリ部の製造方法を第
8図〜第13図(各製造工提における断面図)を用いて
簡単に説明する。
まず、第8図に示すno・InP半導体基板11上に、
第9図に示すように双安定半導体レーザー部BLのエビ
タル層として例えばInGaAsからなる約1μm厚の
活性層13及びInGaAsPからなる約1μm厚の導
波層12AをハイドライドVPE法で成長させる。次に
、導波層12Aの双安定半導体レーザー部BLのみの上
に例えばs iom等の絶縁膜20を形成し、第10図
に示すように光ゲート部のみを基板11の面までドライ
エツチングしてマスクを形成する。次に、第11図に示
すようにMOCVD法により、p・InP/pInGa
AsP層からなるMQW構造層(光ゲート部の導波WJ
12゜12’ ) 21を成長させた後、絶縁膜20を
除去する。
次に、第12図に示すように、双安定半導体レーザー部
BLに周期構造(回折格子)15を形成する。
次に、第13図に示すようにpInPクラッド層22及
びp ・InGaAsP層23(埋め込み層14)をV
PE法により成長させる。次に、第7図に示すように溝
16.16’ 、 17をエツチングにより形成して素
子を分離し、その上にSiN膜等からなる保護膜18が
コートされ、Cr/Auからなる電極層EG。
EG’ 、EF、ER,EEを積層形成して光レジスタ
メモリが完成する。
なお、前記の実施例においては、双安定半導体レーザー
部BLの前後に光ゲート部G、G’部を付加した構造を
説明したが、書込みあるいは読出しのタイミングのいず
れかのみの制御だけで良い場合には、双安定半導体レー
ザー部の前後のどちらかのみに光ゲート部を付加すれば
よい。
また、高速の光信号処理装置等に使用することができる
以上、本発明を実施例にもとづき具体的に説明したが1
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は言うまでもない。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、光レジスタメモ
リアレイにおいて、光双安定半導体レーザー部の前後に
光ゲート部を集積し、これらに印加する電圧又は電流の
タイミングパルスの設定により、書込み時間、記憶時間
、読出し時間を所望の値に容易に制御することができる
とともに、歪の少ない増幅された出力光パルスを得るこ
とができる。
また、光レジスタメモリをモジュール化することにより
、小型にすることができる。これにより、取扱も容易と
なるとともに、他の装置への組み込みも可能となる。
また、複数個の双安定半導体レーザー部と光ゲート部と
を交互に縦続接続した光チャンネルが、複数個基板上に
アレイ状に集積化された構造したことにより、1フレ一
ム周期以上の信号遅延が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の第1の実施例の光レジスタメモリア
レイの概略構成を示す斜視図、第2図は、第1図に示す
■−■線で切断した断面図、 第3図は、第1図の光レジスタメモリアレイの構成要件
となる双安定半導体レーザー部の光入出力特性を示す特
性図、 第4図は、第1図の光レジスタメモリアレイの制御タイ
ミングを示す図、 第5図は、本発明の第2の実施例の光レジスタメモリア
レイの概略構成を示す断面図、第6図は、第5図の光レ
ジスタメモリアレイの制御タイミングを示す図、 第7図は、本発明の光レジスタメモリ部の具体的な構成
を示す断面図、 第8図〜第13図は、第7図に示す光レジスタメモリ部
の製造方法を説明するための各製造工程における断面図
、 第14図及び第15図は、従来の光レジスタメモリの問
題点を説明するための図である。 図中、G、G’ 、G’・・・光ゲート部、BL、BL
′・・・双安定半導体レーザー部、EE、EF、EF’
 、ER,ER’、EG、EG’、EG’・・・電極、
11・・・基板、12.12’ 、 12’・・・光ゲ
ート部の導波層、13、13’・・・双安定半導体レー
ザ部の活性層、15゜15′・・・双安定半導体部レー
ザーの周期構造、14・・・埋込み層、16.16 ’
 、 17・・・溝、18・・・保護膜、Vよ・・・前
部光ゲート部への印加電圧、v2・・・後部光ゲート部
への印加電圧、工□l I2・;・双安定半導体レーザ
ーへの印加電流である。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)双安定半導体レーザー部の前部あるいは後部又は
    両方の部分に光ゲート部が付加された光チャンネルが、
    複数個基板上にアレイ状に集積化され設けられた構造か
    らなることを特徴とする光レジスタメモリアレイ。
  2. (2)前記双安定半導体レーザーが多電極の分布帰還形
    であることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
    光レジスタメモリアレイ。
  3. (3)前記光ゲート部がフランツケルディッシュ効果を
    利用した電界吸収形であることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項又は第2項に記載の光レジスタメモリアレイ
  4. (4)前記光ゲート部が多重量子井戸(MQW)構造か
    らなり、量子閉じ込めシュタルク(QCSE)効果を利
    用した電界吸収形であることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項又は第2項に記載の光レジスタメモリアレイ。
  5. (5)複数個の双安定半導体レーザー部と光ゲート部と
    を交互に縦続接続した光チャンネルが、複数個基板上に
    アレイ状に集積化されて設けられた構造からなることを
    特徴とする光レジスタメモリアレイ。
JP32345487A 1987-12-21 1987-12-21 光レジスタメモリアレイ Pending JPH01164930A (ja)

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WO2003077259A1 (fr) * 2002-03-12 2003-09-18 Japan Science And Technology Agency Procede relatif a une memoire optique a vitesse tres elevee et appareil mettant en oeuvre un laser semi-conducteur bistable

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