JPH01165406U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01165406U JPH01165406U JP6314188U JP6314188U JPH01165406U JP H01165406 U JPH01165406 U JP H01165406U JP 6314188 U JP6314188 U JP 6314188U JP 6314188 U JP6314188 U JP 6314188U JP H01165406 U JPH01165406 U JP H01165406U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating layer
- thin
- thin film
- thin insulating
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
第１図は本願装置の概略構成図、第２図は片持
梁の支持部上に絶縁層を介して歪抵抗素子を形成
した状態を示す平面図、第３図は上記歪抵抗素子
上に絶縁層を介して成形される導電パターンの平
面図、第４図は上記歪抵抗素子上に導電パターン
を積層した状態を示す平面図、第５図は第４図に
おけるＡ―Ａ線断面図、第６図は本願装置の他の
実施例を示す平面図、第７図は上記実施例装置と
等価をなすホイーストンブリツジ回路図、第８図
は従来における歪抵抗装置の概略構成図である。 １０……梁、１１……支持部、１５……第１層
目の金属薄膜、１５ａ……歪抵抗素子、１５ｂ…
…出力端子、１５ｃ……接続端子、１６……第１
層目の薄膜絶縁層、１７……第２層目の薄膜絶縁
層、１８……第２層目の金属薄膜（導電パターン
）、１８ａ……電源電極、１８ｂ……入力端子、
１８ｃ……接続端子、２０……第２層目の金属薄
膜（歪抵抗素子）。
梁の支持部上に絶縁層を介して歪抵抗素子を形成
した状態を示す平面図、第３図は上記歪抵抗素子
上に絶縁層を介して成形される導電パターンの平
面図、第４図は上記歪抵抗素子上に導電パターン
を積層した状態を示す平面図、第５図は第４図に
おけるＡ―Ａ線断面図、第６図は本願装置の他の
実施例を示す平面図、第７図は上記実施例装置と
等価をなすホイーストンブリツジ回路図、第８図
は従来における歪抵抗装置の概略構成図である。 １０……梁、１１……支持部、１５……第１層
目の金属薄膜、１５ａ……歪抵抗素子、１５ｂ…
…出力端子、１５ｃ……接続端子、１６……第１
層目の薄膜絶縁層、１７……第２層目の薄膜絶縁
層、１８……第２層目の金属薄膜（導電パターン
）、１８ａ……電源電極、１８ｂ……入力端子、
１８ｃ……接続端子、２０……第２層目の金属薄
膜（歪抵抗素子）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 歪み可能な基体の上に薄膜絶縁層を形成すると
ともに、この薄膜絶縁層上に金属薄膜を形成した
ものにおいて、 上記薄膜絶縁層と金属薄膜とを交互に複数層に
積層するとともに、相対向する上下の金属薄膜同
士を直列に接続したことを特徴とする歪測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6314188U JPH01165406U (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6314188U JPH01165406U (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01165406U true JPH01165406U (ja) | 1989-11-20 |
Family
ID=31288652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6314188U Pending JPH01165406U (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01165406U (ja) |
-
1988
- 1988-05-13 JP JP6314188U patent/JPH01165406U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01133701U (ja) | ||
| JPH01165406U (ja) | ||
| JPH037973Y2 (ja) | ||
| JPS6035503U (ja) | 非線形抵抗素子 | |
| JPS63114055U (ja) | ||
| JPS63136360U (ja) | ||
| JPH01137554U (ja) | ||
| JPH03215768A (ja) | 磁気センサ | |
| JPH0736445B2 (ja) | 圧覚センサ | |
| JPH0265135U (ja) | ||
| JPH0273751U (ja) | ||
| JPS63193866U (ja) | ||
| JPS62149857U (ja) | ||
| JPH02102745U (ja) | ||
| JPH0217858U (ja) | ||
| JPS63132451U (ja) | ||
| JPH01126538U (ja) | ||
| JPS59150480A (ja) | 半導体圧力変換装置 | |
| JPS6379654U (ja) | ||
| JPS6318733U (ja) | ||
| JPS58172844U (ja) | ロ−ドセル | |
| JPS6249674A (ja) | 太陽電池の直列接続方法 | |
| JPH0324230U (ja) | ||
| JPS62149234U (ja) | ||
| JPH0292950U (ja) |