JPH01166048A - ナンバリング露光装置 - Google Patents
ナンバリング露光装置Info
- Publication number
- JPH01166048A JPH01166048A JP62324458A JP32445887A JPH01166048A JP H01166048 A JPH01166048 A JP H01166048A JP 62324458 A JP62324458 A JP 62324458A JP 32445887 A JP32445887 A JP 32445887A JP H01166048 A JPH01166048 A JP H01166048A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomasks
- numbering
- exposure
- circular
- photomask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
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- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は基板に管理記号等をパターンニングする露光装
置に関する。
置に関する。
従来、第２図に示すように一枚のフォトマスク１を用い
、そのフォトマスクの回転及び基板２のピッチ送りを繰
り返し一桁づつ露光する時分割露光方式により所定の管
理記号をパターンニングするナンバリング露光装置が知
られていた。
、そのフォトマスクの回転及び基板２のピッチ送りを繰
り返し一桁づつ露光する時分割露光方式により所定の管
理記号をパターンニングするナンバリング露光装置が知
られていた。
しかし従来のナンバリング露光装置では、時分割露光に
より複数回の露光を行う為に、タクトタイムが長くなる
という問題点を有する。そこで本発明はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところは数桁の管
理記号を一括露光でパターンニングするところにある。
より複数回の露光を行う為に、タクトタイムが長くなる
という問題点を有する。そこで本発明はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところは数桁の管
理記号を一括露光でパターンニングするところにある。
本発明のナンバリング露光装置は、円周上に記号が配列
されている円形フォトマスク二枚と、それぞれの円形フ
ォトマスクを独立に回転駆動できる部分または近接部分
において各フォトマスクの記の 号の組合せにより複数桁ミ管理記号を任意に構成し、か
つ前記管理記号を一括露光することを特徴とする。
されている円形フォトマスク二枚と、それぞれの円形フ
ォトマスクを独立に回転駆動できる部分または近接部分
において各フォトマスクの記の 号の組合せにより複数桁ミ管理記号を任意に構成し、か
つ前記管理記号を一括露光することを特徴とする。
〔実施例］
第１図は本発明の実施例における概略図であって、円周
上に二指の記号が配列されている円形フォトマスクｌａ
、Ｉｂをつき合わせ、これらの接点部分または近接部分
において各フォトマスクの記号の組合せにより四桁の管
理記号を構成している。それぞれの円形フォトマスクは
パルスモータ−３により独立に回転駆動でき、露光前に
任意の管理記号に設定される。４〜１２は露光光学系で
あり、所定の管理記号を一括露光する。第３図はフォト
マスクの配置図、第４図はフォトマスク駆動部の詳細図
で、紫外光は窓１３より照射され、ＡＯＯＯという管理
記号が基板２に露光される。
上に二指の記号が配列されている円形フォトマスクｌａ
、Ｉｂをつき合わせ、これらの接点部分または近接部分
において各フォトマスクの記号の組合せにより四桁の管
理記号を構成している。それぞれの円形フォトマスクは
パルスモータ−３により独立に回転駆動でき、露光前に
任意の管理記号に設定される。４〜１２は露光光学系で
あり、所定の管理記号を一括露光する。第３図はフォト
マスクの配置図、第４図はフォトマスク駆動部の詳細図
で、紫外光は窓１３より照射され、ＡＯＯＯという管理
記号が基板２に露光される。
本実施例ではフォトマスクがネガタイプである為、フォ
トマスク１ａ、１ｂの外周がわずかに重なり合うよう立
体的に配置している。こうすることによりフォトマスク
１ａとＩｂの二指の記号の間に光のもれがなくなる。
トマスク１ａ、１ｂの外周がわずかに重なり合うよう立
体的に配置している。こうすることによりフォトマスク
１ａとＩｂの二指の記号の間に光のもれがなくなる。
〔発明の効果〕
本発明は以上説明したように、所定の管理記号を二枚の
フォトマスクの記号の組合せにより構成し、これを−括
露光でパターンニングすることにより、ナンバリングに
要するタクトタイムが短かくなるという効果を有する。
フォトマスクの記号の組合せにより構成し、これを−括
露光でパターンニングすることにより、ナンバリングに
要するタクトタイムが短かくなるという効果を有する。
第１図は本発明のナンバリング露光装置の概略図。
第２図は従来のナンバリング露光装置の概略図。
第３図は本発明の実施例におけるフォトマスクの 配置
図。 第４図はフォトマスク駆動部の詳細図。 １・・・フォトマスク ２・・・基板３・・・パルス
モータ−４・・・コリメータレンズ５・・・ミラー
６・・・鏡筒 ７・・・出射レンズ８・・・ファイバー
ライトガ−イド ９・・・入射レンズ１０・・・コール
ドミラー １１・・・楕円ミラー１２・・・水銀ノヨト
アークランプ １３・・・露光窓 １４・・・軸受 １５・・・カップリング 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
図。 第４図はフォトマスク駆動部の詳細図。 １・・・フォトマスク ２・・・基板３・・・パルス
モータ−４・・・コリメータレンズ５・・・ミラー
６・・・鏡筒 ７・・・出射レンズ８・・・ファイバー
ライトガ−イド ９・・・入射レンズ１０・・・コール
ドミラー １１・・・楕円ミラー１２・・・水銀ノヨト
アークランプ １３・・・露光窓 １４・・・軸受 １５・・・カップリング 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
Claims (1)
- 基板に管理記号等をパターンニングする露光装置にお
いて、円周上に記号が配列されている円形フォトマスク
二枚と、それぞれの円形フォトマスクを独立に回転駆動
できる機構とを有し、この二枚の円形フォトマスクをつ
き合わせるように配置すると共に、これらの接点部分ま
たは近接部分において各フォトマスクの記号の組合せに
より複数桁の管理記号を任意に構成し、かつ前記管理記
号を一括露光することを特徴とするナンバリング露光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62324458A JPH01166048A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | ナンバリング露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62324458A JPH01166048A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | ナンバリング露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01166048A true JPH01166048A (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=18166036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62324458A Pending JPH01166048A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | ナンバリング露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01166048A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003076026A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 識別情報記録方法およびフォトマスクセット |
| JP2012027475A (ja) * | 2011-08-19 | 2012-02-09 | Hitachi Metals Ltd | 識別情報記録方法 |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP62324458A patent/JPH01166048A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003076026A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 識別情報記録方法およびフォトマスクセット |
| JP2012027475A (ja) * | 2011-08-19 | 2012-02-09 | Hitachi Metals Ltd | 識別情報記録方法 |
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