JPH01166580A - パルスレーザ装置 - Google Patents
パルスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH01166580A JPH01166580A JP32402887A JP32402887A JPH01166580A JP H01166580 A JPH01166580 A JP H01166580A JP 32402887 A JP32402887 A JP 32402887A JP 32402887 A JP32402887 A JP 32402887A JP H01166580 A JPH01166580 A JP H01166580A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonator
- laser
- laser device
- laser beam
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/082—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors defining a plurality of resonators, e.g. for mode selection or suppression
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、パルス放電励起エキシマレーザに係り、特に
、高品質のレーザビームを得るのに好適なパルスレーザ
装置に関する。
、高品質のレーザビームを得るのに好適なパルスレーザ
装置に関する。
一般に、単一レーザ発振器から高品質ビームを引き出そ
うとすると、波長選択素子やアパチャを共振器内に入れ
るため、出力パワが小さくなる。
うとすると、波長選択素子やアパチャを共振器内に入れ
るため、出力パワが小さくなる。
そこで、これを増巾器によりビーム品質を保ったまま増
巾するシステムが試みられている。エキシマレーザでは
微弱な高品質ビームを発振する発振器の他にもう一つの
レーザ発振器からなる注入同期方式の装置がある。第３
図はその一例で不安定共振器の注入同期方式である。第
３図では、レーザ容器１内に注入用発振器２と主発振器
９とが形成される。まず、注入用発振器２によるレーザ
ビームは全反射鏡４を経てエタロン３、アパチャ５を通
過することにより波長帯域幅が短縮され、かつ、単一化
して高品質レーザ出力が得られる。このレーザ出力は出
力鏡６．全反射鏡７ａ、７ｂで不安定形共振器である主
発振器９に注入される。
巾するシステムが試みられている。エキシマレーザでは
微弱な高品質ビームを発振する発振器の他にもう一つの
レーザ発振器からなる注入同期方式の装置がある。第３
図はその一例で不安定共振器の注入同期方式である。第
３図では、レーザ容器１内に注入用発振器２と主発振器
９とが形成される。まず、注入用発振器２によるレーザ
ビームは全反射鏡４を経てエタロン３、アパチャ５を通
過することにより波長帯域幅が短縮され、かつ、単一化
して高品質レーザ出力が得られる。このレーザ出力は出
力鏡６．全反射鏡７ａ、７ｂで不安定形共振器である主
発振器９に注入される。
注入されたビームは凸面反射鏡１０、凹面反射鏡８によ
って増巾されて高出力を得る。
って増巾されて高出力を得る。
なお、この種の装置は米国特許第４４１７３４２号が挙
げられる。この装置はレーザ容器内に注入用発振器と主
発振器が上下、並列に構成される。
げられる。この装置はレーザ容器内に注入用発振器と主
発振器が上下、並列に構成される。
上記従来の装置は、高品質レーザビームを得るのに有力
な方法であるが、少なくとも、同種の共振器を二台作成
しなければならないので放電部の部品が多くなり装置が
大形となる問題がある。また、主発振器の励起が始まる
時には、注入用発振器からの注入ビームが主発振器内に
注入されてなければならないので、この二つのレーザ共
振器の正確な同期の制御が必要となり、システムは一台
の共振器に比べて不安定で、かつ、複雑になるなどの問
題があった。
な方法であるが、少なくとも、同種の共振器を二台作成
しなければならないので放電部の部品が多くなり装置が
大形となる問題がある。また、主発振器の励起が始まる
時には、注入用発振器からの注入ビームが主発振器内に
注入されてなければならないので、この二つのレーザ共
振器の正確な同期の制御が必要となり、システムは一台
の共振器に比べて不安定で、かつ、複雑になるなどの問
題があった。
本発明の目的は、高品質レーザビームを得られるパルス
レーザ装置を提供することにある。
レーザ装置を提供することにある。
上記目的は、一対の主電極の長さ方向と直角に波長選択
素子、アパチャ、反射鏡などから形成される第一の共振
器を配置して、主電極間の放電によるレーザ光の一部を
第一の共振器で高品質ビームに変換増巾して、これを主
電極からなる第二の共振器に注入することにより達成さ
れる。
素子、アパチャ、反射鏡などから形成される第一の共振
器を配置して、主電極間の放電によるレーザ光の一部を
第一の共振器で高品質ビームに変換増巾して、これを主
電極からなる第二の共振器に注入することにより達成さ
れる。
本発明によれば、一対の主電極によってレーザ光を第一
の共振器と第二の共振器に分け、レーザビームの品質を
変えて増巾するようにしているので、電極などの部品数
が少なくなり小形となる。
の共振器と第二の共振器に分け、レーザビームの品質を
変えて増巾するようにしているので、電極などの部品数
が少なくなり小形となる。
また、レーザ共振器も一台であるので同期制御が簡単で
安定している。このため、誤動作することがない。
安定している。このため、誤動作することがない。
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。第１図は平面図、第２図は■−■より見た断面図で
ある。第１図、第２図において、レーザ容器１内に一対
の電極２と、電極２の近傍には図示しない予備電離電極
が配置されている。
る。第１図は平面図、第２図は■−■より見た断面図で
ある。第１図、第２図において、レーザ容器１内に一対
の電極２と、電極２の近傍には図示しない予備電離電極
が配置されている。
電極２の長手方向と直角方向にエタロン４．全反射鏡５
、アパチャ６、出力鏡７からなる第一の共振器を構成し
配置して、ここからの出力ビームは全反射鏡８ａ、８ｂ
、８ｃを介して、反射鏡９、一対の電極２．出力鏡１０
などから形成される第二の共振器に注入してパルスレー
ザ装置を構成している。
、アパチャ６、出力鏡７からなる第一の共振器を構成し
配置して、ここからの出力ビームは全反射鏡８ａ、８ｂ
、８ｃを介して、反射鏡９、一対の電極２．出力鏡１０
などから形成される第二の共振器に注入してパルスレー
ザ装置を構成している。
今１図示しない予備電離電極により電極２が誘起され放
電すると電極２の長手方向と直角に配置した第一の共振
器では、一部分のレーザ光をエタロン４、アパチャ６な
どで波長帯域幅を短縮した立上りの速い高品質レーザビ
ームを得る。さらに、電極２の長手方向の第二の共振器
長より直角に置いた第一の共振器長の方が数分の−と短
いので。
電すると電極２の長手方向と直角に配置した第一の共振
器では、一部分のレーザ光をエタロン４、アパチャ６な
どで波長帯域幅を短縮した立上りの速い高品質レーザビ
ームを得る。さらに、電極２の長手方向の第二の共振器
長より直角に置いた第一の共振器長の方が数分の−と短
いので。
レーザビームは第二の共振器の、発振しきい値以上にな
るまでの間に十分に増巾されて、第二の共振器に注入す
ることができる。第二の共振器では、さらに、これを増
巾して高出力のレーザビームを得ることができる。
るまでの間に十分に増巾されて、第二の共振器に注入す
ることができる。第二の共振器では、さらに、これを増
巾して高出力のレーザビームを得ることができる。
本実施例の他の例としては、図示しないが、第一の共振
器を複数構成しても作用は上記と同様であるが、第一の
共振器部の出力ビームはさらに高くなる。
器を複数構成しても作用は上記と同様であるが、第一の
共振器部の出力ビームはさらに高くなる。
本実施例によれば、一対の主電極によってレーザ光を二
種の共振器で高品質のレーザビームに向上させることが
できる。
種の共振器で高品質のレーザビームに向上させることが
できる。
本発明によれば、出力パワーが大きくなり、レーザビー
ムを得ることができる。
ムを得ることができる。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図は第１図の
ｎ−ｎ矢視断面図、第３図は従来例の平面図である。 １・・・レーザ容器、２・・・一対の電極、４・・・エ
タロン、５・・・全反射鏡、６・・・アパチャ、７・・
・出力鏡、８・・・全反射鏡、９・・・反射鏡、１ｏ・
・・出力鏡。 第１図 第２図 第３図
ｎ−ｎ矢視断面図、第３図は従来例の平面図である。 １・・・レーザ容器、２・・・一対の電極、４・・・エ
タロン、５・・・全反射鏡、６・・・アパチャ、７・・
・出力鏡、８・・・全反射鏡、９・・・反射鏡、１ｏ・
・・出力鏡。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- １．コンデンサの放電エネルギを一対の主電極の極間に
与え、前記極間の放電によりレーザを励起するパルスレ
ーザ装置において、 前記主電極の長さ方向の一部と直角に波長選択素子、ア
パチヤ、反射鏡を含む第一の共振器を配置し、前記第一
の共振器のレーザ光を前記主電極からなる第二の共振器
に導く様に構成したことを特徴とするパルスレーザ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32402887A JPH01166580A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32402887A JPH01166580A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01166580A true JPH01166580A (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=18161344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32402887A Pending JPH01166580A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01166580A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03167225A (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-19 | Tomoegawa Paper Co Ltd | ポリアミドイミド系共重合体の製造方法 |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP32402887A patent/JPH01166580A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03167225A (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-19 | Tomoegawa Paper Co Ltd | ポリアミドイミド系共重合体の製造方法 |
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